一种多晶硅磨锥打孔专用机的制作方法

文档序号:3387902阅读:220来源:国知局
专利名称:一种多晶硅磨锥打孔专用机的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种多晶硅晶棒的磨锥打孔设备,具体涉及一种多晶硅磨锥打孔专用机。
背景技术
多晶硅属于特殊工件,硬度大,易碎。目前现有的多晶磨锥打孔机价格比较昂贵,而相对来说普通机械研磨机价格比较便宜,但是普通机械研磨机不能对不同规格的晶棒进行磨锥打孔,使得对多晶硅棒进行磨锥打孔成本较高。
发明内容本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足,提供一种多晶硅磨锥打孔专用机。该多晶硅磨锥打孔专用机是在原有技术基础上的改进,增加一个夹具,使机械研磨机能对不同规格的晶棒进行磨锥打孔。能达到产品质量要求,成品率大于99%,解决了多晶硅的加工难题,而且安全系数提高、操作方便,大大降低了产品成本。本实用新型采用的技术方案是一种多晶硅磨锥打孔专用机,包括机床、X轴传动系统,Y轴传动系统、圆锥夹具、横梁夹具、钻头、拖板和电主轴。其特征是在机床上装有X轴传动系统、Y轴传动系统,在X轴传动系统上装有横梁夹具,在Y轴传动系统上装有圆锥夹具,在机床的左端设有在拖板、在拖板上装有电主轴,在电主轴上装有钻头。在机床的内部上设有电机和齿轮传动机构,电机与齿轮传动机构通过皮带轮连接,拖板、X轴传动系统,Y轴传动系统通过皮带轮与齿轮传动机连接。所述的圆锥夹具、横梁夹具可以同时在X轴与Y轴上移动,将工件带到指定位置。本实用新型的有益效果是由于采用上述技术方案,即可使该多晶硅磨锥打孔专用机可以很好的完成加工,使其可以对各种晶棒(圆形、方形)进行加工,并达到产品质量要求,成品率大于99%,解决了多晶硅的加工难题,而且安全系数提高、操作方便,大大降低了产品成本。以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。图I为本实用新型的结构示意图。图中,I.电主轴,2.拖板,3.钻头,4.横梁夹具,5.圆锥夹具,6. Y轴传动系统,7. X轴传动系统,8.机床。
具体实施方式
参照


图1,本实用新型包括机床8、X轴传动系统7、Y轴传动系统6、圆锥夹具5、横梁夹具4、钻头、拖板2和电主轴I。在机床上装有X轴传动系统7和Y轴传动系统6,在X轴传动系统7上装有横梁夹具4,在Y轴传动系统6上装有圆锥夹具5,在机床8的左端设有拖板,在拖板2上装有电主轴1,在电主轴I上装有钻头3。电主轴I随着拖板2的移动而移动。在机床8的内部上设有电机和齿轮传动机构,电机与齿轮传动机构通过皮带轮连接,拖板2、X轴传动系统7,Y轴传动系统6通过皮带轮与齿轮传动机连接。所述的电机和齿轮传动机构为公知的已有技术。所述的圆锥夹具5、横梁夹具4可以同时在X轴传动系统7与Y轴传动系统6上移动,将工件带到指定位置进行加 工,加工出来的产品达到产品质量的要求,成品率大于99%,解决了多晶硅的加工难题,而且安全系数提高、操作方便,大大降低了产品成本。
权利要求1.一种多晶硅磨锥打孔专用机,包括机床、X轴传动系统、Y轴传动系统、圆锥夹具、横梁夹具,钻头、拖板与电主轴;其特征是在床身上装有X轴传动系统,Y轴传动系统,在X轴传动系统上装有横梁夹具,在Y轴传动系统上装有圆锥夹具,在机床的左端设有在拖板、在拖板上装有电主轴,在电主轴上装有钻头;在机床的内部上设有电机和齿轮传动机构,电机与齿轮传动机构通过皮带轮连接,拖板、X轴传动系统,Y轴传动系统通过皮带轮与齿轮传动机连接。
2.根据权利要求I所述的ー种多晶硅磨锥打孔专用机,其特征是所述的圆锥夹具、横梁夹具可以同时在X轴传动系统与Y轴传动系统上移动。
专利摘要本实用新型涉及一种多晶硅磨锥打孔专用机,包括机床、X轴传动系统、Y轴传动系统、圆锥夹具、横梁夹具、钻头、拖板和电主轴;其特征是在床身上装有X轴传动系统,Y轴传动系统,在X轴传动系统上装有横梁夹具,在Y轴传动系统上装有圆锥夹具,在机床的左端设有在拖板、在拖板上装有电主轴,在电主轴上装有钻头;在机床的内部上设有电机和齿轮传动机构,电机与齿轮传动机构通过皮带轮连接,拖板、X轴传动系统,Y轴传动系统通过皮带轮与齿轮传动机连接。其优点是可以对各种晶棒(圆形、方形)进行加工,并达到产品质量要求,成品率大于99%,解决了多晶硅的加工难题,而且安全系数提高、操作方便,大大降低了产品成本。
文档编号B24B37/27GK202367585SQ20112053073
公开日2012年8月8日 申请日期2011年12月19日 优先权日2011年12月19日
发明者张新忠, 曹俊辉 申请人:江苏晶宝光电科技有限公司
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