内螺纹孔中。因此，通过脉冲电机382对外螺纹杆381进行正转和反转驱动，从而使得第2滑块33沿着导轨322、322在Y轴方向上移动。
[0019]上述激光光线照射单元4具有:配设于上述基座2上的支承部件41 ;被该支承部件41支承且实质上水平延伸的壳体42 ;配设于该壳体42上的激光光线照射构件5 ;以及配设于壳体42的前端部以检测待激光加工的加工区域的摄像构件6。另外，摄像构件6具有:照明加工物的照明单元；捕捉被该照明单元照明的区域的光学系统；以及对由该光学系统捕捉的像进行摄像的摄像元件(CCD)等。
[0020]参照图2说明上述激光光线照射构件5。激光光线照射构件5具有激光振荡机构50和聚光器56。激光振荡机构50由下述部分构成:振荡出脉冲激光的脉冲激光振荡器51 ；和对该脉冲激光振荡器51振荡出的脉冲激光光线的光路的角度进行变更的光路变更构件52。脉冲激光振荡器51在本实施方式中振荡出对于例如由硅晶片构成的被加工物具有吸收性的波长(例如355nm)的脉冲激光光线LB。该脉冲激光振荡器51由控制单元7控制。
[0021]构成激光光线照射构件5的光路变更构件52由声光偏转构件53和体积衍射光栅(VBG) 54构成，该声光偏转构件53使脉冲激光振荡器51振荡出的脉冲激光光线LB的光路在有效区域内变更，该体积衍射光栅(VBG) 54使通过该声光偏转构件53变更了光路的角度后的脉冲激光光线中的希望排除的脉冲激光光线折射而从该有效区域排除。
[0022]声光偏转构件53具有:声光元件(AOD) 531，其与聚光器56的后述的方向变换镜协作在X轴方向上对脉冲激光振荡器51振荡出的脉冲激光光线LB的光路进行方向变更；RF振荡器532，其生成对该声光元件(AOD) 531施加的RF (rad1 frequency:射频)信号；第一 RF放大器533，其将该RF振荡器532生成的RF信号在放大功率后施加于声光元件(AOD) 531 ;以及偏转角度调整构件534，其对RF振荡器532生成的RF信号的频率进行调整。上述声光元件531能够对应于施加的RF信号的频率来调整要对激光光线的光路进行方向变更的角度。上述的偏转角度调整构件534由控制单元7控制。
[0023]声光偏转构件53如以上那样构成，接下来，对其作用进行说明。从上述脉冲激光振荡器51振荡出的脉冲激光光线LB被引导至构成声光偏转构件53的声光元件(AOD) 531。当通过由控制单元7控制的声光偏转构件53的偏转角度调整构件534对声光元件(AOD) 531施加例如OV的电压时，被引导至声光偏转构件53的脉冲激光光线LB作为O次光LBO输出。而且，当通过偏转角度调整构件534对声光元件(AOD) 531施加例如5V的电压时，引导至声光元件(AOD) 531的脉冲激光光线LB的光路被方向变更为脉冲激光光线LBl，当施加1V的电压时，引导至声光元件(AOD) 531的脉冲激光光线LB的光路被方向变更为脉冲激光光线LB2，当施加15V的电压时，引导至声光元件(AOD) 531的脉冲激光光线LB的光路被方向变更为脉冲激光光线LB3。
[0024]构成上述光路变更构件52的体积衍射光栅(VBG) 54在本实施方式中使通过构成声光偏转构件53的声光元件(AOD) 531对光路进行了方向变更的O次光LBO、和脉冲激光光线LB1、LB2、LB3中O次光LB0，如虚线所示那样朝向激光光线吸收构件55折射，该激光光线吸收构件55配设在从有效区域偏离的位置。而且，体积衍射光栅(VBG) 54将光路进行了方向变更后的脉冲激光光线LB1、LB2、LB3导向聚光器56。这样，由于通过体积衍射光栅(VBG) 54使希望排除的O次光LBO朝向配设在从有效区域偏离的位置处激光光线吸收构件55折射，因此，能够将体积衍射光栅(VBG) 54配设成与构成声光偏转构件53的声光元件(AOD) 531相邻，从而能够避免装置的大型化。
[0025]聚光器56具有:方向变换镜561，其将由体积衍射光栅(VBG) 54引导的脉冲激光光线1^1、1^2、1^3朝向下方进行方向变换:以及远心￡0透镜562，其对通过该方向变换镜561进行了方向变换的脉冲激光光线LB1、LB2、LB3进行聚光。通过该远心f Θ透镜562聚光后的脉冲激光光线LB1、LB2、LB3在本实施方式中如图2所示那样在X轴方向上隔开规定的间隔(L)聚光。
[0026]如上所述通过构成声光偏转构件53的声光元件(AOD) 531使脉冲激光光线LB的光路依次方向变更为LB1、LB2、LB3，并通过远心f Θ透镜562依次进行聚光，从而将脉冲激光光线LB1、LB2、LB3照射至保持在卡盘工作台36上的被加工物W，在图2中向左侧以对应于上述间隔(U的规定的加工速度对卡盘工作台36进行加工进给，由此，能够对被加工物W的同一加工位置进行加工。
[0027]以上，基于图示的实施方式对本发明进行了说明，本发明不仅限于实施方式，可以根据本发明的主旨进行各种变形。例如，在上述的实施方式中，示出了将本发明的激光振荡机构应用于激光加工装置的例子，本发明的激光振荡机构也可以应用于激光加工装置以外的激光设备。
【主权项】
1.一种激光振荡机构，其特征在于， 所述激光振荡机构具有: 脉冲激光振荡器，其振荡出脉冲激光光线；和 光路变更构件，其对该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线的光路的角度进行变更， 该光路变更构件由下述部分构成: 声光偏转构件，其具有声光元件，该声光元件在有效区域内变更该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线的光路；和 体积衍射光栅，其使通过该声光元件变更了光路的角度后的脉冲激光光线中的希望排除的脉冲激光光线折射而从该有效区域排除。
【专利摘要】本发明提供激光振荡机构，其能够在不使装置大型化的情况下通过使用了声光元件(AOD)的声光偏转构件来变更激光振荡器振荡出的激光光线的光轴的角度。激光振荡机构具有：脉冲激光振荡器，其振荡出脉冲激光光线；和光路变更构件，其对脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线的光路的角度进行变更。光路变更构件由下述部分构成：声光偏转构件，其使用了声光元件，该声光元件在有效区域内变更激光振荡器振荡出的脉冲激光光线的光路；和体积衍射光栅，其使通过声光偏转构件的声光元件变更了光路的角度后的脉冲激光光线中的希望排除的脉冲激光光线折射而从有效区域排除。
【IPC分类】B23K26/067, B23K26/064, B23K26/0622, B23K101/40, B23K26/402, B23K26/38, B23K26/08
【公开号】CN105598581
【申请号】CN201510770100
【发明人】能丸圭司
【申请人】株式会社迪思科
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2015年11月11日
【公告号】DE102015222440A1, US20160139488