于激发激光的足够周期的脉冲。因此，备用脉冲产生部件200产生备用脉冲以将备用脉冲提供到切换部件400。备用脉冲具有方波波形例如，550Hz/5V方波的形式。当备用脉冲具有大致550Hz的频率时，激光受到挡板阻挡且不辐照到外面。然而，激光按1/550HZ = 1818 μ s的周期在激光辐照器100中振荡。由于激光辐照器100的内部仅须在挡板闭合的备用状态中维持在气体激发态中，因此备用脉冲的周期减小。
[0042]操作脉冲产生部件300产生操作脉冲，所述操作脉冲用以允许激光在激光经辐照的操作状态中振荡以将产生的操作脉冲提供到切换部件400。可将操作脉冲用作确定当将激光辐照到衬底上时执行的激光发射的周期的振荡脉冲。激光处理设备经设计以每当脉冲上升时都振荡激光发射，脉冲的周期越快，那么激光发射的周期越快。
[0043]同样，操作脉冲可具有峰值电压比备用脉冲的峰值电压低、周期比备用脉冲的周期短且上升时间比备用脉冲的上升时间短的方波波形。由于操作脉冲的峰值电压、周期和上升时间经设计以小于备用脉冲的峰值电压、周期和上升时间，因此当激光辐照器100的激光辐照到衬底上时，在备用状态中的激光辐照器100的气氛可转换成激光操作模式。
[0044]同样，操作脉冲产生部件300可从平台移动检测部件900接收检测信号以通过使用接收的检测信号产生具有方波波形的操作脉冲。检测信号可具有交流(alternating-current ；AC)波形，例如，正弦波或余弦波。此处，操作脉冲产生部件300可从平台移动检测部件900接收例如正弦波或余弦波的AC波，以通过使用接收的AC波来产生具有方波波形的操作脉冲。由于在未检测到平台移动的情况下平台移动检测部件900不输出任何信号，因此在平台不移动的备用状态中不会产生检测信号。因此，在备用状态中，操作脉冲产生部件300不接收AC波，且因此操作脉冲产生部件300不会产生操作脉冲。另一方面，当检测到平台移动时，平台移动检测部件900可输出具有AC波形的检测信号，且操作脉冲产生部件300可接收AC波以将AC波转换成具有方波波形的操作脉冲，由此输出经转换的操作脉冲。
[0045]平台移动检测部件900可在检测到平台移动的区段的范围中输出检测信号，以将检测信号提供到操作脉冲产生部件300和平台驱动部件700。检测信号可具有AC波形，例如，正弦波或余弦波。如图5(a)及图5(b)中所说明，平台移动检测部件900包含:平台刻度600，其中刻度标记于面向平台的侧的位置上；和编码器500，其安置于平台的所述侧上以每当检测到平台刻度600的刻度时都输出AC波。
[0046]平台刻度600由玻璃材料形成，且在其上标记用于指示长度的刻度。安置于平台上的至少一个编码器500可每当平台移动时读取面向其的平台刻度600的刻度，且每当读取刻度时产生检测信号以将检测信号提供到操作脉冲产生部件300和平台驱动部件700。每当编码器500通过平台的移动读取平台刻度600的刻度时，编码器500都可输出例如正弦波或余弦波的AC波。因此，如果从平台移动检测部件900输出AC波，那么可理解平台移动。
[0047]切换部件400可选择从操作脉冲产生部件300输出的操作脉冲和从备用脉冲产生部件200产生的备用脉冲中的任一者，以将选定的一个脉冲提供到激光辐照器100。此处，激光辐照器100可仅在从外面输入确定激光振荡的周期的脉冲的外部模式中被驱动。因此，由于由切换部件400选择的操作脉冲或备用脉冲经输入到激光辐照器100内且用作用于振荡激光的振荡脉冲，因此其可影响激光振荡的周期。
[0048]平台驱动部件700可确定是否将操作脉冲或备用脉冲提供到激光辐照器100以控制切换部件400。S卩，平台驱动部件700可控制切换部件400，使得当未检测到平台的移动时，将备用脉冲提供到激光辐照器内，且当检测到平台的移动时，将操作脉冲提供到激光辐照器内。当从平台移动检测部件900输入AC波时，平台驱动部件700确定平台移动，且激光辐照过程开始，以控制从操作脉冲产生部件300产生的操作脉冲，使得在激光辐照器100中切换操作脉冲。另一方面，当无包含AC波的信号被从平台移动检测部件900输入时，平台驱动部件700确定平台不移动以控制从备用脉冲产生部件200产生的备用脉冲，使得在激光辐照器100中切换备用脉冲以允许将激光辐照器100维持在备用状态中。
[0049]为了参考，平台驱动部件700可根据为从平台移动检测部件900输入的检测信号的AC波计算平台的移动速度和位置中的至少一者。例如，当平台通过使用电动机800移动时，平台驱动部件700可读取平台刻度600的刻度以计算平台的位置，由此按需要在一段距离中移动平台。例如，如在图5(a)中所说明，当希望允许安置在读取为‘0’单位刻度的位置上的平台在平台刻度600的长度方向(+Y方向)上移动到‘10’单位刻度的位置时，平台驱动部件700移动平台，直到输入十个检测信号为止。此处，当在平台移动时平台驱动部件700从平台移动检测部件900接收到十个检测信号时，平台驱动部件700停止平台的移动。因此，如图5(b)中所说明，平台110移动到‘10’单位刻度的位置。此处，上述‘单位刻度’表示标记于平台刻度600上的刻度单位，且例如μ m、mm、cm等等的各种单位可为单位刻度。
[0050]如以上所描述，当激光辐照器100在经维持在外部模式中时从外面接收到用以振荡激光的脉冲时，可提供单独的激光处理设备以根据激光的状态选择性地输入备用脉冲或操作脉冲。
[0051]因此，由于不管是备用状态还是操作状态都在外部模式中连续地将脉冲输入到激光辐照器100内，因此在不改变模式的情况下，可使激光辐照器100在噪音和延迟方面最小化。
[0052]为了参考，图6(a)为说明振荡脉冲的曲线图，所述振荡脉冲经转换成外部模式以从外面接收操作脉冲，由此在于现有激光辐照器100中在内部模式中操作时振荡激光以自身产生备用脉冲，由此维持在备用状态中。使脉冲在上升时间上延迟且不平滑地上升。然而，根据示范性实施例，激光辐照器100在外部模式中操作，且可从外面选择性输入备用脉冲和操作脉冲以改进如图6(b)中所说明的振荡脉冲。即，可使脉冲的上升时间减小且平滑地上升。
[0053]根据示范性实施例，当激光辐照器在外部模式中操作时，备用状态和操作状态中的脉冲可经转换和提供以防止振荡脉冲延迟。同样，根据示范性实施例，可改进关于振荡脉冲的延迟和噪声以执行优越的激光辐照。
[0054]虽然已参照具体实施例描述用于处理激光的设备，但其不限于此。因此，所属领域的技术人员将容易理解，在不脱离本发明的精神的情况下，可对其进行各种修改和改变。
【主权项】
1.一种用于处理激光的设备，其特征在于包括: 操作脉冲产生部件，其经设置以产生用于在辐照所述激光的操作状态中振荡所述激光的操作脉冲； 备用脉冲产生部件，其经设置以产生用于在尚未辐照所述激光的备用状态中振荡所述激光的备用脉冲； 切换部件，其经设置以选择所述操作脉冲和所述备用脉冲中的一者以将选定的所述脉冲提供到激光辐照器；以及 相对移动模块驱动部件，其经设置以控制所述切换部件使得当未检测到平台或所述激光辐照器的移动时，将所述备用脉冲提供到所述激光辐照器，且当检测到所述平台或所述激光辐照器的所述移动时，将所述操作脉冲提供到所述激光辐照器。
2.根据权利要求1所述的用于处理激光的设备，其特征在于进一步包括相对移动检测部件，所述相对移动检测部件经设置以在检测到所述平台或所述激光辐照器的所述移动的区段的范围中输出检测信号，以将输出的所述检测信号提供到所述操作脉冲产生部件， 其中所述操作脉冲产生部件接收所述检测信号以产生具有方波波形的操作脉冲。
3.根据权利要求2所述的用于处理激光的设备，其特征在于，所述相对移动检测部件在检测到所述平台或所述激光辐照器的所述移动的区段的范围中输出所述检测信号，以将输出的所述检测信号提供到所述相对移动模块驱动部件，且 所述相对移动模块驱动部件根据所述检测信号的输入计算所述平台或所述激光辐照器的移动速度和位置中的至少一者。
4.根据权利要求2或3所述的用于处理激光的设备，其特征在于，所述相对移动检测部件包括平台移动检测部件，所述平台移动检测部件经设置以在检测到所述平台或所述激光辐照器的所述移动的区段的范围中输出所述检测信号，以将输出的所述检测信号提供到所述操作脉冲产生部件， 其中所述平台移动检测部件包括: 平台刻度，其中刻度标记于面向所述平台的一侧的位置上；以及 编码器，其安置在所述平台的所述侧上以每当检测到所述平台刻度的所述刻度时都输出所述检测信号。
5.根据权利要求4所述的用于处理激光的设备，其特征在于，所述检测信号包括交流波。
6.根据权利要求1所述的用于处理激光的设备，其特征在于，所述激光辐照器仅在确定所述激光振荡的周期的脉冲是从外面输入的外部模式中被驱动。
7.根据权利要求1所述的用于处理激光的设备，其特征在于，所述操作脉冲和所述备用脉冲中的每一者具有方波波形。
8.根据权利要求7所述的用于处理激光的设备，其特征在于所述操作脉冲的峰值电压比所述备用脉冲的峰值电压低。
9.根据权利要求7所述的用于处理激光的设备，其特征在于，所述操作脉冲的周期比所述备用脉冲的周期短。
10.根据权利要求7所述的用于处理激光的设备，其特征在于，所述操作脉冲的上升时间比所述备用脉冲的上升时间短。
【专利摘要】本
【发明内容】
涉及一种用于处理激光的设备，且更明确地说，涉及一种用于驱动激光辐照器以用于将激光辐照到衬底上、转换激光振荡模式时防止激光质量恶化的激光处理设备。用于处理激光的设备包含：操作脉冲产生部件，其经设置以产生用于在辐照激光的操作状态中振荡激光的操作脉冲；备用脉冲产生部件，其经设置以产生用于在尚未辐照激光的备用状态中振荡激光的备用脉冲；切换部件，其经设置以选择操作脉冲和备用脉冲中的一者以将选定脉冲提供到激光辐照器；和相对移动模块驱动部件，其经设置以控制切换部件使得当未检测到平台或激光辐照器的移动时将备用脉冲提供到激光辐照器，且当检测到平台或激光辐照器的移动时将操作脉冲提供到激光辐照器。
【IPC分类】B23K26-0622, B23K26-08, B23K26-70
【公开号】CN104816085
【申请号】CN201510059644
【发明人】罗玉钧, 李成龙, 吴荣锡, 崔尙奎, 蒋盛旭
【申请人】Ap系统股份有限公司
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年2月4日