专利名称：一种减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种调整腐蚀余量的蚀刻生产工艺，此生产工艺流程适用大 型彩管栅网类生产线进行批量生产，也适合其它蚀刻生产线。
背景技术：
目前，在精度要求较高的金属腐蚀件，如彩管网版的蚀刻生产中，腐蚀 余量通常设计为材料厚度的一半。但对于部分金属腐蚀件，如栅网类金属件， 其要求精度并不是很高，如果仍采用腐蚀余量设计为材料厚度的一半，则将 浪费掉大量的材料。为了解决这个问题，提高生产效率，降低生产成本，可 对现有蚀刻法生产工艺的腐蚀余量进行调整。
发明目的
本发明的目的在于提供一种调整腐蚀余量的蚀刻生产工艺，将原工艺中 腐蚀余量调整小。此种改进方案不仅可以提高栅网蚀刻件的生产效率，并且 可以降低金属蚀刻件的生产成本。
为达到上述目的，本发明是采取如下技术方案予以实现的 一种减小腐 蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺，其特征在于，包括下述工序
(1) 制版用CAD制图，采用光绘机制作玻璃工作版或菲林胶片版； 制版按A-T/3计算，其中A为腐蚀余量，T为原材料厚度；
(2) 备料将钢带巻安装到放巻架上，或用剪板机将巻材切成单块板材；
(3) 除油对钢带或单块板材用清洗剂进行除油，再经过工业水及纯水 进行清洗干燥；
(4) 感光材料涂敷对经过除油的钢带用PVA感光胶涂敷，而后进入干 燥炉进行烘干；对除油后的单块板材用丝网涂敷感光性抗蚀油墨， 一面涂墨 完成后在红外烘干机中烘干后再对另一面用同样的工艺进行涂墨、烘干；
(5) 曝光将经过感光胶涂敷和烘干的钢带夹在玻璃工作版中进行紫外线双面曝光，或将己烘干的油墨单块板材夹在菲林胶片版中间进行紫外线双 面曝光；
(6) 显影用纯水对经过曝光的钢带进行显影；或用Na2C(V溶液作为显 影液，对单块板材进行显影，将未被曝光的部分显影掉，保留曝过光的图形;
(7) 固化显影过的钢带经过铬酸溶液坚膜，而后经过气割和固化炉固 化；或将显影后的单块板材在烘箱中加热固化；
(8) 蚀刻经过固化的钢带或单块板材进入腐蚀室在FeCl3溶液中进行 蚀刻，或采用蚀刻机喷淋FeCl3溶液蚀刻；
(9) 剥膜经过蚀刻的钢带在60 110。C的NaOH溶液中进行剥膜处理； 或将经过蚀刻的单块板材放入90°C ±l(TC的NaOH溶液进行剥膜处理；
(10) 清洗烘干钢带在剥膜处理后，依次经过水洗、中和、再水洗、 纯水洗后烘干；单块板材剥膜处理后，用清水、纯水清洗后烘干。
上述方案中，所述步骤(4)中，PVA感光胶涂敷厚度控制在5.0 10.0 "m。所述步骤(5)中，曝光时间钢带为30 50s;单块板材为3 8s。所 述步骤(6)中，钢带显影温度为20 5(TC，显影压力为0.05 0.20Mpa。单 块板材显影温度45。C士5。C，显影压力0.25士0.05Mpa;显影液^20)3溶液的 浓度为2.0 5.0%。所述步骤(7)中，铬酸溶液的浓度为1.60±0.50%。所 述步骤(8)中，FeCl3溶液的疲劳度为5 15%、游离酸浓度为1. 5 2. 5%、 波美为48.0士5.0Be'，腐蚀温度为40 55°C，腐蚀压力为0, 20 0. 50Mpa。 所述用蚀刻机喷淋蚀刻经过八个喷淋室，每个喷淋室泵的压力均为0.20 0.40Mpa。所述步骤(9)中，NaOH溶液的的浓度为10 20%。
本发明的工艺原理是
将除油清洗后的钢带或单块板材敷上感光材料，将之夹在玻璃工作版或 菲林胶片版之间进行曝光，将玻璃工作版或菲林胶片版上的图形复制在涂完 感光材料的钢带或单块板材上，将未曝光部分用水清洗掉，而曝光的部分完 整保留下来，接着用三氯化铁进行腐蚀，最后用氢氧化钠溶液将感光材料剥 离。腐蚀掉的部分为网眼，保留部分即为金属产品的实体部分。
本发明生产工艺可适用大型彩管网版生产线进行批量生产，也适合其它
5蚀刻生产线。
图l是本发明工艺流程图。
具体实施例方式
实施例1
(1) 制版用CAD制图，采用光绘机制作玻璃工作版或菲林胶片版；
制版按A-T/3计算(其中A为腐蚀余量，T为原材料厚度)；
(2) 备料将钢带巻安装到放巻架上；
(3) 除油对钢带用清洗剂进行除油，再经过工业水及纯水进行清洗干
燥；
(4) 感光材料涂敷对经过除油清洗的钢带用PVA感光胶进行涂敷，膜 厚控制在5.0 10.0iim，灰度控制在2. 0 6. 0，含水率为5 15%,而后进 入干燥炉进行烘千，干燥炉前四个区的温度范围为10(rC±20°C、后两个区 的温度范围为7(TC土2(TC。
(5) 曝光将经过感光胶涂敷和烘干的钢带在工作版中进行紫外线双面 曝光，曝光时间为30 50s。
(6) 显影用纯水对经过曝光的钢带进行显影，显影温度为20 50'C， 显影压力为直水洗0. 05 0. 20Mpa，复水洗0. 05 0. 15Mpa，将未被曝光的部 分显影掉，保留曝过光的图形。
(7) 固化
显影过的钢带经过1.60±0.50%的铬酸溶液坚膜，而后经过气割和固化 炉进行固化，气割温度为50 85r，固化温度为100 150°C。
(8) 蚀刻
经过固化的钢带进入腐蚀室利用40 55。C的FeCl3溶液进行蚀刻，FeCh 溶液的疲劳度为5 15%、游离酸浓度为1. 5 2. 5°/。、波美为48. 0±5. OBe'， 腐蚀压力为0. 20 0. 50Mpa。或采用蚀刻机喷淋蚀刻，经过八个喷淋室，八个泵的压力为0. 20 0. 40Mpa;
(9) 剥膜
经过蚀刻的钢带在10 20%的NaOH溶液进行剥膜处理，剥膜温度为60 ll(TC。
(10) 清洗烘干-
钢带在剥膜处理后，依次经过水洗、中和、水洗、纯水洗后进入干燥炉 迸行烘干，干燥炉温度为100 200°C。 实施例2
(1) 制版用CAD制图，采用光绘机制作或菲林胶片版，制版按A-T/3 计算(其中A为腐蚀余量，T为原材料厚度)；
(2) 备料用剪板机将巻材切成单块板材；
(3) 除油同实施例1;
(4) 感光材料涂敷对清洗烘干后的板材用丝网进行涂墨，墨层为感光 性抗蚀油墨。 一面涂墨完成后进入红外烘干机进行传动烘干，烘道温度范围
为8(TC士2(TC，完成后再对另一面用同样的工艺进行涂墨、烘干；
(5) 曝光或将己烘干的油墨板材在菲林胶片版中间进行紫外线双面曝 光，曝光时间3 8s;
(6) 显影或用Na2C03溶液作为显影液，用2.0 5.0%的船2(:03溶液作 为显影液，显影温度45。C土5r:，显影压力0.25土0.05Mpa，将未被曝光的部 分显影掉，保留曝过光的图形；
(7) 固化显影过的板材经过1.60±0.50%的铬酸溶液坚膜，采用烘箱 进行固化，烘箱内温度15CrC 20(TC，固化时间200s士5s;
(8) 蚀刻同实施例1;
(9) 剥膜将经过蚀刻的单板放入9(TC士l(rC的NaOH溶液中，NaOH溶 液浓度为10 20%;
(10) 清洗烘干单板在剥膜处理后，用清水、纯水清洗，然后进入60 9(TC的烘道内烘干。
权利要求
1、一种减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺，其特征在于包括下述步骤(1)制版用CAD制图，采用光绘机制作玻璃工作版或菲林胶片版，制版按A＝T/3计算，其中A为腐蚀余量，T为原材料厚度；(2)备料将钢带卷安装到放卷架上，或用剪板机将卷材切成单块板材；(3)除油对钢带或单块板材用清洗剂进行除油，再经过工业水及纯水进行清洗干燥；(4)感光材料涂敷对经过除油的钢带用PVA感光胶涂敷，而后进入干燥炉进行烘干；对除油后的单块板材用丝网涂敷感光性抗蚀油墨，一面涂墨完成后在红外烘干机中烘干后再对另一面用同样的工艺进行涂墨、烘干；(5)曝光将经过感光胶涂敷和烘干的钢带夹在玻璃工作版中进行紫外线双面曝光，或将已烘干的油墨单块板材夹在菲林胶片版中间进行紫外线双面曝光；(6)显影用纯水对经过曝光的钢带进行显影；或用Na2CO3溶液作为显影液，对单块板材进行显影，将未被曝光的部分显影掉，保留曝过光的图形；(7)固化显影过的钢带经过铬酸溶液坚膜，而后经过气割和固化炉固化；或将显影后的单块板材在烘箱中加热固化；(8)蚀刻经过固化的钢带或单块板材进入腐蚀室在FeCl3溶液中进行蚀刻，或采用蚀刻机喷淋FeCl3溶液蚀刻；(9)剥膜经过蚀刻的钢带在60～110℃的NaOH溶液中进行剥膜处理；或将经过蚀刻的单块板材放入90℃±10℃的NaOH溶液进行剥膜处理；(10)清洗烘干钢带在剥膜处理后，依次经过水洗、中和、再水洗、纯水洗后烘干；单块板材剥膜处理后，用清水、纯水清洗后烘干。
2. 如权利要求1所述减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺，其特 征在于，所述步骤(4)中，PVA感光胶涂敷厚度控制在5.0 10.0nm。
3. 如权利要求1所述减小腐钟余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺，其特 征在于，所述步骤(5)中，曝光时间钢带为30 50s;单块板材为3 8s。
4. 如权利要求1所述减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺，其特 征在于，所述步骤(6)中，钢带显影温度为20 50'C，显影压力为0.05 0. 20Mpa;单块板材显影温度45。C土5。C，显影压力0. 25±0. 05Mpa;显影液 Na2C03溶液的浓度为2. 0 5. 0%。
5. 如权利要求1所述减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺，其特 征在于，所述步骤(7)中，铬酸溶液的浓度为1.60±0.50%。
6. 如权利要求1所述减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺,其特 征在于，所述步骤(8)中，FeCl3溶液的疲劳度为5 15%、游离酸浓度为1. 5 2. 5%、波美为48. 0±5. OBe',腐蚀温度为40 55°C，腐蚀压力为0. 20 0. 50Mpa。
7. 如权利要求1或6所述减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺， 其特征在于，所述用蚀刻机喷淋蚀刻经过八个喷淋室，每个喷淋室泵的压力 均为0. 20 0. 40Mpa。
8. 如权利要求1所述减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺，其特 征在于，所述步骤(9)中，NaOH溶液的浓度为10 20%。
全文摘要
本发明公开了一种减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺，其特征在于，制版腐蚀余量按1/3的原材料厚度计算，将除油清洗后的钢带或单块板材敷上感光材料，将之夹在玻璃工作版或菲林胶片版之间进行曝光，将玻璃工作版或菲林胶片版上预先制好图形复制在涂完感光材料的钢带或单块板材上，将未曝光部分用水清洗掉，而曝过光的部分完整保留下来，接着用三氯化铁溶液进行腐蚀，最后用氢氧化钠溶液将感光材料剥离。腐蚀掉的部分为网眼，保留部分即为产品的实体部分。本发明通过减小腐蚀余量，可提高栅网类金属蚀刻件的生产效率，并且可以降低金属蚀刻件的生产成本。
文档编号C23F1/04GK101440492SQ200810232738
公开日2009年5月27日 申请日期2008年12月9日 优先权日2008年12月9日
发明者王宗林, 郑建博 申请人:彩虹集团电子股份有限公司