激光振荡机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及在对被加工物实施激光加工的激光加工装置等上设置的激光振荡机构。
【背景技术】
[0002]在半导体器件制造工艺中，在大致圆板形状的半导体晶片的正面上被呈格子状排列的分割预定线划分出多个区域，在该划分出的区域中形成IC、LSI等器件。然后，通过沿分割预定线切断半导体晶片，对形成有器件的区域进行分割而制造出一个个半导体芯片。
[0003]为了实现装置的小型化、高功能化，使下述这样的模块结构实现了实用化:对多个半导体芯片进行层叠并将层叠后的半导体芯片的电极连接在一起。对于该模块结构，在半导体晶片中的形成有电极的的部位形成贯通孔，在该贯通孔中埋入与电极连接的铝等导电性材料从而形成过孔。
[0004]提出有通过照射激光光线而形成上述的贯通孔的方法。作于用于像这样形成贯通孔的激光加工装置，提出有如下技术:安装激光光线照射构件，该激光光线照射构件具有使用了声光元件(AOD)的声光偏转构件，在使激光光线振荡构件振荡出的激光光线通过声光元件(AOD)时变更光路，由此，在对被加工物进行加工进给的同时对同一加工位置照射激光光线(例如，参照专利文献I)。
[0005]专利文献1:日本特开2008-290086号公报
[0006]然而，通过声光元件(AOD)发生变化的光路的角度为2?3m左右的弧长对应的角度，为了将通过声光元件(AOD)后的O次光的激光光线去除，必须在离开声光元件(AOD) I?2m的位置处配设激光光线吸收构件，从而存在装置大型化这样的问题。
【发明内容】
[0007]本发明是鉴于上述事实完成的，其主要的技术课题在于提供一种激光振荡机构，其能够在不使装置大型化的情况下通过使用了声光元件(AOD)的声光偏转构件来变更激光振荡器振荡出的激光光线的光路的角度。
[0008]为了解决上述的技术课题，根据本发明，提供一种激光振荡机构，其特征在于，该激光振荡机构具有:脉冲激光振荡器，其振荡出脉冲激光光线；和光路变更构件，其对该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线的光路的角度进行变更，该光路变更构件由下述部分构成:声光偏转构件，其具有声光元件，该声光元件在有效区域内变更该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线的光路；和体积衍射光栅，其使通过该声光元件变更了光路的角度后的脉冲激光光线中的希望排除的脉冲激光光线折射而从该有效区域排除。
[0009]由于构成本发明的激光振荡机构的光路变更构件由声光偏转构件和体积衍射光栅(VBG)构成，其中，该声光偏转构件使用了声光元件，该声光元件在有效区域内变更该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线的光路，该体积衍射光栅使通过该声光偏转构件的声光元件变更了光路的角度后的脉冲激光光线中的希望排除的脉冲激光光线折射而从有效区域排除，因此，能够将体积衍射光栅配设成与构成声光偏转构件的声光元件相邻，从而能够避免装置的大型化。
【附图说明】
[0010]图1是安装有本发明实施方式的激光振荡机构的激光加工装置的立体图。
[0011]图2是安装有激光振荡机构的激光光线照射构件的模块结构图。
[0012]标号说明:
[0013]2:静止基座；3:卡盘工作台机构；36:卡盘工作台；37:X轴方向移动构件；38:Y轴方向移动构件；4:激光光线照射单元5:激光光线照射构件；50:激光振荡机构；51:脉冲激光光线振荡器；52:光路变更构件；53:声光偏转构件；531:声光元件(AOD) ;54:体积衍射光栅(VBG) ;55:激光光线吸收构件；56:聚光器；562:远心f Θ透镜；6:摄像构件；7:控制单元。
【具体实施方式】
[0014]以下，参照附图对根据本发明构成的激光振荡机构的优选的实施方式详细地进行说明。
[0015]在图1中示出安装有本发明实施方式的激光振荡机构的激光加工装置的立体图。图1所示的激光加工装置I具有静止基座2、以能够在箭头X所示的加工进给方向(X轴方向)上移动的方式配设于该静止基座2上且保持被加工物的卡盘工作台机构3、以及配设于基座2上作为激光光线照射构件的激光光线照射单元4。
[0016]上述卡盘工作台机构3具有:沿着X轴方向平行配设于静止基座2上的一对导轨31、31 ;以能够在X轴方向上移动的方式配设于该导轨31、31上的第I滑块32 ;以能够在与X轴方向正交的箭头Y所示的Y轴方向上移动的方式配设于该第I滑块32上的第2滑块33 ;被圆筒部件34支承于该第2滑块33上的支承台35 ;以及作为被加工物保持构件的卡盘工作台36。该卡盘工作台36具有由多孔性材料形成的吸附盘361，且在吸附盘361的作为上表面的保持面上通过未图示的吸引单元保持作为被加工物的例如圆形状的半导体晶片。如上构成的卡盘工作台36通过配设于圆筒部件34内的未图示的脉冲电机而旋转。另外，卡盘工作台36上配设有用于固定环状框架的夹具362，该环状框架经由保护带支承半导体晶片等的被加工物。
[0017]在上述第I滑块32的下表面设有与上述一对导轨31、31嵌合的一对被引导槽321、321，并且其上表面设有沿着Y轴方向而平行形成的一对导轨322、322。如上构成的第I滑块32构成为:通过被引导槽321、321嵌合于一对导轨31、31，从而能够沿着一对导轨31、31在X轴方向上移动。图示的实施方式中的卡盘工作台机构3具有用于使第I滑块32沿着一对导轨31、31在X轴方向上移动的X轴方向移动构件37。X轴方向移动构件37包括平行配设于上述一对导轨31与31之间的外螺纹杆371、以及用于驱动该外螺纹杆371旋转的脉冲电机372等驱动源。外螺纹杆371的一端以能够旋转的方式支承于在上述静止基座2上固定的轴承块373，其另一端与上述脉冲电机372的输出轴传动连结。另外，外螺纹杆371螺合于在突出设置于第I滑块32的中央部下表面上的未图示的内螺纹块上形成的贯通内螺纹孔内。因此，通过脉冲电机372对外螺纹杆371进行正转和反转驱动，从而使得第I滑块32沿着导轨31、31在X轴方向上移动。
[0018]在上述第2滑块33的下表面设有与设置于上述第I滑块32的上表面上的一对导轨322、322嵌合的一对被引导槽331、331，且上述第2滑块33构成为通过将该被引导槽331,331嵌合于一对导轨322、322而能够在Y轴方向上移动。卡盘工作台机构3具有用于使第2滑块33沿着设置于第I滑块32上的一对导轨322、322而在Y轴方向上移动的Y轴方向移动构件38。Y轴方向移动构件38包括平行配设于上述一对导轨322与322之间的外螺纹杆381、以及用于旋转驱动该外螺纹杆381的脉冲电机382等驱动源。外螺纹杆381的一端以能够旋转自如的方式被支承于在上述第I滑块32的上表面固定的轴承块383，其另一端与上述脉冲电机382的输出轴传动连结。另外，外螺纹杆381螺合于在突出设置于第2滑块33的中央部下表面上的未图示的内螺纹块上形成的贯通