机床的制作方法

本发明涉及具备切屑排出装置的机床。

背景技术：

在切屑输送机等切屑排出装置中，如图18所示，一般地，使用感应电动机、和电磁开闭器或者电磁接触器作为驱动源。在使用感应电动机的情况下，在驱动电流值成为极限电流值后，对朝感应电动机的供电状态进行变更(包括反转动作)，使感应电动机停止。并且，在感应电动机的表面温度成为极限温度后，对朝感应电动机的供电状态进行变更(包括反转动作)，使感应电动机停止。

此外，在日本特开2010-137931号公报所公开的现有事例中，提出了代替电磁开闭器或者电磁接触器而使用了变频器的技术。

在日本特开2010-137931号公报等所公开的现有技术中，切屑排出装置1的驱动控制使用感应电动机，但在感应电动机中无法进行位置控制，从而有无法使切屑排出装置1的动作与其它设备的动作同步的课题。并且，现有技术的切屑排出装置1不包括清洁装置，从而有无法进行切屑排出装置1自身的清洁的课题。

技术实现要素：

因此，本发明的目的在于提供具备切屑排出装置的机床，该切屑排出装置具有与切屑排出装置的动作同步地对切屑排出装置自身进行清洁的清洁机构。

本发明的机床是具备向设备外排出在上述机床中产生的切屑的切屑排出装置的机床，其特征在于，设有：清洁机构，其用于对上述切屑排出装置的一部分或者整体进行清洁；以及控制部，其使上述切屑排出装置的动作与上述清洁机构的动作相协作并进行控制。

本发明的上述机床的特征在于，上述切屑排出装置的动力源是同步电动机。

本发明的上述机床的特征在于，还具备对上述切屑排出装置的驱动部的切屑残留状况进行监视的切屑残留状况监视部，上述控制部基于上述监视结果来判断上述切屑排出装置的清洁的实施，并根据该判断结果来使上述切屑排出装置的动作与上述清洁机构的动作相协作并进行控制。

本发明的机床的特征在于，上述切屑残留状况监视部是拍摄装置。

本发明的机床的特征在于，上述切屑残留状况监视部由反射物和折射物中的至少一任方、以及拍摄装置构成，上述拍摄装置经由上述反射物和上述折射物中的至少一任方对切屑排出装置的切屑残留状况进行监视。

本发明的机床的特征在于，上述切屑残留状况监视部使用从上述同步电动机取得的负荷信息。

本发明的机床的特征在于，上述控制部基于来自上述切屑残留状况监视部的信息，对上述切屑排出装置中的残留有切屑的部位进行确定，并控制上述切屑排出装置以及上述清洁机构来实施确定出的切屑残留部位的清洁。

本发明的机床的特征在于，在上述清洁机构的清洁后，上述控制部通过上述切屑残留状况监视部来确认清洁的结果，并基于确认出的清洁的结果来实施再清洁以及需要手动清洁的内容的通知中的任一方。

本发明的机床的特征在于，在实施再清洁时，上述控制部以与前次的清洁方法不同的方法实施清洁。

本发明的机床的特征在于，上述控制部存储上述切屑残留状况的确认以及根据该确认结果所实施的清洁内容中的至少任一方的记录作为历史信息。

本发明的机床的特征在于，上述控制部是设置于上述机床的外部的控制装置。

本发明的机床的特征在于，利用自动搬运装置能够使上述清洁机构移动。

本发明的机床的特征在于，利用自动搬运装置能够使上述拍摄装置移动。

本发明的机床的特征在于，利用自动搬运装置能够使上述反射物和折射物中的至少一任方、以及上述拍摄装置移动。

本发明的机床的特征在于，上述自动搬运装置是机器人。

根据本发明，由于能够使切屑排出装置的驱动源/驱动部的动作与清洁机构的动作相协作，所以变得能够进行有效的切屑排出装置的自动清洁，从而能够期待设备的运转率的提高。

从参照附图的以下的实施例的说明，本发明的上述的以及其它的目的、特征会变得清楚。这些附图如下。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式的具备切屑排出装置的机床的主要部分结构图。

图2是示出在使用作为切屑排出装置1的切屑输送机1a的情况下设置有对堆积在该切屑输送机1a上的切屑进行清洁的清洁机构7的安装例的图。

图3是示出在使用作为切屑排出装置1的切屑螺旋输送件1b的情况下作为对附着于该切屑螺旋输送件1b的切屑进行清洁的机构的清洁机构7的图。

图4是示出在使用作为切屑排出装置1的切屑输送机1a的情况下设置有对堆积在该切屑输送机1a上的切屑进行清洁的清洁机构7的安装例的图。

图5是示出在使用作为切屑排出装置1的切屑螺旋输送件1b的情况下作为对附着于该切屑螺旋输送件1b的切屑进行清洁的机构的清洁机构7的图。

图6是示出在使用作为切屑排出装置1的切屑输送机1a的情况下设置有对堆积在该切屑输送机1a上的切屑进行清洁的清洁机构7的安装例的图。

图7是示出在使用作为切屑排出装置1的切屑螺旋输送件1b的情况下作为对附着于该切屑螺旋输送件1b的切屑进行清洁的机构的清洁机构7的图。

图8是示出相对于图2所示的实施例进一步追加了利用拍摄装置9的切屑残留状况监视机构的实施例的图。

图9是示出相对于图2所示的实施例进一步追加了利用拍摄装置9和反射物10的切屑残留状况监视机构的实施例的图。

图10a是示出基于施加于同步电动机的负荷状况来确定切屑残留部位的实施例的图中的、示出在e部残留有切屑12的状态的图。

图10b是示出残留的切屑12被夹在e部与箱体11间的状态的图。

图10c是示出使切屑输送机1a移动至能够进行清洁的位置的状态的图。

图11a是对示出利用一台控制装置来控制多个切屑排出装置1的清洁机构7的情况的实施例的图中的、一台机床100的控制装置5控制多个切屑排出装置1的清洁机构7的情况进行说明的图。

图11b是对利用机床外部的控制装置13来控制切屑排出装置1的清洁机构7的情况进行说明的图。

图12是本发明的一个实施方式的具备切屑排出装置的机床的基本控制的流程图。

图13是本发明的一个实施方式的具备追加了清洁的要/不要判断的切屑排出装置的机床的控制的流程图。

图14是本发明的一个实施方式的具备追加了根据负荷信息来确定切屑残留部位的处理的切屑排出装置的机床的控制的流程图。

图15是用于确认清洁的效果的处理的流程图。

图16是历史记录处理的流程图。

图17是再清洁处理的流程图。

图18是现有技术的使用了感应电动机的切屑排出装置的主要部分结构图。

具体实施方式

以下，结合附图对本发明的实施方式进行说明。此外，对于与现有技术的说明相同或者类似的结构使用相同的符号。

图1示出本发明的一个实施方式的具备切屑排出装置的机床的主要部分结构图。本实施方式的机床100具备切屑排出装置1，该切屑排出装置1的驱动部由同步电动机2来驱动。同步电动机用控制设备(伺服放大器)4基于来自控制装置5的指令信号并利用从交流电源6得到的动力电源对同步电动机2进行控制，并且接受来自搭载于同步电动机2的旋转检测器(脉冲编码器)3的信号，向控制装置5反馈。清洁机构7是接受从交流电源6得到的动力电源、并基于来自控制装置5的指令信号对堆积或者附着于切屑排出装置1的切屑进行清洁的机构。

同步电动机2也可以不搭载于切屑排出装置1主体，在设为能够与切屑排出装置1分离的情况下，也可以仅在必要时由未图示的自动搬运装置使之移动以及连结来驱动。但是，若考虑装置结构的便利性，则优选包括在切屑排出装置1主体内或接近切屑排出装置1主体。另一方面，其它要素也不是必需包括在切屑排出装置1内。

图2示出在使用作为切屑排出装置1的切屑输送机1a的情况下设置有对堆积在该切屑输送机1a上的切屑进行清洁的清洁机构7的安装例。在图2所示的例子中，由擦拭部7a构成了清洁机构7，该擦拭部7a被通过未图示的驱动部而驱动的滚珠丝杠7b和支撑棒7c支撑。擦拭部7a通过滚珠丝杠7b的驱动而向图中箭头方向移动，从而对堆积在切屑输送机1a上的切屑进行清洁。控制装置5在开始擦拭部7a的清洁前，以使切屑输送机1a上的堆积有切屑的部位到达擦拭部7a能够往复的位置的方式控制同步电动机2，而使切屑输送机1a移动，之后控制滚珠丝杠7b的驱动部来由擦拭部7a进行切屑的清洁。

图3示出在使用作为切屑排出装置1的切屑螺旋输送件1b的情况下作为对附着于该切屑螺旋输送件1b的切屑进行清洁的机构的清洁机构7。在图3所示的例子中，由刮取部7d构成了清洁机构7，该刮取部7d被通过未图示的驱动部而驱动的滚珠丝杠7b支撑。刮取部7d通过滚珠丝杠7b的驱动而向图中箭头方向移动，从而对附着于切屑螺旋输送件1b的缝隙的切屑进行清洁。控制装置5通过使切屑螺旋输送件1b的旋转速度与滚珠丝杠7b的旋转速度同步，来以使刮取部7d在切屑螺旋输送件1b的缝隙移动的方式对其进行控制，从而进行切屑的清洁。

图4示出在使用作为切屑排出装置1的切屑输送机1a的情况下设置有对堆积在该切屑输送机1a上的切屑进行清洁的清洁机构7的安装例。在图4所示的例子中，由流体的排出/吸入所使用的泵7e和通过未图示的驱动部而驱动的流体的排出口/吸入口7f构成了清洁机构7。排出口/吸入口7f通过未图示的驱动部而向图中箭头方向移动，从而利用流体对堆积在切屑输送机1a上的切屑进行冲洗，或者与流体一起进行抽吸来进行清洁。控制装置5在清洁机构7开始清洁前，以使切屑输送机1a上的堆积有切屑的部位到达排出口/吸入口7f能够移动的位置的方式控制同步电动机2，而使切屑输送机1a移动，之后控制清洁机构7的驱动部来进行切屑的清洁。另外，也可以根据切屑的堆积状况来使排出/抽吸的方向、排出量或者吸入量变化。

图5示出在使用作为切屑排出装置1的切屑螺旋输送件1b的情况下作为对附着于该切屑螺旋输送件1b的切屑进行清洁的机构的清洁机构7。在图5所示的例子中，由流体的排出/吸入所使用的泵7e和通过未图示的驱动部而驱动的流体的排出口/吸入口7f构成了清洁机构7。排出口/吸入口7f通过未图示的驱动部而向图中箭头方向移动，从而利用流体对附着于切屑螺旋输送件1b的切屑进行冲洗，或者与流体一起进行抽吸来进行清洁。控制装置5通过使切屑螺旋输送件1b的旋转速度与排出口/吸入口7f的移动速度同步，来以使排出口/吸入口7f能够对所有切屑螺旋输送件1b的缝隙进行清洁的方式进行控制。另外，也可以根据切屑的附着状况来使排出/抽吸的方向、排出量或者吸入量变化。

图6示出在使用作为切屑排出装置1的切屑输送机1a的情况下设置有对堆积在该切屑输送机1a上的切屑进行清洁的清洁机构7的安装例。在图6所示的例子中，由自动搬运装置等机器人8和被安装于该机器人8的臂部的前端的手部支撑的擦拭部7a构成了清洁机构7。擦拭部7a通过机器人8的驱动而向图中箭头方向移动，从而对堆积在切屑输送机1a上的切屑进行清洁。控制装置5在机器人8开始擦拭部7a的清洁前，以使切屑输送机1a上的堆积有切屑的部位到达擦拭部7a能够往复的位置的方式控制同步电动机2，而使切屑输送机1a移动，之后控制机器人8控制来进行切屑的清洁。

图7示出在使用作为切屑排出装置1的切屑螺旋输送件1b的情况下作为对附着于该切屑螺旋输送件1b的切屑进行清洁的机构的清洁机构7。在图7所示的例子中，由自动搬运装置等机器人8和被安装于该机器人8的臂部的前端的手部支撑的刮取部7d构成了清洁机构7。刮取部7d通过机器人8的驱动而向图中箭头方向移动，从而对附着于切屑螺旋输送件1b的缝隙的切屑进行清洁。控制装置5通过使切屑螺旋输送件1b的旋转速度与机器人8的驱动同步，来以使刮取部7d在切屑螺旋输送件1b的缝隙移动的方式进行控制来进行切屑的清洁。

图8示出相对于图2所示的实施例进一步追加了利用拍摄装置9的切屑残留状况监视机构的实施例。在图8所示的例子中，由在臂部的前端安装有拍摄装置9的自动搬运装置等机器人8构成了切屑残留状况监视机构。控制装置5根据拍摄装置9所拍摄出的切屑输送机1a的图像来确定切屑输送机上的堆积有切屑的部位，并以使该确定出的切屑输送机1a上的堆积有切屑的部位到达擦拭部7a能够往复的位置的方式控制同步电动机2，而使切屑输送机1a移动，之后控制清洁机构7的驱动部来进行切屑的清洁。

图9示出相对于图2所示的实施例进一步追加了利用拍摄装置9和反射物10的切屑残留状况监视机构的实施例。在图9所示的例子中，由固定的拍摄装置9和在臂的前端安装有镜等反射物10的自动搬运装置等机器人8构成了切屑残留状况监视机构。在图9所示的切屑残留状况监视机构中，与图8所示的结构比较，通过使用小型的反射物10，能够识别确认拍摄装置9所无法直接识别确认(无法进入)位置的切屑的堆积状况，除此之外，能够削减拍摄装置9的移动距离而缩短切屑的确认所花费的时间。

此外，在图8、图9的例子中使用了机器人8，但也可以代替机器人8而使用自动装卸机、加工物的取出装置等。

图10a、图10b、图10c示出基于施加于同步电动机的负荷状况来确定切屑残留部位的实施例。如图10a所示，切屑输送机1a收纳于切屑排出装置1的箱体11，在图10a的左侧的部分中的切屑输送机1a与箱体11的距离最窄。图中a～f示出切屑输送机1a的清扫机构部。

图10a中，在切屑12残留于清扫机构部e的情况下，若保持原样地使切屑输送机1a继续移动，则如图10b所示，切屑12被夹在切屑输送机1a与箱体11之间的距离变窄的部分。此时，因相对于切屑输送机1a的来自切屑12的反作用力而同步电动机2的负荷(能够通过电流、输出转矩等来检测)增加。如图10c所示，控制装置5控制同步电动机2以使清扫机构部e到达清洁机构7能够进行清洁的位置的方式使清扫机构部e移动，之后控制清洁机构7来进行清扫机构部e附近的切屑12的清洁。此外，也可以预先设定同步电动机2所产生的负荷的允许范围，若当前在同步电动机2所设定的负荷的允许范围内，则不实施清洁。

图11a示出一台机床100的控制装置5控制多个切屑排出装置1的清洁机构7的情况的实施例。通过像这样构成，在对切屑排出装置1进行清洁时，即使切断具备控制清洁机构7的控制装置5的机床100以外的机床100的电源，也能够进行所有切屑排出装置1的清洁，从而能够节省不需要的电力消耗。

图11b示出利用设置于机床100的外部的用于生产线的集中监视等的控制装置13来控制切屑排出装置1的清洁机构7的情况的实施例。通过像这样构成，在对切屑排出装置进行清洁时，即使切断机床100的电源，也能够在控制装置13的控制下进行切屑排出装置1的清洁，从而能够节省不需要的电力消耗。

此外，在上述的图11a、图11b的实施例中，虽不是必需的，但优选用相同的控制装置来实施切屑排出装置1的控制和清洁机构7的控制。如亦在图2～图10a、图10b、图10c中说明那样，这是因为，根据切屑排出装置1和清洁机构7的构造，需要使切屑排出装置1的动作与清洁机构7的动作同步。但是，也可以在多个控制装置间设置通信构件，来使切屑排出装置1的动作与清洁机构7的动作同步。

图12是本发明的一个实施方式的具备切屑排出装置的机床的基本控制的流程图。

[步骤sa01]控制装置5判定是否实施切屑残留确认处理。

切屑残留确认处理的执行例如能够通过参数设定等来切换，也可以根据参数的设定状况来判断是否执行切屑残留确认处理。在执行切屑残留确认处理的情况下使处理移至步骤sa02，并在不实施切屑残留确认的情况下使处理移至步骤sa03。

[步骤sa02]控制装置5确认上述的切屑残留状况监视机构、同步电动机2的负荷状况等来确认切屑的残留状况。在残留有切屑的情况下使处理移至步骤sa03，并在未残留切屑的情况下使处理移至步骤sa05。

[步骤sa03]控制装置5以使切屑排出装置1的驱动部的动作与清洁机构7的动作相协作的方式进行控制，来执行残留切屑的除去(清洁)。

[步骤sa04]控制装置5执行后述的处理1(用于确认清洁的效果的处理)。

[步骤sa05]控制装置5执行后述的处理2(历史记录处理)。

图13是本发明的一个实施方式的具备追加了清洁的要/不要判断的切屑排出装置的机床的控制的流程图。

[步骤sb01]控制装置5判定是否实施切屑残留确认处理。

切屑残留确认处理的执行例如能够通过参数设定等来切换，也可以根据参数的设定状况来判断是否执行切屑残留确认处理。在执行切屑残留确认处理的情况下使处理移至步骤sb02，并在不实施切屑残留确认的情况下使处理移至步骤sb05。

[步骤sb02]控制装置5确认上述的切屑残留状况监视机构、同步电动机2的负荷状况等来确认切屑的残留状况。在残留有切屑的情况下使处理移至步骤sb03，并在未残留切屑的情况下使处理移至步骤sb08。

[步骤sb03]控制装置5将切屑的残留量和预先存储的切屑的允许范围进行比较。

[步骤sb04]控制装置5判定切屑的残留量是否在允许范围内。在切屑的残留量在允许范围内的情况下使处理移至步骤sb08，并在允许范围外的情况下使处理移至步骤sb06。

[步骤sb05]控制装置5判定切屑排出装置1的驱动时间是否达到了被设定为参数等的规定值。在驱动时间达到了规定值的情况下使处理移至步骤sb06，并在未到达的情况下使处理移至步骤sb08。

[步骤sb06]控制装置5以使切屑排出装置1的驱动部的动作与清洁机构7的动作相协作的方式进行控制，来执行残留切屑的除去(清洁)。

[步骤sb07]控制装置5执行后述的处理1(用于确认清洁的效果的处理)。

[步骤sb08]控制装置5执行后述的处理2(历史记录处理)，并结束本处理。

图14是本发明的一个实施方式的具备追加了根据负荷信息来确定切屑残留部位的处理的切屑排出装置的机床的控制的流程图。

[步骤sc01]控制装置5在切屑排出装置1的驱动部移动至确定的位置或者角度的情况下判定负荷是否增加。当在确定的位置或者角度处负荷增加的情况下判断为在负荷变大的部位残留有切屑，并且使处理移至步骤sc02，并在不是这样的情况下使处理移至步骤sc07。

[步骤sc02]控制装置5将根据负荷的大小等推断出的切屑的残留量和预先存储的切屑的允许范围进行比较。

[步骤sc03]控制装置5判定切屑的残留量是否在允许范围内。在切屑的残留量在允许范围内的情况下使处理移至步骤sc07，并在允许范围外的情况下使处理移至步骤sc04。

[步骤sc04]控制装置5控制同步电动机2，而使在步骤sc01中确定出的切屑排出装置1的被认为残留有切屑的部位移动至清洁机构7能够进行清洁的位置。

[步骤sc05]控制装置5控制清洁机构7来执行残留切屑的除去(清洁)。

[步骤sc06]控制装置5执行后述的处理1(用于确认清洁的效果的处理)。

[步骤sc07]控制装置5执行后述的处理2(历史记录处理)，并结束本处理。

图15是上述的处理1(用于确认清洁的效果的处理)的流程图。

[步骤sd01]控制装置5判定在清洁结束后是否实施清洁状况的确认。清洁状况的确认的实施例如能够通过参数设定等来进行切换，也可以根据参数的设定状况来判断是否执行清洁状况的确认处理。并且，也可以在每隔一定期间、每实施n次清洁等，能够断续地实施清洁状况的确认处理。在执行清洁状况的确认处理的情况下使处理移至步骤sd02，并在不实施切屑残留确认的情况下结束本处理。

[步骤sd02]控制装置5确认上述的切屑残留状况监视机构、同步电动机2的负荷状况等，来确认切屑的残留状况。

[步骤sd03]控制装置5执行后述的处理3(再清洁处理)，并结束本处理。

图16是上述的处理2(历史记录处理)的流程图。

[步骤se01]控制装置5判定是否实施切屑排出装置1上的切屑的堆积/附着状况的确认结果的历史信息的记录处理。确认结果的历史信息的记录处理的实施例如能够通过参数设定等来进行切换，也可以根据参数的设定状况来判断是否执行确认结果的历史信息的记录处理。在执行确认结果的历史信息的记录处理的情况下使处理移至步骤se02，并在不实施确认结果的历史信息的记录处理的情况下使处理移至步骤se03。

[步骤se02]控制装置5将切屑排出装置1上的切屑的堆积/附着状况的确认结果的历史信息记录到非易失性存储器、外部存储装置等。

[步骤se03]控制装置5判定是否实施已执行的清洁方法的历史信息的记录处理。已执行的清洁方法的历史信息的记录处理的实施例如能够通过参数设定等来进行切换，也可以根据参数的设定状况来判断是否执行已执行的清洁方法的历史信息的记录处理。在执行已执行的清洁方法的历史信息的记录处理的情况下使处理移至步骤se04，并在不实施已执行的清洁方法的历史信息的记录处理的情况下结束本处理。

[步骤se04]控制装置5将已执行的清洁方法的历史信息记录到非易失性存储器、外部存储装置等，并结束本处理。

图17是上述的处理3(再清洁处理)的流程图。

[步骤sf01]控制装置5确认上述的切屑残留状况监视机构、同步电动机2的负荷状况等来确认切屑的残留状况，并判定切屑的残留量是否在允许范围内。在切屑的残留量在允许范围内的情况下结束本处理，并在允许范围外的情况下使处理移至步骤sf02。

[步骤sf02]控制装置5判定所残留的切屑是否能够由切屑排出装置1除去。在能够/无法除去的判定中，例如，在切屑的残留量在执行清洁的前后不变化的情况、或在即使反复进行一定次数的清洁也无法除去切屑的情况下，也可以判定为无法除去。在判定为切屑能够由切屑排出装置1除去的情况下使处理移至步骤sf03，并且在判定为无法除去的情况下使处理移至步骤sf05。

[步骤sf03]控制装置5控制同步电动机2，而使在步骤sf01中确定出的切屑排出装置1的被认为残留有切屑的部位移动至清洁机构7能够进行清洁的位置。

[步骤sf04]控制装置5控制清洁机构7来执行残留切屑的除去(清洁)，并且使处理移至步骤sf01。

[步骤sf05]控制装置5使切屑排出装置1的动作停止。

[步骤sf06]控制装置5通过显示装置的显示、声音、灯等对操作人员通知需要进行手动清洁的内容，并结束本处理。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不仅限定于上述的实施方式的例子，通过施加适当的变更能够以各种方式来实施。

例如，在上述的实施方式中，对使用了擦拭部、刮取部、排出口/吸入口等清洁构件的清洁机构7进行了说明，但也可以构成为使用了擦具(wiper)、刷子等其它清洁构件的清洁机构7。并且，也可以构成为组合有多个清洁构件的清洁机构7。

并且，作为切屑排出装置1的动力源，除同步电动机2以外还能够使用带旋转检测器的感应电动机和变频器。另外，也可以使用简单的一定速度/一定时间动作的驱动源。在该情况下，设置用于修正与清洁机构7的动作之间的偏差的机构，当在切屑排出装置1与清洁机构7之间产生了偏差时进行修正即可。

作为判断是否实施清洁的方法，除利用上述的拍摄装置检测残留切屑的方法、或当在确定的位置处同步电动机2的负荷超过规定值的情况下推断为残留有切屑的方法以外，也可以在同步电动机2的负荷总是超过规定值的情况、或同步电动机2的负荷以预先决定的规定值以上的比例变动的情况等下，判断为需要清洁的实施。

在上述的实施方式中，示出使用了反射物的切屑的堆积状况的确认的例子，但作为反射物，除平面镜之外还能够利用凸面镜、凹面镜等。并且，也能够使用折射物，在该情况下，通过使用凸透镜，来对在拍摄装置单体的分辨率中难以确认的部位的切屑残留状况进行确认，从而提高确认精度，或者也可以使用凹透镜，能够在拍摄装置的移动距离较少的状态下进行大范围的确认，从而实现确认时间的缩短。并且，也可以利用多个反射物或者折射物，也可以组合反射物和折射物来利用。

并且，控制装置5在确认了清洁的结果后决定进行再清洁的情况下，也可以实施与前次进行的清洁方法不同的清洁方法。例如，在即使使用利用了擦拭部的清洁机构也无法对切屑进行清洁的情况下，在再清洁时，也可以控制为使用利用了排出加工液等流体的排出口的清洁机构来进行清洁。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述的实施方式的例子，通过施加适当的变更能够以其它方式来实施。