专利名称：提高掩模板开口位置精度的方法及其装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种掩模板的组装方法，具体涉及组装过程中提高掩模板开口位置精度的方法。
背景技术：
有机发光显示器，由于其宽视角、高对比度以及高相应速度的优点，已被给予高度关注。电致发光装置分为无机电致发光装置和有机电致发光装置。有机发光装置的亮度和响应速度比无机电致发光装置高，并能显示彩色图像。在蒸镀过程中，随着时间的延长，温度也在不断上升，高温可达到60°C，由于掩模板很薄所以应用时若不经过处理，掩模板会相对其掩模框架产生位置偏差，并下垂，影响有机材料蒸镀质量。更重要的是，由于掩模板热膨胀的产生，掩模板图形区域的开口位置精度受到影响，产生位置偏差，无法在蒸镀基板上以更正确的形状形成所蒸镀的象素，从而降低了成膜质量。为了避免上述精度偏差，在蒸镀用掩模板的制造过程中，必须保证其开口位置的高精密度。而传统组装工艺，如对比文献200410005882.7，通过旋转张力施加机构的螺纹件，
来防止位置偏差，这并不 能用于高精密度蒸镀用掩模板的组装，无法高精度地调整图形开口的位置精度。
发明内容
本发明提供一种提高掩模板开口位置精度的方法及其装置，以更高的精度、在更短的时间内调整掩模板，使其图形开口的位置精度偏差控制在±5μπι的方法和装置。针对以上问题，本发明提出以下方案:
一种提高掩模板开口位置精度的方法，为一种微调方法，其特征在于，具体步骤包括:将掩模板固定在具有固定作用的基台上；通过CO) (Charge-coupled Device,电荷f禹合元件)扫描掩模板，读取位于掩模板边缘处并处于对角方向的两个定位孔的相对坐标(X、y);通过坐标(x、y)确定掩模板中心点O，并将其坐标设定为(0、0)，自动生成x、y坐标轴；通过C⑶扫描掩模板图形区域开口，读取各开口中心点相对于掩模板中心点的坐标(xn、yn);将坐标(xn、yn)与蒸镀图形像素对比，若坐标值偏差超出±5μπι，在基台的固定装置上施加水平方面上的拉力，使开口的位置偏差控制在±5μπι。将所述掩模板固定在基台的固定装置上。优选的，与所述固定装置一体形成的拉动装置，通过拉动动力源带动弹性元件施加拉力，带动拉动装置沿着轨道产生微米级的位移。优选的，拉力的方向为X轴方向、y轴方向、与X轴夹角为45°方向或与X轴夹角为135°方向的任意组合。
优选的，固定装置为挂齿，拉动装置为拉板，拉动动力源为电机。一种提高掩模板开口位置精度的装置，其特征在于，包括:基台、拉动装置、弹性元件、固定装置和拉动动力源；其中，固定装置和拉动装置一体形成在基台上，将掩模板固定在固定装置上，拉动动力源提供拉动动力，通过弹性元件的力的传导，带动拉动装置沿着轨道产生微米级的位移。优选的，固定装置为挂齿，拉动装置为拉板，拉动动力源为电机。优选的，所述拉板个数至少为8个，分别位于掩模板四边及四角；或者是，所述拉板在掩模板一边的个数为3个。
本发明所提出的提高掩模板开口位置精度的方法及装置，能以更高的精度、在更短的时间内调整掩模板，使其图形开口的位置精度偏差控制在±5 μ m。
下面结合附图对本发明的具体实施方式
作进一步详细的说明。图1为掩模板开口位置坐标读取示意图。其中:1为掩模板；2、3为定位孔；4为图形区域开口。图2为固定装置 所承受的拉力示意图。其中:Fl为X轴方向拉力；F2为Y轴方向拉力；F3为45°夹角拉力；F4为135°夹角拉力。图3为使用拉动装置拉动掩模板的示意图。其中:1为掩模板；5为挂齿；6为弹性元件；7为电机；8为轨道；9为拉板。图4为拉动装置的放大图。其中:5为挂齿；6为弹性元件；7为电机；9为拉板。
具体实施方式
实施例如图1所示，将掩模板I固定在具有固定作用的基台上，通过CCD扫描掩模板，读取位于掩模板边缘处并处于对角方向的两个定位孔2和3的相对坐标(x、y)，通过坐标(X、y)确定掩模板中心点O，并将其坐标设定为(0、0)，自动生成x、y坐标轴，通过CXD扫描掩模板图形区域开口 4，读取各开口中心点相对于掩模板中心点的坐标(xn、yn)，将坐标(xn、yn)与蒸镀图形象素对比，若坐标值偏差超出±5 μ m，在基台的固定装置上施加水平方面上的拉力，使开口的位置偏差控制在± 5 μ m。如图2，水平面方向的力包括X轴方向拉力F1、Y轴方向拉力F2、45°夹角拉力F3、135°夹角拉力F4，将上述方向上的力组合实现对开口 4位置坐标的调整，有效提高开口位置精度。如图3和图4所示，提高掩模板I开口位置精度的装置，包括:基台、拉动装置、弹性元件、固定装置和拉动动力源；其中，固定装置和拉动装置一体形成在基台上，将掩模板固定在固定装置上，拉动动力源提供拉动动力，通过弹性元件的力的传导，带动拉动装置沿着轨道产生微米级的位移；固定装置为挂齿5，拉动装置为拉板9，拉动动力源为电机7。以上实施例目的在于说明本发明，而非限制本发明的保护范围，所有在不违背本发明精神原则的条件下做 出的简单变换均落入本发明的保护范围内。
权利要求
1.一种提高掩模板开口位置精度的方法，其特征在于，具体步骤包括:将掩模板固定在具有固定作用的基台上；通过C⑶扫描掩模板，读取位于掩模板边缘处并处于对角方向的两个定位孔的相对坐标(X、y);通过坐标(X、y)确定掩模板中心点O，并将其坐标设定为(0,0),自动生成X、y坐标轴；通过C⑶扫描掩模板图形区域开口，读取各开口中心点相对于掩模板中心点的坐标(xn、yn);将坐标(χη、yn)与蒸镀图形像素对比，若坐标值偏差超出± 5 μ m，在基台的固定装置上施加水平方面上的拉力，使开口的位置偏差控制在± 5 μ m。
2.根据权利要求1所述的提高掩模板开口位置精度的方法，其特征在于，将所述掩模板固定在基台的固定装置上。
3.根据权利要求2所述的提高掩模板开口位置精度的方法，其特征在于，与所述固定装置一体形成的拉动装置，通过拉动动力源带动弹性元件施加拉力，带动拉动装置沿着轨道产生微米级的位移。
4.根据权利要求3所述的提高掩模板开口位置精度的方法，其特征在于，拉力的方向为X轴方向、y轴方向、与X轴夹角为45°方向或与X轴夹角为135°方向的任意组合。
5.根据权利要求4所述的提高掩模板开口位置精度的方法，其特征在于，固定装置为挂齿，拉动装置为拉板，拉动动力源为电机。
6.一种提高掩模板开口位置精度的装置，其特征在于，包括:基台、拉动装置、`弹性元件、固定装置和拉动动力源；其中，固定装置和拉动装置一体形成在基台上，将掩模板固定在固定装置上，拉动动力源提供拉动动力，通过弹性元件的力的传导，带动拉动装置沿着轨道产生微米级的位移。
7.根据权利要求6所述的提高掩模板开口位置精度的装置，其特征在于，固定装置为挂齿，拉动装置为拉板，拉动动力源为电机。
8.根据权利要求6所述的提高掩模板开口位置精度的装置，其特征在于，所述拉板个数至少为8个，分别位于掩模板四边及四角。
9.根据权利要求6所述的提高掩模板开口位置精度的装置，其特征在于，所述拉板在掩模板一边的个数为3个。
全文摘要
本发明涉及一种提高掩模板开口位置精度的方法，通过CCD扫描掩模板，读取位于掩模板边缘处并处于对角方向的两个定位孔的相对坐标(x、y)，通过坐标(x、y)确定掩模板中心点o，并将其坐标设定为(0、0)，自动生成x、y坐标轴，通过CCD扫描掩模板图形区域开口，读取各开口中心点相对于掩模板中心点的坐标(xn、yn)，将坐标(xn、yn)与蒸镀图形象素对比，若坐标值偏差超出±5μm，在基台的固定装置上施加水平方面上的拉力，使开口的位置偏差控制在±5μm；本发明涉及一种提高掩模板开口位置精度的方法及其装置，能以更高的精度、在更短的时间内调整掩模板，使其图形开口的位置精度偏差控制在±5μm。
文档编号C23C14/04GK103205703SQ201210011030
公开日2013年7月17日 申请日期2012年1月16日 优先权日2012年1月16日
发明者魏志凌, 高小平, 郑庆靓, 孙倩 申请人:昆山允升吉光电科技有限公司