专利名称：一种晶圆加工设备的机台基座的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种晶圆加工设备的机台基座，特别指12寸直径晶圆加工设备的机台之基座。
所述的填充物是水泥或混凝土，内部金属骨架2是由复数根钢筋焊连或绕接成的、一组以上的矩形或三角形或圆形镂空内部金属骨架。参见
图1、图2。
所述的填充物是水泥或是混凝土，内部金属骨架2是由复数根钢筋焊连成或绑接的网格状镂空内部金属骨架。
内部骨架2成型方法一般由若干根一定粗度的竹节钢筋以节点相连方式构成一体连续性，然后再以节点方式与外围钢框连接为一体，再将其整体放置一与其配合使用的外部定形模具中，通过向模具中灌注填充物使内部金属骨架凝固在填充物中，而外围钢框包复结合在其外围。
本实用新型采用水泥或混凝土作为填充物灌注定型后，经电脑模拟试验，其刚性，稳定性大为增强，并完全符合12寸晶圆加工设备的机台基座的稳定性能的要求。
权利要求1.一种晶圆加工设备的机台基座，有金属构成的金属骨架，其特征在于金属骨架是由外围的金属框体和固定在金属框体内部的内部金属骨架构成一整式结构，内部金属骨架是由复数根钢筋相连构成，在金属框体的内部和外周是利用模具灌注形成的填充体，填充体、金属框体以及内部金属骨架构成了一实芯的整体式基座。
2.按照权利要求1所述的一种晶圆加工设备的机台基座，其特征在于所述的填充物是水泥或混凝土，内部金属骨架是由复数根钢筋焊连或绕接成的，一组以上的矩形或三角形或圆形镂空骨架。
3.按照权利要求1所述的一种晶圆加工设备的机台基座，其特征在于所述的填充物是水泥或是混凝土，内部金属骨架是由复数根钢筋焊连成或绑接的网格状镂空骨架体。
专利摘要本新型提供了一种晶圆加工设备的机台基座,该基座的外围钢框体内设置有内部骨架,内部骨架是由复数根钢筋相连接成的若干个框体组成,内部骨架又与外围钢框固连为一体,利用模具在外围钢框外周及内部灌注填充物,并使填充物、钢框、内部骨架形成一整体基座。由于在金属框架内部灌注填充物后使基座内部空间充满凝固的填充物,不仅使基座刚性、强度大为提高,而且,重量加大后更具稳定性,能够满足12寸乃至更大规格扫描设备的安装和使用要求。
文档编号B23Q1/00GK2510229SQ0127034
公开日2002年9月11日 申请日期2001年11月8日 优先权日2001年11月8日
发明者陈水源, 陈水生, 陈添丁 申请人:陈水源, 陈水生, 陈添丁