Z所示的聚光点位置调整方向(Z轴方向)上移动的方式配设于该激光光线照射单元支承机构4。
[0034]上述卡盘工作台机构3具有:一对导轨31、31，其沿着X轴方向平行地配设于静止基台2上；第一滑动块32，其以能够在X轴方向上移动的方式配设在该导轨31、31上；第二滑动块33，其以能够在Y轴方向上移动的方式配设在该第一滑动块32上；支承工作台35，其被圆筒部件34支承在该第二滑动块33上；以及作为保持构件的卡盘工作台36，其保持被加工物。该卡盘工作台36具有由多孔性材料形成的吸附卡盘361，在作为吸附卡盘361的上表面的保持面上通过未图示的吸引构件保持被测量物。借助配设于圆筒部件34内的未图示的脉冲电动机使这样构成的卡盘工作台36旋转。另外，在卡盘工作台36上配设有用于固定环状的框架的夹具362，该框架隔着保护带支承被加工物。
[0035]上述第一滑动块32在其下表面设置有与上述一对导轨31、31嵌合的一对被引导槽321、321，并且在其上表面设置有沿着Y轴方向平行形成的一对导轨322、322。这样构成的第一滑动块32构成为通过被引导槽321、321与一对导轨31、31嵌合而能够沿着一对导轨31、31在X轴方向上移动。图示的实施方式中的卡盘工作台机构3具有用于使第一滑动块32沿着一对导轨31、31在X轴方向上移动的X轴方向移动构件37。X轴方向移动构件37包含:外螺纹杆371，其平行地配设在上述一对导轨31与31之间；以及脉冲电动机372等驱动源，其用于旋转驱动该外螺纹杆371。外螺纹杆371的一端旋转自如地支承于固定于上述静止基台2的轴承块373，其另一端与上述脉冲电动机372的输出轴传动连结。另外，外螺纹杆371与形成于未图示的内螺纹块的贯通内螺纹孔螺合，该内螺纹块在第一滑动块32的中央部下表面突出地设置。因此，通过借助脉冲电动机372对外螺纹杆371进行正转和反转驱动，而使第一滑动块32沿着导轨31、31在X轴方向上移动。
[0036]上述第二滑动块33在下表面设置有一对被引导槽331、331，该一对被引导槽331、331与设置于上述第一滑动块32的上表面的一对导轨322、322嵌合，上述第二滑动块33构成为通过该被引导槽331、331与一对导轨322、322嵌合而能够在Y轴方向上移动。图示的实施方式中的卡盘工作台机构3具有第一 Y轴方向移动构件38，该第一 Y轴方向移动构件38用于使第二滑动块33沿着设置于第一滑动块32的一对导轨322、322在Y轴方向上移动。第一 Y轴方向移动构件38包含:外螺纹杆381，其平行地配设在上述一对导轨322与322之间；以及脉冲电动机382等驱动源，其用于旋转驱动该外螺纹杆381。外螺纹杆381的一端旋转自如地支承于固定于上述第一滑动块32的上表面的轴承块383，其另一端与上述脉冲电动机382的输出轴传动连结。另外，外螺纹杆381与形成于未图示的内螺纹块的贯通内螺纹孔螺合，该内螺纹块在第二滑动块33的中央部下表面突出地设置。因此，通过借助脉冲电动机382对外螺纹杆381进行正转和反转驱动，而使第二滑动块33沿着导轨322、322在Y轴方向上移动。
[0037]上述激光光线照射单元支承机构4具有:一对导轨41、41，其沿着Y轴方向平行地配设在静止基台2上；以及可动支承基台42，其以能够在Y轴方向上移动的方式配设在该导轨41、41上。该可动支承基台42由以能够移动的方式配设在导轨41、41上的移动支承部421和安装于该移动支承部421的装配部422构成。装配部422在一个侧面上平行地设置有在Z轴方向上延伸的一对导轨423、423。图示的实施方式中的激光光线照射单元支承机构4具有用于使可动支承基台42沿着一对导轨41、41在Y轴方向上移动的第二 Y轴方向移动构件43。第二 Y轴方向移动构件43包含平行地配设在上述一对导轨41、41之间的外螺纹杆431以及用于对该外螺纹杆431进行旋转驱动的脉冲电动机432等驱动源。外螺纹杆431的一端旋转自如地支承于固定于上述静止基台2的未图示的轴承块，其另一端与上述脉冲电动机432的输出轴传动连结。另外，外螺纹杆431与形成于未图示的内螺纹块的内螺纹孔螺合，该内螺纹块在构成可动支承基台42的移动支承部421的中央部下表面突出地设置。因此，通过借助脉冲电动机432对外螺纹杆431进行正转驱动和反转驱动，而使可动支承基台42沿着导轨41、41在Y轴方向上移动。
[0038]图示的实施方式中的激光光线照射单元5具有单元保持座51以及安装于该单元保持座51的激光光线照射构件52，单元保持座51以能够沿着一对导轨423、423移动的方式配设于上述可动支承基台42的装配部422。激光光线照射构件52包含固定于上述单元保持座51且实际上水平延伸的圆筒形状的外壳521。以下，关于激光光线照射构件52的第一实施方式，参照图2的(a)和(b)进行说明。
[0039]图2的(a)和(b)所示的激光光线照射构件52具有:脉冲激光光线振荡构件53，其配设在外壳521内；聚光器54，其具有聚光透镜541，该聚光透镜541对从该脉冲激光光线振荡构件53振荡出的脉冲激光光线进行会聚而对保持在保持面上被加工物W进行照射，该保持面是作为被加工物保持构件的卡盘工作台36的上表面；方向转换反射镜55，其配设在该脉冲激光光线振荡构件53与该聚光器54之间，对从脉冲激光光线振荡构件53振荡出的激光光线朝向聚光器54进行方向转换；以及光斑调整构件56，其配设在该方向转换反射镜55与聚光器54之间。脉冲激光光线振荡构件53由如下部件构成:由YAG激光振荡器或者YV04激光振荡器构成的脉冲激光光线振荡器531 ;以及附设在脉冲激光光线振荡器531上的重复频率设定构件532。这样构成的脉冲激光光线振荡构件53在图示的实施方式中振荡出波长为1064nm的脉冲激光光线LBa。
[0040]上述光斑调整构件56在图不的实施方式中由柱面凹透镜561和致动器562构成，致动器562将该柱面凹透镜561定位在图2的(a)中实线所示的作用位置与双点划线所示的退避位置。该柱面凹透镜561具有如下的功能:使经由聚光透镜541照射到保持在卡盘工作台36上的被加工物W的脉冲激光光线的光斑形成为在被加工物W的被照射面(上表面)上在加工进给方向(X轴方向)上较长且在与加工进给方向(X轴方向)垂直的分度进给方向(Y轴方向)上较短的形状。这里，关于从脉冲激光光线振荡构件53振荡出的脉冲激光光线LBa的光斑，参照图2的(a)和(b)进行说明。从脉冲激光光线振荡构件53振荡出的脉冲激光光线LBa的光斑(截面形状)是圆形。光斑(截面形状)为圆形的脉冲激光光线LBa经由方向转换反射镜55而穿过柱面凹透镜561，由此在加工进给方向(X轴方向)上扩展而成为光斑(截面形状)为椭圆(长轴:X轴方向为D1，短轴:Y轴方向为D2)的激光光线LBb。该脉冲激光光线LBb被聚光透镜541会聚，并在保持在卡盘工作台36上的被加工物W的被照射面(上表面)上形成有椭圆(长轴:Χ轴方向为dl，短轴:Y轴方向为d2)的光斑SI。另外，关于由聚光透镜541会聚的脉冲激光光线，Y轴方向的聚光点如图2的(a)所示那样为P1，在X轴方向上，由于通过柱面凹透镜561而被一端扩径因此聚光点如图2的(b)所示那样成为比Pl靠下方的P2。
[0041]接着，关于构成激光光线照射构件52的光斑调整构件56的另一实施方式，参照图3的(a)和(b)进行说明。
[0042]图3的(a)和(b)所示的光斑调整构件56由具有长孔563a的掩模部件563和致动器564构成，该致动器564将该