专利名称：高频诱导加热装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及能够用一台加热装置简单连续地通过对各种工件的高频诱导加热进
行淬火和退火的高频诱导加热装置。
背景技术：
—般来说，比如在齿轮轴等轴状工件上对其外周面的指定部位进行淬火或退火 时，使用的是通过指定频率的高频电流在上述指定部位诱发涡流进行诱导加热的高频诱导 加热装置。到目前为止，这样的高频诱导加热装置分别具备加热线圈、冷却装置以及能够产 生适合于淬火或退火的指定频率高频电流的高频电源等。 然后，在进行淬火时，从加热装置向加热线圈提供淬火用的高频电流进行诱导加 热，该加热装置配备了能够产生适合于淬火的高频电流的高频电源，通过冷却装置的冷却 水对加热部分进行急速冷却，从而对工件进行淬火。另外，退火时，从加热装置向加热线圈 提供退火用的高频电流进行诱导加热从而进行工件的退火，同样，该加热装置配备了能够 产生适合于退火的高频电流的高频电源。而且这种高频诱导加热装置已经公示，例如，专利 文献1。专利文献1特开2006-34421号公报 但是，在这样的高频诱导加热装置上，工件的淬火和退火的条件各异，且分别使用 具有不同频率的高频电源的加热装置，例如在工件淬火后继续进行退火时，需要在用淬火 的加热装置进行淬火后运行退火用的加热装置，如此则难以简单连续地进行工件的淬火和 退火，作业效率差。 另外，一旦将通过淬火用加热装置进行了淬火的工件从该加热装置取出，必须安 装到设置于其他位置的退火用加热装置上进行退火，因此，工件在加热装置之间移动时，可 能发生淬火不良的工件或未进行淬火的工件被供应到退火用加热装置上进行退火，如此则 难以确保工件是在规定条件下进行了淬火后再在规定条件下进行退火，也难以在工件上轻 松且稳定地获得良好的淬火退火质量。
发明内容
鉴于上述情况，本发明的目的是提供能够用一台加热装置简单连续地进行工件的 淬火和退火、且能够切实进行规定条件的淬火或退火、可轻松且稳定地获得具有良好的淬 火或退火质量的工件的高频诱导加热装置。 为达到上述发明目的，本发明的权利要求1所述的高频诱导加热装置具有下述特 征配置在由支撑装置支撑的工件淬火部位及退火部位上的加热线圈、向该加热线圈提供 所定频率高频电流的高频电源、可冷却上述工件的冷却装置、给上述工件做规定标记的赋 予标记装置以及对这些进行控制的控制装置；上述控制装置是指从上述高频电源向上述 加热线圈提供淬火用的高频电流，对上述工件淬火部位进行淬火，淬火后，从上述高频电源 向上述加热线圈提供退火用的高频电流，对上述工件的退火部位进行退火；另外，至少在上述工件退火后运转上述赋予标记装置，在工件上做好规定的标记。 另外，在权利要求2中描述的发明的特征是上述高频电源具备可向上述加热线 圈提供淬火用高频电流的第1电源部和可向上述加热线圈提供退火用高频电流的第2电源 部。而且，在权利要求3中描述的发明的特征是上述赋予标记装置是在工件上涂布指定颜 色涂料的涂料涂布装置或在工件上进行指定刻印的刻印装置。另外，在权利要求4中描述 的发明的特征是还具有能够检查上述赋予标记装置所做标记的标记检查装置，上述控制 装置则根据上述标记检查装置检查出的标记判断工件是否合格。 根据本发明的权利要求1的记载，通过控制装置的控制对工件进行淬火，淬火后 在简单连续状态下进行退火，然后在工件退火后运行赋予标记装置在工件上做好指定的标 记，因此，工件的淬火和退火能够在一台设备上在简单连续的一个作业循环内进行，不仅能 够提高淬火退火作业的效率，还能够防止退火后的工件产生的淬火退火不良件等进入后工 序，从而轻松且稳定地获得具有良好的淬火或退火质量的工件。
另外，根据本发明的权利要求2的记载，除了权利要求1记载的发明效果之外，由
于该设备的高频电源具有可向上述加热线圈提供淬火用高频电流的第1电源部和可向上
述加热线圈提供退火用高频电流的第2电源部，因此能够从第1电源部和第2电源部切实
向加热线圈提供按照淬火用或退火用的指定频率进行规定输出的高频电流。 另外，根据本发明的权利要求3的记载，除了权利要求1或2记载的发明效果之
外，由于该设备的赋予标记装置是在工件上涂布指定颜色涂料的涂料涂布装置或在工件上
进行指定刻印的刻印装置，因此能够通过涂料或刻印在工件的指定位置切实作好标记，这
样就能够更轻松稳定地获得具有良好淬火或退火质量的工件。 而且，根据本发明的权利要求4的记载，除了权利要求1至3记载的发明效果之 外，由于该设备的控制装置能够根据上述标记检查装置检查出的标记判断工件是否合格， 因此能够通过标记检查装置高精度地检查工件中的合格件和不合格件，从而能够切实防止 将不合格件供应到后工序。
图1是与本发明相关的高频诱导加热装置的结构示意图；
图2是高频诱导加热装置的高频电源的结构示意图；
图3是高频诱导加热装置的赋予标记装置的说明图；
图4是高频诱导加热装置的其他赋予标记装置的说明图；
图5是高频诱导加热装置的淬火退火作业工程图；
图6是高频诱导加热装置的其他标记工序的流程图。
符号的说明
1 :高频诱导加热装置；2 :上支撑部件、3 :下支撑部件；4 :工件夹紧装置；5 :工件 旋转装置；6 :加热线圈7 :线圈移动装置；8 :冷却套管；9 :冷却水供应装置；10 :高频电源 装置；11 :赋予标记装置；12 :标记；13 :标记检查装置；14 :控制装置；17a :第1变频器； 17b :第2变频器；18、22 :切换器；20 :变频电路；21a :第1振荡电路；21b :第2振荡电路； 23 :涂料涂布装置；24 :刻印装置；W :工件；Wa :淬火退火部位；Wb :非淬火退火部位。
具体实施例方式
下面基于附图对本说明的实施方式进行详细说明。 图1 图6表示与本发明相关的高频诱导加热装置的一种实施方式。如图l所示， 高频诱导加热装置1具有下述部件作为支撑装置支撑由齿轮轴或涡轮轴组成的轴状工件 W(简称工件W)的上下端部的上支撑构件2及下支撑构件3、以及使上支撑构件2向指定方 向移动(运行)并夹紧工件W的工件夹紧装置4、使下支撑构件3向指定方向旋转的工件旋 转装置5、设置于工件W的淬火退火部位Wa外周侧的加热线圈6。 另外，高频诱导加热装置1还具有使上述加热线圈6沿着上述淬火退火部位Wa 移动的线圈移动装置7、在加热线圈6上一体化设置的冷却套管8、以及共同构成冷却装置 的向加热线圈6供应冷却水的冷却水供应装置9，向上述加热线圈6提供2种指定频率的 高频电流的高频电源装置10(高频电源)、在工件W的非淬火退火部位Wb上做后述标记12 的赋予标记装置11 (赋予标记装置)、能够检查在工件W上所做的标记12的标记检查装置 13(标记检查装置)以及控制这些装置的控制装置14(控制装置)等。
上述控制装置14配备有CPU14a、R0M14b、RAM14c、合格件显示灯15及不合格件显 示灯16等，在其输入侧连接着能够检测到上述加热线圈6的下限位置和上限位置的没有 图示的传感器，在其输出侧连接着上述工件夹紧装置4、工件旋转装置5、加热线圈6、线圈 移动装置7、冷却水供应装置9、高频电源装置10、赋予标记装置11等。另外，控制装置14
上连接着上述标记检查装置13，以及后述能够输入淬火或退火条件的没有图示的输入装置等。 如图2(a)所示，上述高频电源装置10有作为可产生淬火用高频电流的第1电源 部的第1变频器17a和作为可产生退火用高频电流的第2电源部的第2变频器17b，以及连 接在第1变频器17a及第2变频器17b的输出端子上的切换器18等。第1变频器17a及 第2变频器17b由全桥式连接晶体三极管、MOSFET、 IGBT等半导体开关元件的变频电路构 成，其输入侧连接于上述控制装置14，其输出侧分别连接于指定形态的切换器18的一边输 入端子上。 另外，切换器18的输出端子通过没有图示的铜板或线缆等导体连接到上述加热 线圈6上。然后，高频电源装置10通过控制装置14发出的控制信号将第1变频器17a和 第2变频器17b设定在运行状态，同时由于切换器18能够根据控制装置14的控制信号切 换到指定侧，因此能够通过第1变频器17a或第2变频器17b向加热线圈6供应高频电流， 即，通过第1变频器17a能够向加热线圈6供应淬火用的高频电流，或通过第2变频器17b 能够向加热线圈6供应退火用的高频电流。 另外，高频电源装置10不限于上述构成，例如，具有如图2(b)所示的构成。也就 是说，该高频电源装置10具有采用半导体开关元件全桥式连接的一个变频电路20和使该 变频电路20运转(开 关)的第1振荡电路21a及第2振荡电路21b、连接于两个振荡电 路21a、21b和变频电路20之间的切换器22等。在该例子的情况下，变频电路20和第1振 荡电路21a构成第1电源部，变频电路20和第2振荡电路21b构成第2电源部。
然后，通过控制装置14的控制信号将变频电路20和两个振荡电路21a、21b设定 到运转状态，并通过控制装置14的控制信号将切换器22切换到规定侧，这样，变频电路20 的振荡频率就会设定到规定的频率。通过这种处理，从变频电路20的输出端子向加热线圈6供应的高频电流就会设定为通过第1振荡电路21a形成的淬火用高频电路，或者通过第2 振荡电路2 lb形成的退火用高频电流。 并且，切换器22的连接不限于两个振荡电路21a、21b和变频电路20之间，也可如 图2(b)的双点划线所示，连接于两个振荡电路21a、21b的输入侧。作为本例中的切换器 22，高频电路并不会流向切换器22本身，所以可以使用应答性(切换性)好的半导体开关
等。作为高频电源装置io，只要能够像这样将淬火用高频电流和退火用高频电流供应到加
热线圈6即可，例如，配备一个变频电路或振荡电路，通过切换决定其振荡频率的电气零件 的特性值形成使其产生2种频率的高频电流等，因此可以采用合适的电路构造。
如图l所示，上述加热线圈6从平面视角来看是形成圆环状(或马蹄状)的，在工 件W的淬火退火部位Wa的外周面存在规定的间隙，同时通过线圈移动装置7能够沿淬火退 火部位Wa的外周面在轴方向(图1的箭头^方向)上移动。另外，在加热线圈6的下部 (或上部) 一体化地配设了在内部形成冷却水流路的圆环状的冷却套管8，在该冷却套管8 的内周面形成了多个冷却水喷射孔(没有图示)。而且，冷却套管8的冷却水流路是通过合 适的软管连接在上述冷却水供应装置9上的。 这样构成的加热线圈6的两端电气连接在高频电源装置10上，通过该电源装置10 的运转提供指定频率的高频电流，而冷却水则通过软管从上述冷却水供应装置9循环供应 到冷却套管8的冷却水流路内，并从冷却水喷射孔喷射到工件W上。另外，通过控制装置14 的控制信号旋转线圈移动装置7的电机，使滑块沿导杆上下移动，从而加热线圈6在工件W 外周侧的规定范围(淬火退火部位Wa的范围)内上下移动。 如图3所示，上述赋予标记装置11由设置于顶端的喷嘴23b、收纳规定颜色涂料的 涂料缸23a以及驱动涂料料缸23a沿图中箭头口所示方向移动的驱动部23c组成的涂料涂 布装置23构成。然后，通过上述控制装置14的控制信号运行驱动部23c，使涂料缸23a向 工件W方向移动，而涂料则按照图3 (a)所示箭头八从喷嘴23b中喷射出来，并在工件W的 非淬火退火部位Wb的规定位置上按照图3(b)所示进行涂布作为标记12。
另外，上述赋予标记装置11并不限定于图3所示的涂料涂布装置23，例如，也可以 使用图4所示刻印装置24。该刻印装置24配备有可照射激光的激光发生部24a、设置于激 光发生部24a顶端的发射喷嘴24b以及驱动部24c，驱动部24c在控制装置14的控制信号 下运转，激光通过发射喷嘴24b从激光发生部24a按照图4(a)所示箭头二向工件W发射。 通过该激光在工件W上打上由沟部(凹部)构成的例如圆形的刻印，形成图4(b)所示标 记12。这样，作为赋予标记装置ll，就可以使用在工件W的非淬火退火部位Wb上涂颜色或 刻印凹凸形状或粘贴薄膜等的合适的赋予标记装置，以形成能够通过后述标记检查装置13 或作业员的目视识别的标记12。 上述标记检查装置13由摄像相机构成，该装置的原理是检查工件W的非淬火退火 部位Wb上的上述标记12，并将检查信号输出到上述控制装置14。另外，该标记检查装置13 并不是必要的，虽然适合于自动识别赋予标记装置11做的标记12后流向(供应)后工序 的研磨或消除应力工序的情况，但在作业者目视确认标记12后流向后工序的作业的情况 下则可以省略。 接下来，根据图5的工程图及图6的流程图对使用上述高频诱导加热装置1的工 件W的淬火退火作业的一个实例进行说明。而且，在下述说明中高频电源装置10为图2(a)中所示构造。首先，上述工件W如图l所示，形成了规定的外形形状，具有规定长度的淬火 退火部位Wa和在该淬火退火部位Wa的下部形成的非淬火退火部位Wb，以及上下的支撑部 Wc、Wd等。 然后，将加热线圈6设置到下限位置的初始位置，将工件W从上方插入到该加热线 圈6的内侧，用下支撑构件3支撑下部的支撑部Wd，同时用上支撑部件2支撑工件W上部的 支撑部Wc，在这种状态下通过控制装置14的控制信号运转工件夹紧装置4夹紧(K01)工件 W。工件W被夹紧后，通过控制装置14的控制信号将高频电源装置10的切换器18切换到 淬火侧的第l变频器17a侧，并将高频电源装置IO设定(K02)在淬火侧，通过第l变频器 17a、切换器18向加热线圈供应高频电流后开始淬火作业(K03)。 这时，用于淬火的高频电流的频率设定为10(T200KHz。而淬火作业是通过控制装 置14的控制信号运行工件旋转装置5，在旋转工件W的同时，运行高频电源装置10，然后通 过高频电流将淬火退火部位Wa诱导加热至规定温度，同时运行冷却水供应装置9将冷却水 从冷却套管8的冷却水喷射孔喷射到加热部位进行急速冷却。另外，该淬火作业是通过控 制装置14的控制信号控制线圈移动装置7的动作，使加热线圈6从工件W的淬火退火部位 Wa的下部向上部进行上升移动，从而使淬火作业能够简单连续地进行。
然后，加热线圈6上升到上限位置后，通过控制装置14的控制信号停止加热线圈 6的动作，从而结束淬火作业(K04)。淬火作业结束后，通过控制装置14的控制信号运转线 圈移动装置7，使加热线圈6下降至初始位置(下限位置)后停在该位置上。在这种状态 下，通过控制装置14的控制信号将高频电源装置10的切换器18切换到退火侧的第2变频 器17b侧，将高频电源装置IO设定到退火侧后(K05)，开始退火作业(K06)。
这时，用于退火的高频电流的频率设定为比淬火低30KHz左右，退火作业是在旋 转工件W的同时，运行高频电源装置IO，然后通过高频电流将淬火退火部位Wa诱导加热至 规定温度。另外，线圈移动装置7的动作使加热线圈6从工件W的淬火退火部位Wa的下部 向上部进行上升移动，从而使退火作业能够简单连续地进行。进行该退火作业时，当然无需 喷射冷却水进行冷却，因此冷却水供应装置9处于非运行状态。 然后，加热线圈6再次上升到上限位置后，通过控制装置14的控制信号停止加热 线圈6，从而结束退火作业(K07)。退火作业结束后，通过控制装置14的控制信号运转线圈 移动装置7，使加热线圈6下降至初始位置(下限位置)后停在该位置上，同时，通过控制装 置14的控制信号运行上述赋予标记装置11，开始在工件W上做标记(K08)。
如图6所示，该标记作业是在控制装置14的控制下进行的。也就是说，标记作业 程序开始(S081)运行后，立即判断(S082)退火是否结束，该判断S082会重复进行，直至变 为"YES"，实行图5的工程K07后变成"YES"时，判断(S083)淬火和退火的条件是否正常。 该条件是指在图5的工程K03、 K04和工程K06、 K07的淬火作业和退火作业时，从高频电源 装置10输出的电流值、频率及其供应时间等，在判断S083时会判断这些条件与通过上述输 入装置设定输入的条件是否一致(或是否在预先设定的范围内)。 判断S083为"YES"时，即，淬火或退火时的条件与预先设定的条件一致时，通过控 制装置14的控制信号运转(S084)赋予标记装置11在工件W上赋予标记12，即做标记。然 后，在工件W上做好标记后，通过控制装置14的控制信号运行(S085)标记检查装置13，其 信号则会被输入到控制装置14。控制装置14从标记检查装置13接收到关于标记12的信号后，判断(S086)标记是否正常。当判断S086为"YES"时，即输入的标记12的检查信号 与预先设定的标记一致，且检查出的标记12的颜色为指定的颜色或检查出的刻印形状为 规定形状时，判定(S087)工件W为合格件，然后使控制装置14的合格件显示灯15或收纳 到合格件箱中。 另一方面，当判断S086为"N0"时，即输入的标记12的检查信号与预先设定的标记 不一致，标记12的颜色或刻印不能正常检查出来时，判断(S088)工件W为不合格件，然后 使控制装置14的不合格件显示灯16亮灯，并收纳到不合格件箱中。另外，当上述判断S083 为"N0"时，即淬火或退火的条件不正常时，跳至步骤S088判断为不合格件，结束(S089) — 系列程序。也就是说，控制装置14只会判断淬火和退火均按照规定的条件进行、且做好了 规定的标记12的工件W为合格件。 然后，按照图5的工程K08进行了标记后，通过控制装置14的控制信号运行工件 夹紧装置4，松开(K09)工件W后从上下支撑构件2、3上取出工件W，结束工件W的淬火退 火作业。这样，工件W的淬火和退火作业就能够使用一台高频诱导加热装置1于一个作业 循环内在简单连续的状态下进行。而且，在上述淬火退火作业中，退火作业时是在降下加热 线圈6后设定于初始位置的状态下进行的，即通过加热线圈6的上升动作进行了淬火和退 火，但也可以从加热线圈6的上限位置开始退火作业，并在加热线圈6下降*停止时结束作 业。 这样，采用上述高频诱导加热装置l，通过控制装置14控制高频电源装置10的第 1电源部和冷却水供应装置9，对工件W的淬火退火部位Wa进行淬火，淬火后在简单连续状 态下控制同一电源装置10的第2电源部对淬火退火部位Wa进行退火，所以工件W的淬火 和退火能够在一台装置上于一个作业循环内简单连续地进行，也能够提高淬火退火作业的 效率。 另外，高频电源装置10具备淬火用和退火用的2个电源部，能够在1台加热装置1 上在简单连续的状态下进行淬火和退火，所以能够从各电源部切实向加热线圈6供应淬火 或退火专用的高频电流，能够确保淬火本身或退火本身的高精度。而且，能够尽量縮短淬火 结束和到淬火开始之间的时间，能够抑制退火开始前的淬火部位的质量降低等。
另外，加热线圈6设定为可沿淬火退火部位Wa移动，同时冷却套管8也一体化地 设定在该加热线圈6上，所以即使是轴状的工件W，也能够沿规定长度的淬火退火部位Wa移 动加热线圈6，并在旋转工件W的同时进行淬火退火，而且还能够进一步提高工件W的淬火 退火作业的效率，在淬火退火部位的整个外周获得均匀的加热状态。这样就能够轻松稳定 地获得具有良好的淬火或退火质量的工件W。 另外，在工件W的退火作业后运行赋予标记装置11，并在工件W上做好标记12，通
过标记12就能明确地认识到工件W是经过了淬火退火的产品，在研磨或消除应力等后工序
的作业中，只要对有该标记的产品进行作业即可，结果是可以稳定轻松地获得具有良好的
淬火退火质量的工件W。特别是控制装置14会根据标记检查装置13检查出来的标记12判
断工件W是否合格，因此能够通过控制装置14机械性地高精度地判断合格件和不合格件，
能够切实防止不合格件混入到合格件中或防止将不合格件供应到后工序。 另外作为赋予标记装置11，使用的是在工件W上涂布指定颜色的涂料的涂料涂布
装置23或在工件W上进行规定刻印的刻印装置24，所以能够通过涂料或刻印在工件W的非淬火退火部位Wb上切实赋予标记12，并能够提高通过标记检查装置13检查的精度、通过控 制装置14提高自动判断工件W是否合格的精度，也能够提高作业员的识别能力，从而轻松 稳定地获得具有更好的淬火或退火品质的工件W。 而且，高频电源装置10拥有第1变频器17a、第2变频器17b以及切换器18等，如 果采用通过控制装置14控制切换器18、并从第1变频器17a或第2变频器17b向加热线 圈6供应规定频率的高频电流的构造，就能够向加热线圈6切实供应淬火用的高频电流和 退火用的高频电流。另外，高频电源装置10配备了变频电路20和第1振荡电路2la及第 2振荡电路21b等，如果采用通过控制装置14的控制运行第1振荡电路21a或第2振荡电 路21b以及从变频电路20向加热线圈6供应规定频率的高频电流的构造，就能够减少高频 电源装置10的变频电路的数量，或者简化切换器22的构成等，这样就能够形成低成本的电 源装置10。 另外，在上述实施形态下，虽然在淬火和退火结束后运行赋予标记装置13在向后 工序供应的工件W上做了标记，但也可如图5的双点划线所示，在淬火后做淬火专用的标记 (K10)、在退火后做退火专用的标记(K08)，这样的话，就能够个别判断工件W的淬火状态和 退火状态。 在上述实施形态中，虽然一边使加热线圈6沿工件W的淬火退火部位Wa上下移 动，一边进行淬火退火作业，但本发明并不限于这种构造。根据工件W的退火淬火部位Wa 的长度等，有的可以将对应该部位Wa的形状的加热线圈6固定地配置在规定位置，这样一 来就可以通过该加热线圈6于一个循环内在简单连续的状态下进行淬火和退火。而且，上 述实施形态中的加热线圈6的形状、控制装置14的构造等只是一个示例，在不偏离本发明 的各项发明相关的主旨的范围内，可以采用适当的构造。 产业方面的可利用性本发明不局限于齿轮轴、涡轮轴等轴状工件，还可应用于需 要淬火和退火的圆柱形状或棱柱形状等形状所有的工件。
权利要求
一种高频诱导加热装置，具有配置在由支撑装置支撑的工件淬火部位及退火部位上的加热线圈、向该加热线圈提供所定频率高频电流的高频电源、可冷却上述工件的冷却装置、给上述工件做规定标记的赋予标记装置以及对这些进行控制的控制装置；其特征在于，上述控制装置是指从上述高频电源向上述加热线圈提供淬火用的高频电流，对上述工件淬火部位进行淬火，淬火后，从上述高频电源向上述加热线圈提供退火用的高频电流，对上述工件的退火部位进行退火；另外，至少在上述工件退火后运转上述赋予标记装置，在工件上做好规定的标记。
2. 根据权利要求1所述的高频诱导加热装置，其特征在于，上述高频电源具备可向上述加热线圈提供淬火用高频电流的第1电源部和可向上述加热线圈提供退火用高频电流的第2电源部。
3. 根据权利要求1或2所述的高频诱导加热装置，其特征在于，上述赋予标记装置是在工件上涂布指定颜色涂料的涂料涂布装置或在工件上进行指定刻印的刻印装置。
4. 根据权利要求1 3任一所述的高频诱导加热装置，其特征在于，还具有能够检查上述赋予标记装置所做标记的标记检查装置，上述控制装置则根据上述标记检查装置检查出的标记判断工件是否合格。
全文摘要
本发明提供能够在一台加热装置上简单连续进行工件的淬火和退火、并能够切实进行规定条件的淬火或退火，从而轻松稳定地获得具有良好的淬火或退火质量的工件的高频诱导加热装置。其具备加热线圈、高频电源、冷却装置、赋予标记装置及控制装置，控制装置的特征是从高频电源向加热线圈提供淬火用高频电流并对工件的淬火部位进行淬火，淬火后从高频电源向加热线圈提供退火用高频电流并对工件的退火部位进行退火，然后在工件退火后运行赋予标记装置在工件的非淬火退火部位赋予规定的标记。上述高频电源配备了可向加热线圈提供淬火用高频电流的第1电源部和可向加热线圈提供退火用高频电流的第2电源部。
文档编号C21D9/28GK101717845SQ201010022510
公开日2010年6月2日 申请日期2010年1月7日 优先权日2010年1月7日
发明者宫崎力 申请人:宫电高周波设备(上海)有限公司