可提升多晶制绒均匀性的进液管排列结构的制作方法

文档序号:3329637阅读:292来源:国知局
可提升多晶制绒均匀性的进液管排列结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种可提升多晶制绒均匀性的进液管排列结构,包括多根依次平行排列的进液管,其特征是:所述进液管的轴向与硅片的行进方向垂直;在所述进液管的管壁一侧均匀布置若干出液口,进液管的管壁另一侧设置进液口;所述进液管的出液口朝向下方布置,出液口相对垂直方向倾斜设置。所述出液口与垂直方向呈45°~60°的倾斜角度。至少一根进液管的出液口的倾斜方向与其他进液管出液口的倾斜方向不同。所述进液管的数量为五根或五根以上。本实用新型重新设置进液管的排布位置,重点解决各道硅片所处反应环境不同的问题,使各道片子无论何时均处于同一根进液管提供的反应环境下,最大程度确保各道片子腐蚀力度一致。
【专利说明】可提升多晶制绒均匀性的进液管排列结构

【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种进液管的排列结构,尤其是一种可提升多晶制绒均匀性的进 液管排列结构,属于多晶制绒【技术领域】。

【背景技术】
[0002] 多晶制绒的目的是为在原始多晶硅片正反两面腐蚀出条形的沟壑绒面,以降低硅 片的光反射率。目前常规多晶制绒多为链式生产,使用混合酸溶液制绒。
[0003] 当前制绒设备中,浸泡区(主要反应区域)中溶液由泵通过进液管打入,而进液管 的轴向与硅片行进方向平行,为同时各道均有一根进液管(如图1所示),每道片子所需要的 反应环境(浓度、温度等)仅由该道进液管提供。当某一根进液管出现问题时,该道反应环境 出现差异,片子即与其余各道出现腐蚀力度的差异。另外,即使进液管没有出现问题,也无 法保证五道进液管完全提供相同的反应环境,硅片出现腐蚀力度差异的几率大大增加,易 出现色差现象。
[0004] 现有的进液管在排布时一般采用出液口垂直向下的方式(如图2所示),进液管内 的溶液坚直地由出液口排出,这种结构容易造成在同方向上的液体流速过快,也比较不利 于热量的散发。


【发明内容】

[0005] 本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种可提升多晶制绒均匀 性的进液管排列结构,解决了各道片子所处反应环境不同的问题,使各道片子无论何时均 处于同一根进液管提供的反应环境下,最大程度确保各道片子腐蚀力度一致。
[0006] 按照本实用新型提供的技术方案,所述可提升多晶制绒均匀性的进液管排列结 构,包括多根依次平行排列的进液管,其特征是:所述进液管的轴向与硅片的行进方向垂 直;在所述进液管的管壁一侧均匀布置若干出液口,进液管的管壁另一侧设置进液口;所 述进液管的出液口朝向下方布置,出液口相对垂直方向倾斜设置。
[0007] 所述出液口与垂直方向呈45°?60°的倾斜角度。
[0008] 至少一根进液管的出液口的倾斜方向与其他进液管出液口的倾斜方向不同。
[0009] 所述进液管的数量为五根或五根以上。
[0010] 所述进液管的两端分别设置堵头。
[0011] 本实用新型具有以下优点:(1)本实用新型重新设置进液管的排布位置,重点解 决各道硅片所处反应环境不同的问题,使各道片子无论何时均处于同一根进液管提供的反 应环境下,最大程度确保各道片子腐蚀力度一致;(2)新的进液管排布结构引入了角度的 调节,利用进液管出液速度带动浸泡区溶液流动,便于反应热及时散发。

【专利附图】

【附图说明】
[0012] 图1为现有技术中进液管的排列结构示意图。
[0013] 图2为图1的侧视图。
[0014] 图3为本实用新型的结构示意图。
[0015] 图4为图3的仰视图。
[0016] 图5为所述进液管的结构示意图。

【具体实施方式】
[0017] 下面结合具体附图对本实用新型作进一步说明。
[0018] 如图3?图5所示:所述可提升多晶制绒均匀性的进液管排列结构包括进液管1、 堵头2、出液口 3、进液口 4等。
[0019] 如图3所示,本实用新型包括五根依次平行排列的进液管1,进液管1的轴向与硅 片的行进方向垂直;如图5所示,在所述进液管1的两端分别设置堵头2,进液管1的管壁 一侧均匀布置若干出液口 3,进液管1的管壁另一侧设置进液口 4 ;使用时,溶液通过软管和 管接头与进液口 4连接,再由出液口 3流出对硅片进行喷淋;
[0020] 如图4所示,所述进液管1的出液口 3朝向下方布置,并且出液口 3与垂直方向 呈45°?60°的倾斜角度;五根进液管1中,至少一根进液管1的出液口 3的倾斜方向与 其他四根进液管1出液口 3的倾斜方向不同;本实用新型能过改变进液管1的出液口 3的 出液角度,可以杜绝同方向上液体流速过快,并且,利用进液管出液速度带动浸泡区溶液流 动,更利于热量的散发。
[0021] 本实用新型采用坚式进液管排布,进液管轴向与硅片行进方向垂直,能够确保同 时进入的硅片始终保持在同一个进液管下,最大程度地确保各道硅片具有相同的反应环 境,从根本上杜绝了因反应环境不同造成的硅片之间腐蚀力度的差异,保证制绒后电池片 外观颜色的一致性。
[0022] 采用本实用新型所述的进液管排列结构后,五道之间硅片减薄量的差距明显缩 小。
【权利要求】
1. 一种可提升多晶制绒均匀性的进液管排列结构,包括多根依次平行排列的进液管 (1 ),其特征是:所述进液管(1)的轴向与硅片的行进方向垂直;在所述进液管(1)的管壁一 侧均匀布置若干出液口(3),进液管(1)的管壁另一侧设置进液口(4);所述进液管(1)的出 液口(3)朝向下方布置,出液口(3)相对垂直方向倾斜设置。
2. 如权利要求1所述的提升多晶制绒均匀性的进液管排列结构,其特征是:所述出液 口(3)与垂直方向呈45°?60°的倾斜角度。
3. 如权利要求1所述的提升多晶制绒均匀性的进液管排列结构,其特征是:至少一根 进液管(1)的出液口(3)的倾斜方向与其他进液管(1)出液口(3)的倾斜方向不同。
4. 如权利要求1所述的提升多晶制绒均匀性的进液管排列结构,其特征是:所述进液 管(1)的数量为五根或五根以上。
5. 如权利要求1所述的提升多晶制绒均匀性的进液管排列结构,其特征是:所述进液 管(1)的两端分别设置堵头(2)。
【文档编号】C23F1/08GK203904507SQ201420193141
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2014年4月18日 优先权日:2014年4月18日
【发明者】胡学一, 王广军, 曹珂, 李伟乐, 苏世杰, 杨辉, 刘亚伟, 刘付炯 申请人:无锡尚德太阳能电力有限公司, 洛阳尚德太阳能电力有限公司
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