专利名称：磁控溅射阴极靶材的密封结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种密封装置，具体说涉及一种用于真空磁控溅射靶阴极的密封
>J-U ρ α装直。
背景技术：
目前，在连续式真空磁控溅射镀膜设备上，靶材在安装过程中的密封结构非常简单，整个靶材只依靠一根长约2.73m,直径6mm的O型胶圈来密封，具体说即靶材是固定在靶背板上，靶背板与阴极座之间设有密封两者的O型胶圈，同时靶背板与阴极座之间通过60颗内六角螺钉进行固定。这种结构在实际使用过程中，容易出现以下弊端:(1)0型胶圈在频繁的拆卸过程中容易损坏，使用成本高；(2)密封区域跨度大，对靶背板上的密封面平整度要求高，而实际使用过程中，靶背板极易变形；(3)更换靶背板时，对操作人员的技能要求较高，如内六角长螺钉受力不均、O型胶圈压合不平等原因，均会造成更换过程失败，产生密封不良而漏气。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种磁控溅射阴极靶材的密封结构，该密封装置可以避免日常操作时对密封胶圈的频繁更换，减少日常使用成本。为实现上述目的，本实用新型采用了以下技术方案:包括靶材和阴极座，所述的靶材固定在靶背板上，所述的靶背板与阴极座之间设有导磁不锈钢密封板，所述的导磁不锈钢密封板与阴极座之间设有密封两者的第一密封圈，所述的导磁不锈钢密封板及靶背板分别与阴极座固定连接 。本实用新型的阴极座与靶背板之间设有两个水嘴，所述的靶背板及导磁不锈钢密封板上分别设有与水嘴相配合的第一、第二安装孔。本实用新型靶背板上的第一安装孔处焊接有固定块，固定块上设有与水嘴相配合的第三安装孔，且固定块与导磁不锈钢密封板之间固定连接。本实用新型的第三安装孔与水嘴之间设有相密封的第二、第三密封圈。本实用新型的固定块与导磁不锈钢密封板之间通过第一螺钉相连，所述的固定块上设有与第一螺钉相配合的螺纹孔，所述的螺纹孔与第一螺钉之间设有密封两者的第四密封圈。本实用新型的第二安装孔与水嘴之间设有密封两者的第五密封圈。本实用新型的固定块上分别设有与第二、第三密封圈相配合的第一、第二密封圈槽。本实用新型的固定块上分别设有与第四密封圈相配合的第三密封圈槽。由上述技术方案可知，本实用新型通过在阴极座与靶背板之间增设一个导磁不锈钢密封板，且该导磁不锈钢密封板与阴极座相密封固定，这样在日常对靶背板进行检查、维修等操作时，直接将靶背板与阴极座相拆卸即可，整个拆卸过程不会影响到阴极座与导磁不锈钢密封板之间的密封圈，避免了对密封圈的损害，提高了密封圈的使用寿命，减少了日常的使用成本。
图1是本实用新型的主视图；图2是图1的A-A剖视图；图3是图1的B-B剖视图；图4是本实用新型靶背板的后视图；图5是本实用新型的爆炸结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步说明:如图1-图5所示的一种磁控溅射阴极靶材的密封结构，包括靶材I和阴极座2，靶材I固定在靶背板3上，靶背板3与阴极座2之间设有导磁不锈钢密封板4，导磁不锈钢密封板4与阴极座2之间设有密封两者的第一密封圈5，导磁不锈钢密封板4及靶背板3分别与阴极座2固定连接。具体说就是在靶背板3与阴极座2之间增设一个导磁不锈钢密封板
4,阴极座2上设有与第一密封圈5相配合的密封圈槽，阴极座2与导磁不锈钢密封板4之间通过第一密封圈5相固定，并通过第二螺钉13紧固，使阴极座2、导磁不锈钢密封板4和第一密封圈5成为一个整体，再通过第三螺钉14将靶背板3与阴极座2的整体相固定。阴极座2与靶背板3之间设有两个水嘴6，靶背板3及导磁不锈钢密封板4上分别设有与水嘴6相配合的第一 、第二安装孔。作为本实用新型的优选方案，为了保证靶安装过程中能与外界实现真空密封的目的，在靶背板3上的第一安装孔处焊接有固定块7，固定块7上设有与水嘴6相配合的第三安装孔，第三安装孔与水嘴6之间设有相密封的第二、第三密封圈8、9，固定块7与导磁不锈钢密封板4之间通过第一螺钉12固定连接，固定块7上设有与第一螺钉12相配合的螺纹孔，螺纹孔与第一螺钉12之间设有密封两者的第四密封圈10，换句话说，固定块7相当于一个加强板的作用，在固定块7上分别设有与第二、第三、第四密封圈8、9、10相配合的第一、第二、第三密封圈槽，通过增设第二、第三、第四密封圈来实现靶材在安装过程中真正的真空密封。作为更优选的方案，第二安装孔与水嘴6之间设有密封两者的第五密封圈11。在本实用新型中，第一、第二、第三、第四、第五密封圈均为O型密封圈，阴极座2由不锈钢板焊接而成，靶背板3为铜质背板。具体装配步骤如下:I)阴极座的密封安装:将第一密封圈5装配到阴极座2的密封圈固定槽中，安装时确保第一密封圈5已填满密封圈固定槽，且与阴极座2的安装面平行的密封圈面必须保证平整，密封圈无伤痕；再将导磁不锈钢密封板4安装到阴极座9上，通过第二螺钉13 (包括54颗内六角沉头螺钉及4颗内六角螺钉)加以紧固，安装时注意用力均匀，逐圈紧固，安装压紧后，观察阴极座2的安装面与导磁不锈钢密封板4的缝隙是否一致，确保密封效果；2)靶背板的安装:将第二、第三、第四密封圈8、9、10安装到固定块7上的第一、第二、第三密封圈槽中，并确认密封圈的外露面平整，密封圈无伤痕；再将靶背板3靠近已装配完毕的阴极座2，进行初始定位，此时不必紧固连接两者的第三螺钉14 (包括20颗内六角长螺钉)，只需将靶背板3贴合到阴极座2安装面即可；再使用第一螺钉12将固定块7与导磁不锈钢密封板4加以紧固，确保第二、第三、第三密封圈8、9、10均压紧；最后再通过第三螺钉14将靶背板3与阴极座2相固定。3)水嘴的安装:将第五密封圈11安装到水嘴6相应位置的密封圈槽中，并确认密封圈外露面平整，密封圈无伤痕；再在水嘴6的螺纹上缠绕生料带，将水嘴安装在导磁不锈钢密封板4与阴极座3配合面的相应水路进出口处，确保水嘴安装紧固。日常更换靶材的拆卸步骤大致为:拆卸水嘴一拆卸第一螺钉一拆卸第三螺钉一取下靶背板。综上所述，本实用新型的有益效果在于:1)通过对阴极座改造，使靶背板在频繁的拆卸过程中，不会损坏阴极座内的第一密封圈，节约了成本；2)通过对靶背板的水路进行改造，增设第二、第三、第四密封圈，使得靶材在安装过程中能够真正实现与外界的真空密封目的；3)拆卸靶背板时，只需要拆卸靶背板与阴极座之间的20颗第三螺钉，减少了拆卸螺钉的数量，提高了效率。以上所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围 内。
权利要求1.一种磁控溅射阴极靶材的密封结构，包括靶材(I)和阴极座(2)，所述的靶材(I)固定在靶背板(3)上，其特征在于:所述的靶背板(3)与阴极座(2)之间设有导磁不锈钢密封板(4)，所述的导磁不锈钢密封板(4)与阴极座(2)之间设有密封两者的第一密封圈(5)，所述的导磁不锈钢密封板(4)及靶背板(3)分别与阴极座(2)固定连接。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射阴极靶材的密封结构，其特征在于:所述的阴极座(2)与靶背板(3)之间设有两个水嘴(6)，所述的靶背板(3)及导磁不锈钢密封板(4)上分别设有与水嘴(6)相配合的第一、第二安装孔。
3.根据权利要求2所述的磁 控溅射阴极靶材的密封结构，其特征在于:所述的靶背板(3)上的第一安装孔处焊接有固定块(7)，固定块(7)上设有与水嘴相配合的第三安装孔，且固定块(7)与导磁不锈钢密封板(4)之间固定连接。
4.根据权利要求3所述的磁控溅射阴极靶材的密封结构，其特征在于:所述的第三安装孔与水嘴(6)之间设有相密封的第二、第三密封圈(8、9)。
5.根据权利要求3所述的磁控溅射阴极靶材的密封结构，其特征在于:所述的固定块(7)与导磁不锈钢密封板(4)之间通过第一螺钉(12)相连，所述的固定块(7)上设有与第一螺钉相配合的螺纹孔，所述的螺纹孔与第一螺钉之间设有密封两者的第四密封圈(10)。
6.根据权利要求2所述的磁控溅射阴极靶材的密封结构，其特征在于:所述的第二安装孔与水嘴(6)之间设有密封两者的第五密封圈(11)。
7.根据权利要求4所述的磁控溅射阴极靶材的密封结构，其特征在于:所述的固定块(7)上分别设有与第二、第三密封圈(8、9)相配合的第一、第二密封圈槽。
8.根据权利要求5所述的磁控溅射阴极靶材的密封结构，其特征在于:所述的固定块(7)上分别设有与第四密封圈(10)相配合的第三密封圈槽。
专利摘要本实用新型涉及磁控溅射阴极靶材的密封结构。包括靶材和阴极座，所述的靶材固定在靶背板上，所述的靶背板与阴极座之间设有导磁不锈钢密封板，所述的导磁不锈钢密封板与阴极座之间设有密封两者的第一密封圈，所述的导磁不锈钢密封板及靶背板分别与阴极座固定连接。由上述技术方案可知，本实用新型通过在阴极座与靶背板之间增设一个导磁不锈钢密封板，且该导磁不锈钢密封板与阴极座相密封固定，这样在日常对靶背板进行检查、维修等操作时，直接将靶背板与阴极座相拆卸即可，整个拆卸过程不会影响到阴极座与导磁不锈钢密封板之间的密封圈，避免了对密封圈的损害，提高了密封圈的使用寿命，减少了日常的使用成本。
文档编号C23C14/35GK203080058SQ20132005127
公开日2013年7月24日 申请日期2013年1月30日 优先权日2013年1月30日
发明者陈诚, 邵帅, 刘西宁 申请人:安徽省蚌埠华益导电膜玻璃有限公司