专利名称：电子薄膜材料生长的加热器的制作方法
技术领域：
本发明涉及加热器，特别是用于新型电子薄膜材料生长系统的加热器。
实现本发明目的的技术方案是这样解决的，包括一个调压控制器，调压控制器与接线柱连接，其本发明的改进之处在于还包括接线柱分别与环形电极相连，环形电极通过支撑柱、绝缘套、螺母互连为一体，环形电极上设置有加热灯管安装槽，并通过螺钉压紧，加热灯管外设有反光罩，反光罩、绝缘密封圈固定连接。
附图为本发明的具体实施例；下面结合附图对本发明的内容作进一步说明参见
图1、图2所示，接线柱1、9分别与环形电极2、7相连，环形电极2、7通过4根支撑柱5、绝缘套6、螺母8连为一体。环形电极2、7上设置有12个“L”型加热灯管安装槽10，碘钨灯管4安装在“L”型槽10中并通过螺钉3压紧。加热灯管4外连接反光罩12，反光罩12与绝缘密封圈11固定连接。
在接线柱1、9上接入电源，就可实现灯管照射加热，通过调压控制器实现加热控制。
图3所示为本发明的使用状态实施例，环形电极的内腔置有由透明管13的一端连接有密封圈15与法兰盘16，并形成一个真空室，真空室内置有被加热工件14。
点亮灯管通过灯光照射与反射对工件进行加热。不同的需要通入真空室内一定组份的气体，即实现不同薄膜的生长。本发明也可以做成旋转式加热器。将反光罩12去掉，实施加热器外围工件加热。
本发明与现有技术相比，具有结构简单，制造安装方便，更换灯管快捷，尤其是加热器内还可以置有一个真空室，真空室内根据不同的需要通入一定组份的气体，即可实现不同薄膜的生长。这种加热器具有加热速度快，加热均匀，维修简单的特点，广泛应用于新型电子薄膜材料生长的加热。
权利要求
1.一种电子薄膜材料生长的加热器，包括一个调压控制器，调压控制器与接线柱(1、9)连接，其特征在于还包括接线柱(1、9)分别与环形电极(2、7)相连，环形电极(2、7)通过支撑柱(5)、绝缘套(6)、螺母(8)互连为一体，环形电极(2、7)上设置有加热灯管安装槽(10)，并通过螺钉(3)压紧，加热灯管(4)外设有反光罩(12)，反光罩(12)与绝缘密封圈(11)固定连接。
2.根据权利要求1所述的电子薄膜材料生长的加热器，其特征在于所说的支撑柱(5)至少由3根或3根以上与环形电极(2、7)、绝缘套(6)、螺母(8)相互连接构成框架。
3.根据权利要求1所述的电子薄膜材料生长的加热器，其特征在于所说的环形电极(2、7)上对称设置有4个或4个以上加热灯管安装槽(10)。
4.根据权利要求1所述的电子薄膜材料生长的加热器，其特征在于加热灯管端头与电极之间采用“L”型槽和螺钉压紧式结构。
5.根据权利要求1所述的电子薄膜材料生长的加热器，其特征在于发热体为碘钨灯管。
6.根据权利要求1所述的电子薄膜材料生长的加热器，其特征在于所说的环形电极的内腔置有由透明管(13)并通过密封圈(15)与法兰盘(16)连接形成一个真空室，真空室内有被加热工件(14)。
全文摘要
本发明涉及电子薄膜加热器，特别是用于新型电子薄膜材料生长系统的加热器。由支撑挂、加热灯管和两个环形电极组合而成，发热体为碘钨灯管，加热灯管固定在两个环形电极上，两个环形电极上对称设置有若干个加热灯管安装槽，加热灯管安装在槽内并通过螺钉压紧，外层安装一个反光罩，组成灯光照射式加热器。灯管与电极之间的安装采用快装“L”型槽和螺钉压紧式结构，方便可靠。本发明具有结构简单，制造安装方便，更换灯管快捷，尤其是加热器内还可以置有一个真空室，真空室内根据不同的需要通入一定组份的气体，即可实现不同薄膜的生长。这种加热器具有加热速度快，加热均匀，维修简单的特点，广泛应用于新型电子薄膜材料生长的加热。
文档编号C23C14/26GK1443869SQ0311463
公开日2003年9月24日 申请日期2003年4月15日 优先权日2003年4月15日
发明者陈治明, 李留臣, 呼刚义 申请人:西安理工大学