专利名称：样品载体及透射电镜的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种样品载体及透射电镜。
背景技术：
在半导体领域内，通常采用透射电镜对样品(如晶圆)进行缺陷检查。而铜网是透射电镜最常用的样品载体之一。铜网主要由圆形网状铜支架和覆盖在铜网之上的多孔碳膜组成。透射电镜样品的处理程序如下首先将由聚焦离子束制备的透射电镜样品随机地摆放在多孔碳膜上(这是由样品提取及摆放机台本身的特点决定的)。随后，将装有样品的铜网随机地放入透射电镜的样品台里进行观测(铜网是圆形的，而且透射电镜样品非常小，一般长度小于20微米，肉眼不可见，因此无法区分方向)。正是由于这两个步骤都是随机的，所以透射电镜样品在样品台中的摆放位置是没办法控制的。另外，目前透射电镜影像只能通过软件做90度及90度整数倍的偏转，因此我们拍摄到的样品透射电镜影像在图片中的方向是随机的。倾斜的样品透射电镜影像，尤其是倾斜角度大于15度的样品透射电镜影像不仅不方便拍摄、观看及尺寸量测，还会影像我们的感官判断。目前我们处理样品结构透射电镜影像倾斜的方法是在拍摄、观看及量测尺寸时， 尽量倾斜头部使眼睛看到的样品结构透射电镜影像是垂直的。但是这样操作具有如下问题一、经常长时间倾斜头部，对颈部健康不利；二、量测尺寸难免有误差，而且会因人而
已因此，如何提供一种可以获得尽可能垂直的透射电镜影像的样品载体及透射电镜是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种样品载体及透射电镜，可以获得垂直的透射电镜影像，不但方便测量人员测量，而且还可以提高测量精度和效率。为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案一种样品载体，放置在样品台上用于承载样品，所述样品载体的周边设有圆周刻度。在上述样品载体中，所述圆周刻度的最小刻度为0. 1 15度。在上述样品载体中，所述样品载体是铜网。在上述样品载体中，所述样品台上设有中轴线。在上述样品载体中，所述样品是晶圆。本实用新型还公开了一种透射电镜，包括样品台和样品载体，所述样品载体放置在样品台上用于承载样品，所述样品台上还设有中轴线，所述样品载体的周边设有圆周刻度。在上述透射电镜中，所述圆周刻度的最小刻度为0. 1 15度。[0015]在上述透射电镜中，所述样品载体是铜网。在上述透射电镜中，所述样品是晶圆。本实用新型的有益效果如下本实用新型通过在所述样品台上还设有中轴线且所述样品载体的周边设有圆周刻度，可以借用该中轴线和圆周刻度调整样品的两端连线和样品台的位置关系，使得样品的两端连线和样品台的中轴线平行，从而，可以获得垂直的透射电镜影像。在透射电镜中观察垂直的透射电镜影像，不但可以方便测量人员测量，而且还可以有效提高测量精度和效率。
本实用新型的样品载体及透射电镜由以下的实施例及附图给出。图1为本实用新型的透射电镜的示意图；图2为本实用新型的样品载体的示意图之一；图3为本实用新型的样品载体的示意图之二 ；图4为本实用新型的样品载体的示意图之三；
具体实施方式
以下将对本实用新型的样品载体及透射电镜作进一步的详细描述。下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。[0026]为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式
作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参阅图1，图1所示为本实用新型的透射电镜的示意图。这种透射电镜，包括样品台1和样品载体2。所述样品载体2放置在样品台1上用于承载样品3。所述样品台1 上还设有中轴线11。所述样品载体2的周边设有圆周刻度21。本实施例中，所述圆周刻度21的最小刻度为0. 1 15度。也就是说，圆周刻度21 的最小刻度不要超过15度。因为，倾斜角度大于15度的透射电镜影像不仅不方便检查人员拍摄、观看，而且还不方便检查人员测量。本实施例中，所述样品载体2是铜网。铜网是透射电镜最常用的样品载体之一。 其中，所述铜网主要由圆形网状铜支架和覆盖在铜网之上的多孔碳膜组成。所述样品是晶圆。
4[0031]这种透射电镜及样品载体的使用方法如下首先，将载有样品3的样品载体2放置在透射电镜的样品台1上。然后，在透射电镜的显微镜(未图示)下找到样品3的位置，制作一个铜网的纸质放大模型或者在电脑中画一个铜网的放大模型，利用透射电镜的标尺标出样品3两端连线 A(通常样品两端设有凹口，因此很容易标出连线A)，并记录下连线A与样品载体2即铜网的交点的刻度。如图1所示，连线A与铜网的交点的刻度分别为0度和270度。接着，将样品3两端连线A与铜网的交点分别与铜网的中心用线连接起来，形成连线B和连线C，从而，组成一个等腰三角形，如图2所示。然后，根据圆的基本特性可以做以下计算。0度即360度，所以连线B和连线C间的夹角为90度。另标出一条通过圆点且与样品两端的连线A平行的连线D，根据平行线定理，该连线D与铜网的交点的刻度分别为45度(0度+45度=45度)和225度Q70度-45 度=225度)，如图2所示。最后，如图3所示，调整铜网在透射电镜的样品台1中的位置，使得连线D与透射电镜的样品台1的中轴线11重合，也就是说，使得铜网上的样品2的两端连线A与透射电镜的样品台1的中轴线11平行，如此，就可以保证获得垂直的透射电镜影像。在透射电镜中观察垂直的透射电镜影像，不但可以方便测量人员测量，而且还可以有效提高测量精度禾口效率。综上所述，本实用新型通过在所述样品台上还设有中轴线且所述样品载体的周边设有圆周刻度，可以借用该中轴线和圆周刻度调整样品的两端连线和样品台的位置关系， 使得样品的两端连线和样品台的中轴线平行，从而，可以获得垂直的透射电镜影像。在透射电镜中观察垂直的透射电镜影像，不但可以方便测量人员测量，而且还可以有效提高测量精度和效率。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种样品载体，放置在样品台上用于承载样品，其特征在于，所述样品载体的周边设有圆周刻度。
2.根据权利要求1所述的样品载体，其特征在于，所述圆周刻度的最小刻度为0.1 15度。
3.根据权利要求1所述的样品载体，其特征在于，所述样品载体是铜网。
4.一种透射电镜，包括样品台和样品载体，所述样品载体放置在样品台上用于承载样品，其特征在于，所述样品台上还设有中轴线，所述样品载体的周边设有圆周刻度。
5.根据权利要求4所述的透射电镜，其特征在于，所述圆周刻度的最小刻度为0.1 15度。
6.根据权利要求4所述的透射电镜，其特征在于，所述样品载体是铜网。
7.根据权利要求4-6中任意一项所述的透射电镜，其特征在于，所述样品是晶圆。
专利摘要本实用新型公开了一种样品载体，放置在样品台上用于承载样品，所述样品载体的周边设有圆周刻度。还公开了一种透射电镜，包括样品台和样品载体，所述样品载体放置在样品台上用于承载样品，所述样品台上还设有中轴线，所述样品载体的周边设有圆周刻度。本实用新型通过在所述样品台上还设有中轴线且所述样品载体的周边设有圆周刻度，可以借用该中轴线和圆周刻度调整样品的两端连线和样品台的位置关系，使得样品的两端连线和样品台的中轴线平行，从而，可以获得垂直的透射电镜影像。在透射电镜中观察垂直的透射电镜影像，不但可以方便测量人员测量，而且还可以有效提高测量精度和效率。
文档编号H01J37/26GK202205698SQ20112020004
公开日2012年4月25日 申请日期2011年6月14日 优先权日2011年6月14日
发明者李桂花, 童琰非, 胡强 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司, 武汉新芯集成电路制造有限公司