选择性线性蒸发设备的制作方法
【专利摘要】所公开的是一种选择性线性蒸发设备，该设备包括多个线性蒸发器、角度限制板、遮挡构件以及驱动器。所述多个线性蒸发器分别朝向基片蒸发不同的原材料，并且沿着基片的传输方向间隔开。该角度限制板朝向线性蒸发器的上侧以预定高度安装在线性蒸发器的相对侧处并且限制了从线性蒸发器蒸发的原材料的扩散角度。该遮挡构件安装在线性蒸发器的上方以及角度限制板之间，并且包括使线性蒸发器向外侧打开的打开部以及使线性蒸发器从外侧关闭的关闭部。该驱动器驱动遮挡构件以在原材料从线性蒸发器蒸发时将打开部定位在线性蒸发器的上方，并在原材料未从线性蒸发器蒸发时将关闭部定位在线性蒸发器的上方。
【专利说明】选择性线性蒸发设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种选择性线性蒸发设备，并且更特别地涉及一种使用多个线性蒸发器来分别蒸发不同的原材料并在基片上形成所需薄膜的选择性线性蒸发设备。
【背景技术】
[0002]一种能够通过自身发光的有机发光显示设备包括以矩阵的形式连接在扫描线与数据线之间以形成像素的有机发光装置。该有机发光装置包括阳极电极、阴极电极、以及有机薄膜层，该有机薄膜层形成在阳极电极与阴极电极之间并且包括孔传输层、有机发光层以及电子传输层。
[0003]与无机材料不同，在沉淀有机薄膜层的过程中使用的有机材料不需要较高的蒸汽气压，但是在较高的温度下容易分解与退化。由于这种材料的特性，通过将有机材料填充至由钨、钛、SUS等制成的容器并加热该容器以蒸发有机材料，有机薄膜沉淀在基片上。
[0004]被蒸发以沉淀有机薄膜层的原材料被均匀地喷射到基片上。为此，将喷雾嘴联接至容置蒸发的原材料的容器的外壁上，并且容器中的原材料穿过喷雾嘴并因而被蒸发在基片上。
[0005]图1为示出了常规线性蒸发设备的示例的视图。参照图1，常规线性蒸发设备包括多个线性蒸发器IlaUlb和11c，并且以分别从线性蒸发器IlaUlb和Ilc蒸发的不同的原材料A、B和C在基片10上形成所需的薄膜。
[0006]例如，在不同的原材料A、B和C容置在连接至左侧线性蒸发器11a、中间线性蒸发器Ilb以及右侧线性蒸发器Ilc的室13中的状态下，原材料A和B通过左侧线性蒸发器Ila和中间线性蒸发器Ilb来蒸发以形成一层薄膜；原材料A和C通过左侧线性蒸发器Ila和中间线性蒸发器Ilc来蒸发以形成另一层薄膜；并且原材料B和C通过左侧线性蒸发器IIb和中间线性蒸发器Ilc来蒸发以形成又一层薄膜。
[0007]因而，仅选自所述多个线性蒸发器11的某些线性蒸发器用于形成所需的薄膜。如图1中所示，如果原材料A和B通过左侧线性蒸发器Ila和中间线性蒸发器Ilb来蒸发，则未沉淀却残留在基片10中的原材料A和B可能落在未用来蒸发原材料C的右侧线性蒸发器Ilc上并因而污染了右侧线性蒸发器11c。
[0008]因此，落在右侧线性蒸发器Ilc上的原材料可能与右侧线性蒸发器周围的原材料C反应，从而在不希望的位置形成薄膜。此外，从右侧线性蒸发器Ilc蒸发的原材料C可能包含外来材料A和B，从而使形成在基片10上的薄膜的质量恶化。
【发明内容】
[0009]因此，本发明被构思为解决前述问题，并且本发明的一个方面提供了一种选择性线性蒸发设备，在该选择性线性蒸发设备中，线性蒸发器在原材料从线性蒸发器蒸发时向外侧打开，而在原材料未从线性蒸发器蒸发时从外侧关闭，因而防止了未用来蒸发原材料的线性蒸发器受到除相关原材料以外的其他外来材料的污染。[0010]根据本发明的方面，提供了一种选择性线性蒸发设备，该设备包括多个线性蒸发器、角度限制板、遮挡构件以及驱动器，其中，所述多个线性蒸发器分别朝向基片蒸发不同的原材料，并且所述多个线性蒸发器沿着基片的传输方向间隔开；该角度限制板朝向线性蒸发器的上侧以预定高度安装在线性蒸发器的相对侧处并且限制从线性蒸发器蒸发的原材料的扩散角度；该遮挡构件安装在线性蒸发器的上方以及角度限制板之间，并且包括使线性蒸发器向外侧打开的打开部以及使线性蒸发器从外侧关闭的关闭部；该驱动器驱动遮挡构件以在原材料从线性蒸发器蒸发时将打开部定位在线性蒸发器的上方，并在原材料未从线性蒸发器蒸发时将关闭部定位在线性蒸发器的上方。
[0011]该遮挡构件的打开部与关闭部可以成排地连接并且沿着横向于基片的传输方向的方向设置。
[0012]该驱动器可以包括第一滑轮、第一马达、第二滑轮以及第二马达，其中，该第一滑轮安装在线性蒸发器的一侧处并且打开部的一端缠绕在该第一滑轮上；该第一马达使第一滑轮旋转；该第二滑轮安装在线性蒸发器的另一侧处并且关闭部的一端缠绕在该第二滑轮上；该第二马达使第二滑轮旋转；以及打开部或关闭部可以通过第一马达与第二马达之间的一者的旋转而选择性地定位在线性蒸发器的上方。 [0013]关闭部可以通过将在横向于基片的传输方向的方向上具有一定宽度的多个板进行连接来形成。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]通过结合附图对示例性实施方式的以下描述，本发明的以上和/或其他方面将变得明显并且更加容易理解，在附图中:
[0015]图1为示出了常规线性蒸发设备的示例的视图；
[0016]图2为示出了根据本发明的实施方式的选择性线性蒸发设备的视图；
[0017]图3为图2的选择性线性蒸发设备的遮挡构件的平面图；
[0018]图4为用于解解图2的选择性线性蒸发设备的遮挡构件的操作的视图；以及
[0019]图5为示出了图2的选择性线性蒸发设备的遮挡构件的替代性示例的视图。
【具体实施方式】
[0020]下文中，将参照附图对根据本发明的选择性线性蒸发设备的实施方式进行描述。
[0021]图2为示出了根据本发明的实施方式的选择性线性蒸发设备的视图；图3为图2的选择性线性蒸发设备的遮挡构件的平面图；并且图4为用于解解图2的选择性线性蒸发设备的遮挡构件的操作的视图。
[0022]参照图2至图4，根据本实施方式的选择性线性蒸发设备100包括多个线性蒸发器110、角度限制板120、遮挡件130以及驱动器，该选择性线性蒸发设备100使用多个线性蒸发器以分别蒸发不同的原材料并在基片上形成所需的薄膜。
[0023]多个线性蒸发器110沿着传输方向Tl间隔开以朝向基片10分别蒸发不同的原材料A、B和C。相应的线性蒸发器110a、110b、IIOc联接至其中容置有蒸发的原材料A、B和C的室13。
[0024]线性蒸发器110在内部形成有竖直穿透并且使原材料A、B和C从其中经过的蒸发孔(未图示)，使得容置在室13中的蒸发的原材料A、B和C能够穿过蒸发孔并朝向基片10蒸发。
[0025]限制从线性蒸发器110蒸发的原材料A、B和C的扩散角度的角度限制板120朝向线性蒸发器110的上侧以预定高度安装在线性蒸发器110的相对侧处。
[0026]如果角度限制板120被相对较高地安装以使基片10与角度限制板120之间的距离变得更窄，那么从线性蒸发器110蒸发的原材料的扩散角度减小。另一方面，如果角度限制板120被相对较低地安装以使基片10与角度限制板120之间的距离变得更宽，那么从线性蒸发器110蒸发的原材料的扩散角度增大。
[0027]角度限制板120相对于线性蒸发器110分别安装在线性蒸发器110的相对侧处。
[0028]遮挡构件130在原材料A、B、C从线性蒸发器110蒸发时使线性蒸发器110向外侧打开，并在原材料A、B、C未从线性蒸发器110蒸发时使线性蒸发器110从外侧关闭。
[0029]例如，如图2所示，如果原材料A和B分别从左侧线性蒸发器IlOa与中间线性蒸发器IlOb蒸发，而原材料C却没有从右侧蒸发器IlOc蒸发，则遮挡构件130中的各个遮挡构件就会使左侧线性蒸发器IlOa与中间线性蒸发器IlOb向外侧打开，而使右侧线性蒸发器IlOc从外侧关闭。
[0030]参照图2和图3，多个遮挡构件130分别安装在线性蒸发器110a、IIOb和IlOc中，并且布置在线性蒸发器110上方并位于角度限制板120之间。遮挡构件130包括使线性蒸发器110向外侧打开的打开部132、以及使线性蒸发器110从外侧关闭的关闭部133。
[0031]遮挡构件的打开部132与关闭部133成排地连接并沿着横向于基片的传输方向的方向T2设置。随着遮挡构件130沿着横向于基片的传输方向的方向T2直线地往复运动，当打开部132定位在线性蒸发器110的上方时，外侧一即，基片10存在的空间一与线性蒸发器110连通，并且当关闭部133`定位在线性蒸发器110的上方时，外侧一即，基片10存在的空间一与线性蒸发器110隔开。
[0032]驱动器驱动遮挡构件130以在原材料从线性蒸发器110蒸发时将打开部132定位在线性蒸发器110上方，而在原材料未从线性蒸发器Iio蒸发时将关闭部133定位在线性蒸发器110上方。
[0033]在本实施方式中，该驱动器包括第一滑轮141、第一马达(未图示)、第二滑轮142以及第二马达(未图示)，以选择性地缠绕遮挡构件130的两个端部之间的一者，使得打开部132与关闭部133中的一者能够选择性地定位在线性蒸发器110的上方。在此，打开部132与关闭部133可以由能够缠绕在滑轮上的柔性材料制成。
[0034]参照图4，第一滑轮141安装在线性蒸发器110的一侧处，使得打开部132的一端能够缠绕在第一滑轮141上。此外，第二滑轮142安装在线性蒸发器110的另一侧处，使得关闭部133的一端能够缠绕在第二滑轮142上。第一马达使第一滑轮141旋转，并且第二马达使第二滑轮142旋转。
[0035]如图4中(a)所示，当第二马达用于使第二滑轮142沿顺时针方向Cl旋转时，关闭部133缠绕在第二滑轮142上并且打开部132从第一滑轮141展开，从而打开部132能够定位在线性蒸发器110的上方。此时，基片110存在的空间与线性蒸发器110连通，使得从线性蒸发器110蒸发的原材料能够沉淀在基片10上。
[0036]另外，如图4中(b)所示，当第一马达用于使第一滑轮141沿逆时针方向C2旋转时，打开部132缠绕在第一滑轮141上并且关闭部133从第二滑轮142展开，从而关闭部133能够定位在线性蒸发器110的上方。此时，基片110存在的空间与线性蒸发器110隔开，使得从不同的线性蒸发器110蒸发的原材料不能落在线性蒸发器110上，从而保护了未用来蒸发原材料的线性蒸发器110。
[0037]因而，选择性地缠绕遮挡构件130的两个端部之间的一者的前述方法仅需要用于将滑轮安装在线性蒸发器110的相对侧处的空间，从而极大地减小了其中基片10传输的室的宽度。
[0038]如上所述，根据本发明的实施方式的选择性线性蒸发设备在原材料从线性蒸发器蒸发时使线性蒸发器向外侧打开，而在原材料未从线性蒸发器蒸发时使线性蒸发器从外侧关闭，从而对防止未用来蒸发原材料的线性蒸发器受到除相关原材料以外的其他外来材料的污染产生作用。
[0039]另外，根据本发明的实施方式的前述选择性线性蒸发设备采用缠绕遮挡构件的两端来操作遮挡构件的方法，从而对减小原材料在其中蒸发的室的宽度产生作用，并且因而减小了薄膜沉淀设备的尺寸。
[0040]在图3中示出的实施方式中，遮挡构件130的关闭部133可以以薄布块的形式制造，但却不限于此。替代性地，如图5中所示，遮挡构件130’的关闭部133’可以通过将在横向于基片的传输方向的方向T2上具有一定宽度的多个板136进行连接来制造。
[0041]根据本发明，提供了一种如下选择性线性蒸发设备，该设备能够防止未用来蒸发原材料的线性蒸发器受到除相关原材料以外的其他外来材料的污染。
[0042]另外，根据本发明，提供了一种如下选择性线性蒸发设备，该设备能够减小原材料在其中蒸发的室的宽度，从而减小薄膜沉淀设备的尺寸。
[0043]尽管已经示出并描述了本发明的几个示例性实施方式，但本领域的技术人员将会理解的是，在不背离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施方式做出改变，本发明的范围限定在所附权利要求及其等同替代中。
【权利要求】
1.一种选择性线性蒸发设备，包括: 多个线性蒸发器，所述多个线性蒸发器分别朝向基片蒸发不同的原材料，并且所述多个线性蒸发器沿着所述基片的传输方向间隔开； 角度限制板，所述角度限制板朝向所述线性蒸发器的上侧以预定高度安装在所述线性蒸发器的相对侧处，并且限制从所述线性蒸发器蒸发的原材料的扩散角度； 遮挡构件，所述遮挡构件安装在所述线性蒸发器的上方并位于所述角度限制板之间，并且所述遮挡构件包括使所述线性蒸发器向外侧打开的打开部以及使所述线性蒸发器从外侧关闭的关闭部；以及 驱动器，所述驱动器驱动所述遮挡构件，以在所述原材料从所述线性蒸发器蒸发时将所述打开部定位在所述线性蒸发器的上方，并在所述原材料未从所述线性蒸发器蒸发时将所述关闭部定位在所述线性蒸发器的上方。
2.根据权利要求1所述的选择性线性蒸发设备，其中，所述遮挡构件的所述打开部与所述关闭部成排地连接并且沿着横向于所述基片的所述传输方向的方向设置。
3.根据权利要求2所述的选择性线性蒸发设备，其中，所述驱动器包括第一滑轮、第一马达、第二滑轮以及第二马达，其中，所述第一滑轮安装在所述线性蒸发器的一侧处并且所述打开部的一端缠绕在所述第一滑轮上；所述第一马达使所述第一滑轮旋转；所述第二滑轮安装在所述线性蒸发器的另一侧处并且所述关闭部的一端缠绕在所述第二滑轮上；所述第二马达使所述第二滑轮旋转； 以及 所述打开部或所述关闭部通过所述第一马达与所述第二马达之间的一者的旋转而选择性地定位在所述线性蒸发器的上方。
4.根据权利要求1所述的选择性线性蒸发设备，其中，所述关闭部通过将在横向于所述基片的所述传输方向的方向上具有一定宽度的多个板进行连接而形成。
【文档编号】C23C14/56GK103628029SQ201310369910
【公开日】2014年3月12日 申请日期:2013年8月22日 优先权日:2012年8月22日
【发明者】崔虎重, 郑基泽, 姜明成, 宋旭 申请人:Snu精密股份有限公司