专利名称：钛铝涂层用多弧离子镀膜机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种工具涂层用镀膜机，特别是钛铝涂层用多弧离子镀膜机。
背景技术：
现有的钛铝涂层用镀膜机，是在真空镀膜炉炉壁上安装多个钛铝涂层蒸发源，蒸发源均匀分布在炉壁四周，这种设备存在的缺陷是工件经镀膜加工后，工件表面的钛铝涂层与基体的结合不良，使涂层性能受影响。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种钛铝涂层用的镀膜机，克服现有技术的缺陷，使镀膜加工后的工件表面的钛铝涂层与基体结合良好，确保工件的钛铝涂层性能良好。
本实用新型的技术解决方案是一种钛铝涂层用多弧离子镀膜机，它主要是由多弧离子镀膜炉炉壁上均匀安装多个钛铝镀层蒸发源构成，以及沿炉壁四周均匀设置多个纯钛离子轰击、予镀蒸发源。
图1 是本实用新型的钛铝涂层用多弧离子镀膜机结构炉壁展开示意图，它包含8个钛铝涂层蒸发源与3个纯钛离子轰击、予镀蒸发源。
图2 是本实用新型的钛铝涂层用多弧离子镀膜机结构炉壁示意图。它包含9个钛铝镀层蒸发源与6个纯钛离子轰击、予镀蒸发源。
具体实施方案本实用新型结合具体实施例参见附图进一步说明如下实施例1、一种钛铝涂层用多弧离子镀膜机，它包含8个钛铝涂层蒸发源A1～AB，和3个纯钛离子轰击予镀蒸发源B1～B3，两者均沿多弧离子镀膜炉炉壁四周均匀分布。参见附图1，图中P为多弧离子镀膜炉炉壁展开面。
实施例2、一种钛铝涂层多弧离子镀膜机，它包含9个钛铝涂层蒸发源C1～C9，和6个纯钛离子轰击，予镀蒸发源D1～D6，两者均沿多弧离子镀膜炉炉壁四周均匀分布。参见附图2，图中H为多弧离子镀膜炉炉壁展开面。
本实用新型钛铝涂层用多弧离子镀膜机由于工件在进行钛铝涂层镀膜之前予先经过纯钛离子蒸发源的轰击清洗和予镀，然后再由钛铝镀层蒸发源进行钛铝涂层镀膜，因此钛铝涂层与工件基体结合牢固，保证了钛铝镀膜涂层性能良好。且本实用新型钛铝涂层多弧离子镀膜机的钛铝镀层蒸发源与纯钛离子轰击予镀蒸发源分布合理，加工工效高。
权利要求1.一种钛铝涂层用多弧离子镀膜机，它主要是由多弧离子镀膜炉炉壁上均匀安装多个钛铝镀层蒸发源构成，其特征是沿炉壁四周均匀设置多个纯钛离子轰击、予镀蒸发源。
2.根据权利要求1所述的钛铝涂层用多弧离子镀膜机，其特征在于它包含8个钛铝涂层蒸发源和3外纯钛离子轰击、予镀蒸发源，两者均沿多弧离子镀膜炉炉壁四周均匀分布。
3.根据权利要求1所述的钛铝涂层用多弧离子镀膜机，其特征在于它包含9个钛铝镀层蒸发源和6个纯钛离子轰击、予镀蒸发源，两者均沿多弧离子镀膜炉炉壁四周均匀分布。
专利摘要一种钛铝镀层用多弧离子镀膜机，它主要由多弧离子镀膜炉炉壁上均匀安装多个钛铝镀层蒸发源与多个纯钛离子轰击、予镀蒸发源构成，本实用新型的优点是钛铝涂层与工件基体结合牢固，保证了钛铝镀膜涂层性能良好。且钛铝涂层多弧离子镀膜机的钛铝镀层蒸发源与纯钛离子轰击予镀蒸发源分布合理，加工工效高。
文档编号C23C14/24GK2587884SQ0227792
公开日2003年11月26日 申请日期2002年12月20日 优先权日2002年12月20日
发明者陈力学 申请人:陈力学