具有热排风机自动控制系统的pecvd设备的制作方法
【专利摘要】具有热排风机自动控制系统的PECVD设备，涉及太阳能硅电池片生产设备领域，尤其涉及制作减少硅片表面反射的SiN薄膜设备，包括炉管，炉管的一侧设置舟托装置，舟托装置上设置石墨舟和推拉装置，石墨舟与推拉装置连接，舟托装置的上方间隔设置热排装置，热排装置包括风机电控柜，所述风机电控柜内设置继电器，所述舟托装置上连接感应器，感应器的信号输出端与继电器连接。本发明利用感应器采集信号，在出舟时控制风机开启，排放热量。而当舟臂在PECVD炉管内则不需要排放热量，自动关闭风机，节约能源。
【专利说明】具有热排风机自动控制系统的PECVD设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及太阳能硅电池片生产设备领域，尤其涉及制作减少硅片表面反射的SiN薄膜设备。
【背景技术】
[0002]PECVD即等离子体增强化学气相沉积设备，制作减少硅片表面反射的SiN薄膜。现有的PECVD设备包括炉管，炉管的一侧设置舟托装置，舟托装置上设置石墨舟和推拉装置，石墨舟与推拉装置连接，舟托装置的上方间隔设置热排装置。这种结构的缺陷是:当石墨舟出舟时热排装置工作，当石墨舟入炉管时热排装置一直在工作，排风无控制，处于常开状态，耗电量大。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种减少耗电量的具有热排风机自动控制系统的PECVD设备。
[0004]本发明的目的是这样实现的:具有热排风机自动控制系统的PECVD设备，包括炉管，炉管的一侧设置舟托装置，舟托装置上设置石墨舟和推拉装置，石墨舟与推拉装置连接，舟托装置的上方间隔设置热排装置，热排装置包括风机电控柜，所述风机电控柜内设置继电器，所述舟托装置上连接感应器，感应器的信号输出端与继电器连接。
[0005]本发明通过在装有石墨舟的舟托装置上安装感应器，感应器输出直流电压信号，控制继电器通断，继电器控制风机电源。当石墨舟舟进入炉管时，风机电源断开。当舟退出炉管时，风机电源接通，风机工作。
本发明利用感应器采集信号，在出舟时控制风机开启，排放热量。而当舟臂在PECVD炉管内则不需要排放热量，自动关闭风机，节约能源。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]图1为本发明的一种结构示意图。
【具体实施方式】
[0007]如图1所示，为具有热排风机自动控制系统的PECVD设备，包括炉管1，炉管I的一侧设置舟托装置3，舟托装置3上设置石墨舟4和推拉装置5，石墨舟4与推拉装置5连接，舟托装置3的上方间隔设置热排装置8，热排装置8包括风机电控柜6，风机电控柜6内设置继电器7，舟托装置3上连接感应器2，感应器2的信号输出端与继电器7连接。
【权利要求】
1.具有热排风机自动控制系统的PECVD设备，包括炉管，炉管的一侧设置舟托装置，舟托装置上设置石墨舟和推拉装置，石墨舟与推拉装置连接，舟托装置的上方间隔设置热排装置，热排装置包括风机电控柜，其特征在于:所述风机电控柜内设置继电器，所述舟托装置上连接感应器，感 应器的信号输出端与继电器连接。
【文档编号】C23C16/52GK103526188SQ201210233581
【公开日】2014年1月22日 申请日期:2012年7月8日 优先权日:2012年7月8日
【发明者】朱守权 申请人:扬州鑫晶光伏科技有限公司