专利名称：一种多晶硅专用毡的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及滤料技术领域，具体涉及ー种多晶硅专用毡。
背景技术：
多晶硅生产设备内环境为高温高压，且充满四氯氢硅气体，该气体的腐蚀性强；现有的涤纶滤料难以长时间抵抗腐蚀气体的侵蚀，极易损坏；频繁的更换滤料对设备的连续生产造成影响。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种耐腐蚀性强，且能适应高温高压环境 的多晶硅专用毡。为了实现上述发明目的，本发明创造采用如下技术方案ー种多晶硅专用毡，包括作为基布的玄武岩基布，玄武岩与聚四氟こ烯纤维复合纤维层；玄武岩与聚四氟こ烯纤维复合纤维层分别铺设在基布两侧并与基布结合，其中，过滤气体进入方向的玄武岩与聚四氟こ烯纤维复合纤维层上还设有PTFE膜结构。进ー步的，PTFE膜结构的膜孔径控制在0. 2 15 ii m之间。进ー步的，PTFE膜结构的空隙率达85%以上。由于采用如上所述的技术方案，本发明创造产生如下积极效果I、由于该专用毡滤料的选用，玄武岩纤维具有耐高温、耐腐蚀性；PTFE膜过滤精度高，能够保证产品的精度；从而使该专用毡具备抗腐蚀性，能够长期稳定的应用于多晶硅生产设备内高温高压环境。2、经实际使用效果检验，此滤料比之前滤料使用时间延长ー个月。
图I是本发明创造的多晶硅专用毡的横截面图；图中I、PTFE膜结构；2、玄武岩与聚四氟こ烯纤维复合纤维层；3、玄武岩基布。
具体实施方式
结合图1，多晶硅专用毡包括作为基布的玄武岩基布3，玄武岩与聚四氟こ烯纤维复合纤维层2 ;玄武岩与聚四氟こ烯纤维复合纤维层2分别铺设在基布两侧并与基布结合，其中，过滤气体进入方向的玄武岩与聚四氟こ烯纤维复合纤维层2上还设有PTFE膜结构I。PTFE膜结构I的膜孔径控制在0. 2 15 ii m之间，其空隙率达85%以上。玄武岩纤维较好的耐高温性能和优异的需酸碱腐蚀性能，需温可以达到600度以上，尤其是耐酸性突出；利用PTFE膜独特的节点原纤性、表面光滑、耐化学物质、透气不透水、透气量大、阻燃、耐高温、抗强酸碱、无毒等特性；使该多晶硅专用毡能够长时间抵抗腐蚀气体的侵蚀，不必频繁的更换滤料，从而更能保证设备的连续生产。
权利要求1、ー种多晶硅专用毡，其特征是包括作为基布的玄武岩基布(3)，玄武岩与聚四氟こ烯纤维复合纤维层(2);玄武岩与聚四氟こ烯纤维复合纤维层(2)分别铺设在基布两侧并与基布结合，其中，过滤气体进入方向的玄武岩与聚四氟こ烯纤维复合纤维层(2)上还设有PTFE膜结构(I)。
2、根据权利要求I所述的多晶硅专用毡，其特征是所述PTFE膜结构的膜孔径控制在0.2 15 y m之间。
3、根据权利要求I所述的多晶硅专用毡，其特征是所述PTFE膜结构的空隙率达85%以上。
专利摘要本实用新型公开的一种多晶硅专用毡，涉及滤料技术领域，包括作为基布的玄武岩基布，玄武岩与聚四氟乙烯纤维复合纤维层；玄武岩与聚四氟乙烯纤维复合纤维层玄分别铺设在基布两侧并与基布结合，其中，过滤气体进入方向的玄武岩与聚四氟乙烯纤维复合纤维层上还设有PTFE膜结构；该多晶硅专用毡耐腐蚀性强，且能适应高温高压环境。
文档编号C01B33/03GK202519038SQ20112044379
公开日2012年11月7日 申请日期2011年11月10日 优先权日2011年11月10日
发明者王立平, 陈和峰, 齐效峰 申请人:洛阳盛洁环保工程有限公司