激光加工装置的制作方法

文档序号:13012820阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种激光加工装置,其照射激光光线而对被加工物进行加工,
该激光加工装置的特征在于,具有:
保持单元,其保持被加工物;
激光照射单元,其对被保持于该保持单元上的被加工物照射激光光线;
加工进给单元,其使该保持单元与该激光照射单元在加工进给方向上相对移动;
分度进给单元,其使该保持单元与该激光照射单元在分度进给方向上相对移动;
以及
控制单元,其控制各部的工作,
该控制单元实施如下步骤:
加工步骤,使该激光照射单元相对于该保持单元在平行于该加工进给方向的第1
方向上以规定的速度移动,并且从该激光照射单元照射激光光线,对被保持于该保持
单元上的被加工物沿着任意的分割预定线加工至被加工物的端部;停止步骤,在该加
工步骤之后,使该激光照射单元相对于该保持单元停止;分度步骤,使该保持单元与
该激光照射单元在该分度进给方向上相对移动,使该激光光线的照射位置对准到接下
来要加工的分割预定线的延长线上;以及开始步骤,在该停止步骤之后,使该激光照
射单元相对于该保持单元在与该第1方向相反的第2方向上加速,使该激光照射单元
在该激光光线到达被加工物的端部之前达到该规定的速度,
在该控制单元实施上述步骤时,在设该停止步骤所需的时间为ta,该分度步骤所
需的时间为tb,且tb>ta的情况下,在该加工步骤之后同时开始该停止步骤和该分度
步骤,并且利用该停止步骤结束后的该分度步骤的剩余时间(tb-ta)来实施该开始步
骤。
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