一种纺织品、其制作方法及应用的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种纺织品、其制作方法及应用，本发明提供的纺织品，表面先溅射铜膜再溅射氧化锌膜，其中氧化锌膜层厚度40nm-80nm，铜膜厚度5nm-25nm。其制备方法为：利用磁控溅射的方法，首先调节压强为0.5-2Pa，功率为10-30W，气体流量为20-60sccm，溅射时间为5-25min，在纺织品上先溅射铜膜；再调节气体流量为20-60sccm，压强为0.5-2Pa，功率为50-100W，溅射时间为20-40min，溅射氧化锌膜，得到有氧化锌/铜层状复合膜的纺织品。本发明制备的纺织品跟现有纺织品相比，具有良好的抗紫外性、抗静电性和抗菌性，在医药卫生、工业领域有广阔的应用前景。
【专利说明】一种纺织品、其制作方法及应用
【技术领域】
[0001]本发明涉及纺织品领域，特别是一种纺织品、其制作方法及应用。
【背景技术】
[0002]溅射是材料表面发生的一种现象，利用离子轰击靶材表面，把靶材原子轰击出来的现象称为溅射，溅射出来的靶材原子沉积在基体表面形成薄膜。磁控溅射的原理是在仪器通电启动后，先将基材放入真空室内，再将真空室抽成真空，然后通入氩气等气体，调节至所需压强，开启电压，此时电子将在电场的作用下，向基材方向运动，在这个过程中，电子会与氩原子发生碰撞，当电子的能量高于氩原子的电离能之后，氩原子电离出电子和氩离子，此时，氩离子在电场的作用下向靶材运动并轰击靶材，大量的靶材原子或者原子团从靶材表面溅射出来，并运动到基材上面，因而形成薄膜。磁控溅射所得的薄膜致密性好，纯度高，基材和薄膜的结合性好，而且对基材没有损伤。
[0003]纳米氧化锌，其粒径介于1-100纳米，由于颗粒尺寸的细微化，比表面积急剧增力口，使得纳米氧化锌具有其本体块状材料所不具备的表面效应、小尺寸效应和宏观量子轨道效应。纳米氧化锌比表面大，化学活性高，具有光化学效应和较好的遮蔽紫外线性能，其紫外线遮蔽高达98%，同时具有抗菌抑菌，祛味等一系列独特性能。但是，单层氧化锌存在间隙锌原子、氧空位等缺陷，使得氧化锌薄膜呈弱电性。铜膜具有良好的导热性、较低电阻率等优良性能，而且纳米铜薄膜粒子尺寸小，有良好的导电性能。
[0004]对国内外专利与文献的查新结果表明:磁控溅射薄膜在玻璃或云母片上做的比较多；由于纺织品比较柔软，直接溅射纺织品表面会出现褶皱、不平整，影响使用；而且共溅因每个靶材溅射速度不同，表面颗粒均匀度比较差。因此目前还没有在柔软的纺织品上溅射膜的报道。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于提供一种功能性纺织品，在纺织品上有氧化锌/铜复合层状膜。
[0006]本发明的另一目的在于提供一种纺织品的制作方法。
[0007]本发明还有一个目的，提供一种纺织品，具有良好的抗紫外性、抗菌性和抗静电性，应用于医药卫生、工业等领域。
[0008]为实现上述目的，本发明提供一种纺织品，表面先溅射铜膜再溅射氧化锌膜，其中氧化锌膜层厚度40nm-80nm,铜膜厚度5nm_25nm。
[0009]本发明还提供了一种纺织品的制作方法，包括如下步骤:
[0010]A、纺织品清洗、烘干后作为基底，放入磁控溅射装置室内，反应室抽真空，充入高纯氩气作为反应气；
[0011]B、用金属铜作为第一次溅射靶材，氧化锌作为第二次溅射靶材；
[0012]C、用第一次溅射靶材溅射，在纺织品基底上溅射铜膜。[0013]D、转换靶位，将步骤C得到的有铜膜的纺织品为基底，用第二次溅射靶材溅射氧化锌膜，得到有氧化锌/铜层状复合膜的纺织品。
[0014]其中步骤C所述用第一次溅射靶材溅射条件为压强0.5_2Pa，功率10-30W，气体流量 20-60sccm，溅射时间 5_25min。
[0015]其中步骤D所述用第二次溅射靶材溅射，条件为气体流量20-60sCCm，压强0.5-2Pa，功率 50-100W，溅射时间 20_40min。
[0016]一种所述的纺织品的应用，利用上述方法制作的纺织品具有良好的抗紫外性、抗静电性和抗菌性，应用在医药卫生、工业领域。
[0017]本发明制作的纺织品表面溅射有氧化锌/铜层状复合膜，复合膜粒径均匀，纺织品表面平整，提高了纺织品的抗紫外性、抗菌性和抗静电性，其在医药卫生、工业等领域有广阔的应用前景。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]下面结合附图和【具体实施方式】对本发明做进一步说明。
[0019]图1是实施例1制作的丙纶布上溅射的单层铜膜的SEM图。
[0020]图2是实施例4制作的丙纶布上溅射的单层氧化锌膜的SEM图。
[0021]图3是实施例6制作的丙纶布上溅射的氧化锌/铜复合膜的EM图。
[0022]图4是实施例1制作的丙纶布上溅射的单层铜膜能谱。
[0023]图5是实施例4制作的丙纶布上溅射的单层氧化锌膜能谱。
[0024]图6是实施例6制作的丙纶布上溅射的氧化锌/铜复合膜能谱。
【具体实施方式】
[0025]实施例1
[0026]一种纺织品的制作方法，包括以下步骤:
[0027]A、丙纶布清洗、烘干后作为基底，放入磁控溅射装置室内，反应室抽真空，充入高纯氩气作为反应气；
[0028]B、用99.99%金属铜作为溅射靶材；
[0029]C、调节压强0.5Pa，功率10W，气体流量20sCCm，在丙纶布基底上溅射铜膜，溅射5min，得到有单层铜膜的丙纶布。
[0030]实施例2
[0031]一种纺织品的制作方法，包括以下步骤:
[0032]A、丙纶布清洗、烘干后作为基底，放入磁控溅射装置室内，反应室抽真空，充入高纯氩气作为反应气；
[0033]B、用99.99%金属铜作为靶材；
[0034]C、调节压强IPa，功率20W，气体流量40sCCm，在丙纶布基底上溅射铜膜，溅射15min，得到有单层铜膜的丙纶布。
[0035]实施例3
[0036]一种纺织品的制作方法，包括以下步骤:
[0037]A、丙纶布清洗、烘干后作为基底，放入磁控溅射装置室内，反应室抽真空，充入高纯氩气作为反应气；
[0038]B、用99.99%金属铜作为溅射靶材；
[0039]C、调节压强2Pa，功率30W，气体流量60sCCm，在丙纶布基底上溅射铜膜，溅射25min，得到有单层铜膜的丙纶布。
[0040]实施例4
[0041]一种纺织品的制作方法，包括以下步骤:
[0042]A、丙纶布清洗、烘干后作为基底，放入磁控溅射装置室内，反应室抽真空，充入高纯氩气作为反应气；
[0043]B、用99.99%氧化锌作为溅射靶材；
[0044]C、调节压强IPa，功率75W，气体流量40sCCm，在丙纶布基底上溅射铜膜，溅射30min，得到有单层氧化锌膜的丙纶布。
[0045]实施例5
[0046]一种纺织品的制作方法，包括以下步骤:
[0047]A、丙纶布清洗、烘干后作为基底，放入磁控溅射装置室内，反应室抽真空，充入高纯氩气作为反应气；
[0048]B、用99.99%的金属铜作为第一次溅射靶材，99.99%氧化锌作为第二次溅射靶材；
[0049]C、调节压强0.5Pa，功率10W，气体流量20sCCm，在丙纶布基底上溅射铜膜，溅射5min，得到有单层铜膜的丙纶布。
[0050]D、关闭氩气，再次抽真空，充入氩气，调节气体流量40sccm，压强IPa，功率75W，转换靶位，将步骤C得到的有铜膜的丙纶布为基底，用第二次溅射靶材溅射氧化锌膜，溅射30min，得到有氧化锌/铜层状复合膜的丙纶布。
[0051]实施例6
[0052]一种纺织品的制作方法，包括以下步骤:
[0053]A、丙纶布清洗、烘干后作为基底，放入磁控溅射装置室内，反应室抽真空，充入高纯氩气作为反应气；
[0054]B、用99.99%的金属铜作为第一次溅射靶材，99.99%氧化锌作为第二次溅射靶材；
[0055]C、调节压强IPa，功率20W，气体流量40sCCm，在丙纶布基底上溅射铜膜，溅射15min，得到有单层铜膜的丙纶布。
[0056]D、关闭氩气，再次抽真空，充入氩气，调节气体流量40sccm，压强IPa，功率75W，转换靶位，将步骤C得到的有铜膜的丙纶布为基底，用第二次溅射靶材溅射氧化锌膜，溅射30min，得到有氧化锌/铜层状复合膜的丙纶布。
[0057]实施例7
[0058]一种纺织品的制作方法，包括以下步骤:
[0059]A、丙纶布清洗、烘干后作为基底，放入磁控溅射装置室内，反应室抽真空，充入高纯氩气作为反应气；
[0060]B、用99.99%的金属铜作为第一次溅射靶材，99.99%氧化锌作为第二次溅射靶材；
[0061]C、调节压强2Pa，功率30W，气体流量60sCCm，在丙纶布基底上溅射铜膜，溅射25min，得到有单层铜膜的丙纶布。
[0062]D、关闭氩气，再次抽真空，充入氩气，调节气体流量40sccm，压强IPa，功率75W，转换靶位，将步骤C得到的有铜膜的丙纶布为基底，用第二次溅射靶材溅射氧化锌膜，溅射30min，得到有氧化锌/铜层状复合膜的丙纶布。
[0063]实施例8
[0064]—种纺织品的制作方法，包括以下步骤:
[0065]A、丙纶布清洗、烘干后作为基底，放入磁控溅射装置室内，反应室抽真空，充入高纯氩气作为反应气；
[0066]B、用99.99%的金属铜作为第一次溅射靶材，99.99%氧化锌作为第二次溅射靶材；
[0067]C、调节压强IPa，功率20W，气体流量40sCCm，在丙纶布基底上溅射铜膜，溅射15min，得到有单层铜膜的丙纶布。
[0068]D、关闭氩气，再次抽真空，充入氩气，调节气体流量40sccm，压强IPa，功率50W，转换靶位，将步骤C得到的有铜膜的丙纶布为基底，用第二次溅射靶材溅射氧化锌膜，溅射30min，得到有氧化锌/铜层状复合膜的丙纶布。
[0069]实施例9
[0070]一种纺织品的制作方法，包括以下步骤:
[0071]A、丙纶布清洗、烘干后作为基底，放入磁控溅射装置室内，反应室抽真空，充入高纯氩气作为反应气；
[0072]B、用99.99%的金属铜作为第一次溅射靶材，99.99%氧化锌作为第二次溅射靶材；
[0073]C、调节压强IPa，功率20W，气体流量40sCCm，在丙纶布基底上溅射铜膜，溅射15min，得到有单层铜膜的丙纶布。
[0074]D、关闭氩气，再次抽真空，充入氩气，调节气体流量40sccm，压强IPa，功率100W，转换靶位，将步骤C得到的有铜膜的丙纶布为基底，用第二次溅射靶材溅射氧化锌膜，溅射30min，得到有氧化锌/铜层状复合膜的丙纶布。
[0075]实施例10
[0076]一种纺织品的制作方法，包括以下步骤:
[0077]A、丙纶布清洗、烘干后作为基底，放入磁控溅射装置室内，反应室抽真空，充入高纯氩气作为反应气；
[0078]B、用99.99%的金属铜作为第一次溅射靶材，99.99%氧化锌作为第二次溅射靶材；
[0079]C、调节压强IPa，功率20W，气体流量40sCCm，在丙纶布基底上溅射铜膜，溅射15min，得到有单层铜膜的丙纶布。
[0080]D、关闭氩气，再次抽真空，充入氩气，调节气体流量40sccm，压强0.5Pa，功率75W，转换靶位，将步骤C得到的有铜膜的丙纶布为基底，用第二次溅射靶材溅射氧化锌膜，溅射30min，得到有氧化锌/铜层状复合膜的丙纶布。
[0081]实施例11
[0082]一种纺织品的制作方法，包括以下步骤:
[0083]A、丙纶布清洗、烘干后作为基底，放入磁控溅射装置室内，反应室抽真空，充入高纯氩气作为反应气；
[0084]B、用99.99%的金属铜作为第一次溅射靶材，99.99%氧化锌作为第二次溅射靶材；
[0085]C、调节压强IPa，功率20W，气体流量40sCCm，在丙纶布基底上溅射铜膜，溅射15min，得到有单层铜膜的丙纶布。[0086]D、关闭氩气，再次抽真空，充入氩气，调节气体流量40sccm，压强2Pa，功率75W，转换靶位，将步骤C得到的有铜膜的丙纶布为基底，用第二次溅射靶材溅射氧化锌膜，溅射30min，得到有氧化锌/铜层状复合膜的丙纶布。
[0087]实施例12
[0088]一种纺织品的制作方法，包括以下步骤:
[0089]A、丙纶布清洗、烘干后作为基底，放入磁控溅射装置室内，反应室抽真空，充入高纯氩气作为反应气；
[0090]B、用99.99%的金属铜作为第一次溅射靶材，99.99%氧化锌作为第二次溅射靶材；
[0091]C、调节压强IPa，功率20W，气体流量40sCCm，在丙纶布基底上溅射铜膜，溅射15min，得到有单层铜膜的丙纶布。
[0092]D、关闭氩气，再次抽真空，充入氩气，调节气体流量40sccm，压强IPa，功率75W，转换靶位，将步骤C得到的有铜膜的丙纶布为基底，用第二次溅射靶材溅射氧化锌膜，溅射20min，得到有氧化锌/铜层状复合膜的丙纶布。
[0093]实施例13
[0094]一种纺织品的制作方法，包括以下步骤:
[0095]A、丙纶布清洗、烘干后作为基底，放入磁控溅射装置室内，反应室抽真空，充入高纯氩气作为反应气；
[0096]B、用99.99%的金属铜作为第一次溅射靶材，99.99%氧化锌作为第二次溅射靶材；
[0097]C、调节压强IPa，功率20W，气体流量40sCCm，在丙纶布基底上溅射铜膜，溅射15min，得到有单层铜膜的丙纶布。
[0098]D、关闭氩气，再次抽真空，充入氩气，调节气体流量40sccm，压强IPa，功率75W，转换靶位，将步骤C得到的有铜膜的丙纶布为基底，用第二次溅射靶材溅射氧化锌膜，溅射40min，得到有氧化锌/铜层状复合膜的丙纶布。
[0099]实施例14
[0100]一种纺织品的制作方法，包括以下步骤:
[0101]A、丙纶布清洗、烘干后作为基底，放入磁控溅射装置室内，反应室抽真空，充入高纯氩气作为反应气；
[0102]B、用99.99%的金属铜作为第一次溅射靶材，99.99%氧化锌作为第二次溅射靶材；
[0103]C、调节压强IPa，功率20W，气体流量40sCCm，在丙纶布基底上溅射铜膜，溅射15min，得到有单层铜膜的纺织品。
[0104]D、关闭氩气，再次抽真空，充入氩气，调节气体流量20sccm，压强IPa，功率75W，转换靶位，将步骤C得到的有铜膜的丙纶布为基底，用第二次溅射靶材溅射氧化锌膜，溅射30min，得到有氧化锌/铜层状复合膜的丙纶布。
[0105]实施例15
[0106]一种纺织品的制作方法，包括以下步骤:
[0107]A、丙纶布清洗、烘干后作为基底，放入磁控溅射装置室内，反应室抽真空，充入高纯氩气作为反应气；
[0108]B、用99.99%的金属铜作为第一次溅射靶材，99.99%氧化锌作为第二次溅射靶材；
[0109]C、调节压强IPa，功率20W，气体流量40sCCm，在丙纶布基底上溅射铜膜，溅射15min，得到有单层铜膜的丙纶布。
[0110]D、关闭氩气，再次抽真空，充入氩气，调节气体流量60sccm，压强IPa，功率75W，转换靶位，将步骤C得到的有铜膜的丙纶布为基底，用第二次溅射靶材溅射氧化锌膜，溅射30min，得到有氧化锌/铜层状复合膜的丙纶布。
[0111]按照实施例1-15的实验条件，将丙纶布换做涤纶进行实验，即实施例16-30 ；
[0112]按照实施例1-15的实验条件，将丙纶布换做缎纹棉织物进行实验，即实施例31-45 ；
[0113]下表1给出了实施例1-15制作的丙纶布的薄膜厚度。
[0114]表1
[0115]
【权利要求】
1.一种纺织品，其特征在于表面先溅射铜膜再溅射氧化锌膜，其中氧化锌膜层厚度40nm-80nm,铜膜厚度 5nm_25nm。
2.—种权利要求1所述的纺织品的制作方法，包括如下步骤: A、纺织品清洗、烘干后作为基底，放入磁控溅射装置室内，反应室抽真空，充入高纯氩气作为反应气； B、用金属铜作为第一次溅射靶材，氧化锌作为第二次溅射靶材； C、用第一次溅射靶材溅射，在纺织品基底上溅射铜膜。 D、转换靶位，将步骤C得到的有铜膜的纺织品为基底，用第二次溅射靶材溅射氧化锌膜，得到有氧化锌/铜层状复合膜的纺织品。
3.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于步骤C所述用第一次溅射靶材溅射条件为压强0.5-2Pa，功率10-30W，气体流量20_60sccm，溅射时间5_25min。
4.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于步骤D所述用第二次溅射靶材溅射，条件为气体流量20-60sccm，压强0.5_2Pa，功率50-100W，溅射时间20_40min。
5.一种权利要求2所述的制作方法制作的纺织品，其特征在于应用于医疗卫生、工业领域。
【文档编号】C23C14/18GK103640282SQ201310676663
【公开日】2014年3月19日 申请日期:2013年12月12日 优先权日:2013年12月12日
【发明者】侯大寅, 魏安方, 吴家斌, 徐文正 申请人:安徽工程大学