一种制绒药液循环系统的制作方法

文档序号:8190218阅读:445来源:国知局
专利名称:一种制绒药液循环系统的制作方法
技术领域
[0001]本实用新型涉及光伏行业中制绒设备技术领域,特别涉及ー种制绒药液循环系统。
背景技术
硅片是光伏行业中至关重要的组成部件,主要用于对光能进行转化,通过光辐射产生电能。为了增加硅片的吸光能力,一般会对硅片采取制绒エ艺,通过化学腐蚀或者激光刻蚀等エ艺将硅片进行非平面处理。在采用化学腐蚀方法进行硅片制绒作业时,需要一种制绒反应药液,反应药液在制绒过程中会逐渐消耗。为了提高药液的使用程度,现有技术中提供了这样ー套制绒药液循环系统,包括药液容置箱和反应浴箱,药液容置箱与反应浴箱通过两根用于药液流通的管子相连通,以此实现药液于药液容置箱和反应浴箱之间循环流动,该结构设计具有以下优点第一、在药液浓度相对较低时,増加反应药液的浓度;第二、调节药液容置箱中的高浓度反应药液。药液容置箱和反应浴箱的具体结构为药液容置箱中设置有ー个挡板,该挡板将药液容置箱分为左侧腔和右侧腔;反应浴箱中设置有ー个挡板,并且在该挡板的一侧开设有出药ロ,反应浴箱中设置的挡板能够阻止部分反应药液从出药ロ流回至药液容置箱,并在反应浴箱积蓄一定量的反应药液,供硅片制绒使用。现有技术中实现反应药液循环的制绒药液循环系统为开放式循环系统,硅片在反应时掉落的小颗粒或者是环境中的颗粒掉落至反应浴箱中,容易造成药液的颗粒污染。为了解决系统的污染问题,现有技术在出药ロ设置有滤网,通过滤网的过滤作用浄化反应药液。并且通过药液容置箱的结构设计同样能够实现一定程度的药液净化。由上述内容可知,药液容置箱中设置有ー个挡板,挡板将药液容置箱分为左侧腔和右侧腔,当药液从反应浴箱流回至药液容置箱的右侧腔吋,只有药液积蓄的水平高度高于该挡板高度时,药液才能够溢流至左侧腔,然后再从左侧腔流入至反应浴箱中,该结构设计能够将一部分颗粒杂质通过沉积作用累积于右侧腔的底部,从而实现药液的净化。由于在上述结构中两个挡板的作用,使得药液在循环过程中在反应浴箱和药液容置箱中具有一定的积累时间,造成现有技术中提供的制绒药液循环系统在开机后到达流畅循环的时间较长,不仅容易引起错误的循环报警,还增加了开机时间,间接地降低了制绒设备满负荷生产时的有效产能。综上所述,如何解决现有技术中制绒药液循环系统的开机时间较长的问题,成为了本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容本实用新型要解决的技术问题为提供一种制绒药液循环系统,该制绒药液循环系统能够解决其开机时间较长的问题。[0008]为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种制绒药液循环系统,包括药液容置箱和第一挡板,所述第一挡板设置于所述药液容置箱的底部,所述药液容置箱具有第一容置腔和第二容置腔,所述第一容置腔和所述第二容置腔分别位于所述第一挡板的两侧,所述药液容置箱的顶部开设有药液进ロ和药液出ロ,所述药液进ロ与所述第一容置腔相连通,所述药液出口与所述第二容置腔相连通,所述第一挡板上开设有药液流通ロ,所述药液流通ロ靠近所述药液容置箱的底 壁。优选地,所述第一挡板上设置有第一滤网,所述第一滤网覆盖住全部的所述药液流通ロ。优选地,所述第一滤网为过滤孔孔径较小的滤网。优选地,本实用新型还包括药液抽取泵,所述药液抽取泵设置于所述第二容置腔中,所述药液抽取泵的进液管与所述药液容置箱的底壁具有用于药液流通的间隙,所述药液抽取泵的出液管与所述药液出ロ相连通。优选地,本实用新型还包括第一流通管和第二流通管,所述第一流通管与所述药液进ロ相连通,所述第二流通管与所述药液出ロ相连通。优选地,本实用新型还包括反应浴箱,所述反应浴箱的底壁开设有进药口和出药ロ,所述进药ロ与所述第二流通管相连通,所述出药ロ与所述第一流通管相连通。优选地,所述反应浴箱的底壁上设置有第二挡板,所述进药口和所述出药ロ分设于所述第二挡板的两侧,所述第二挡板与所述反应浴箱的顶板具有用于药液流通的间隙。优选地,所述反应浴箱的底壁上设置有第二滤网,所述第二滤网覆盖住全部的所述出药ロ。优选地,所述药液容置箱包括药液容置箱主体和药液容置箱顶板,所述药液容置箱顶板与所述药液容置箱主体可拆卸连接,所述药液容置箱顶板包括第一顶板和第二顶板,所述第一顶板开设有所述药液进ロ,所述第二顶板开设有药液出ロ。本实用新型提供了一种制绒药液循环系统,用于实现制绒药液的循环流动,包括药液容置箱和第一挡板,药液容置箱用于盛装硅片制绒的反应药液。第一挡板设置于药液容置箱的底部,用于将药液容置箱的内部腔结构分设成为两个腔室,这两个腔室分别为第一容置腔和第二容置腔。药液容置箱的顶部开设有药液进口和药液出口,药液进ロ与第一容置腔相连通,药液出口与第二容置腔相连通,药液进ロ用于药液容置箱外的药液进入到药液容置箱中,药液出ロ用于药液容置箱内的药液流出。本实用新型所提供的制绒药液循环系统中第一挡板在上述结构的基础上特别开设有药液流通ロ,药液流通ロ用于药液容置箱中药液于第一容置腔和第二容置腔之间的流通。药液流通ロ靠近药液容置箱的底壁,当药液容置箱外的药液从药液进ロ流入到第一容置腔中时,由于药液流通ロ开设位置较低,減少了药液于第一容置腔中的积累时间,从而缩短了制绒药液循环系统开机时药液从第一容置腔流向第二容置腔的时间。本实用新型通过其结构设计能够有效避免制绒药液循环系统由于循环等待时间较长而错误报警的情况发生,并且由于缩短了循环等待时间,还间接提高了制绒设备满负荷生产时的有效产能。

[0019]图I为本实用新型一种实施例中制绒药液循环系统的结构示意图;图I中部件名称与附图标记的对应关系为药液容置箱I ;第ー挡板11 ; 第ー滤网111 ;药液抽取泵12 ;第一容置腔Ia ;第二容置腔Ib ;药液流通ロ Ila;反应浴箱2 ;第ニ挡板21 ;第ニ滤网22 ;出药ロ 2a。
具体实施方式
本实用新型的核心为提供一种制绒药液循环系统,该制绒药液循环系统通过其结构设计能够解决其开机时间较长的问题。为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案,
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进ー步的详细说明。请參考图1,图I为本实用新型一种实施例中制绒药液循环系统的结构示意图。本实用新型提供了一种制绒药液循环系统,用于实现制绒药液的循环流动,包括药液容置箱I和第一挡板11,药液容置箱I用于盛装硅片制绒的反应药液。第一挡板11设置于药液容置箱I的底部,用于将药液容置箱I的内部腔结构分设成为两个腔室,这两个腔室分别为第一容置腔Ia和第二容置腔lb。药液容置箱I的顶部开设有药液进口和药液出ロ,药液进ロ与第一容置腔Ia相连通,药液出ロ与第二容置腔Ib相连通,药液进ロ用于药液容置箱I外的药液进入到药液容置箱I中,药液出ロ用于药液容置箱I内的药液流出。本实用新型所提供的制绒药液循环系统中第一挡板11在上述结构的基础上特别开设有药液流通ロ 11a,药液流通ロ Ila用于药液容置箱I中药液于第一容置腔Ia和第二容置腔Ib之间的流通。药液流通ロ Ila靠近药液容置箱I的底壁,当药液容置箱I外的药液从药液进ロ流入到第一容置腔Ia中吋,由于药液流通ロ Ila开设位置较低,減少了药液于第一容置腔Ia中的积累时间,从而缩短了制绒药液循环系统开机时药液从第一容置腔Ia流向第ニ容置腔Ib的时间。本实用新型通过其结构设计能够有效避免制绒药液循环系统由于循环等待时间较长而错误报警的情况发生,并且由于缩短了循环等待时间,还间接提高了制绒设备满负荷生产时的有效产能。由于本实用新型所提供的制绒药液循环系统是ー种开放式的循环系统,所以反应药液中各易混有娃片碎片或者外界环境中的小颗粒杂质。为了能够对制续药液循环系统中的反应药液进行过滤,使得从第一容置腔Ia中流入到第二容置腔Ib中的药液为洁净的液体,本实用新型在一种实施例中在第一挡板11上设置有第一滤网111,第一滤网111覆盖住全部的药液流通ロ 11a,第一滤网111用于对通过滤网的药液进行过滤,将药液中的颗粒杂质拦截。该结构设计能够对药液容置箱I中的药液进行过滤,使得第二容置腔Ib中的药液为纯净的液体。具体地,第一滤网111为过滤孔孔径较小的滤网,采用过滤孔孔径较小的滤网提高了第一滤网111的过滤效果。具体地,本实用新型还包括药液抽取泵12,药液抽取泵12用于将第二容置腔Ib中的药液抽出药液容置箱I。由上述结构可知,第二容置腔Ib中的药液为洁净的液体,所以药液抽取泵12设置于第二容置腔Ib中,并将第二容置腔Ib中的药液抽出药液容置箱1,该结构设计有效降低了杂质对药液抽取泵12的破坏。具体地,进液管与药液容置箱I的底壁之间具有用于药液流通的间隙,药液抽取泵12的出液管与药液出口相连通。本实用新型还包括反应浴箱2、第一流通管和第二流通管,第一流通管与药液进口相连通,第二流通管与药液出口相连通。反应浴箱2的底壁开设有进药口和出药口 2a,进药口与第二流通管相连通,出药口 2a与第一流通管相连通。药液容置箱I中第二容置腔Ib中的药液经过药液抽取泵12抽出,并通过第二流通管输送至反应浴箱2中,然后药液能够通过第一流通管在流回至药液容置箱I中,实现药液的循环。反应浴箱2的底壁上设置有第二挡板21,第二挡板21与反应浴箱2的顶板之间具有用于药液流通的间隙,第二挡板21能够阻隔药液,使得药液在反应浴箱2具有一定的积累量,这些积累的药液用于与硅片进行制绒反应。反应浴箱2上开设的进药口和出药口 2a分设于第二挡板21的两侧。具体地,在上述结构设计中,本实用新型在反应浴箱2的底壁上设置有第二滤网
22,第二滤网22覆盖住全部的出药口 2a。第二滤网22用于对药液进行过滤,使得净化后的药液通过第一流通管流回至药液容置箱I中。在本实用新型的一个实施例中,本实用新型所提供的药液容置箱I的具体结构为包括药液容置箱I主体和药液容置箱I顶板,药液容置箱I顶板与药液容置箱I主体可拆卸连接,如此设置是为了能够对药液容置箱I进行清理。本领域技术人员可知,这种开放式的制绒药液循环系统中容易混入杂质,杂质沉积于药液容置箱I中需要定期清理,因此药液容置箱I顶板与药液容置箱I主体可拆卸连接能够通过打开药液容置箱I顶板进行清理。具体地,药液容置箱I顶板包括第一顶板和第二顶板,第一顶板开设有药液进口,第二顶板开设有药液出口。该结构设计能够通过仅打开第一顶板即可对药液容置箱I进行清理。下面对制绒反应用的药液在本实用新型所提供的制绒药液循环系统中的循环过程进行简单介绍。开启本实用新型所提供的制绒药液循环系统,药液抽取泵12将第二容置腔Ib中药液通过第二流通管输送至反应浴箱2,并在第二挡板21的阻隔作用下开始累积药液(累积的药液用于硅片制绒时的反应),当药液面超过第二挡板21时将从出药口 2a经第一流通管流回至第一容置腔Ia中,由于第一挡板11的底部开设有流通口,因此流回至第一容置腔Ia中的药液能够很快经流通口流向第二容置腔lb,再经药液抽取泵12输送至反应浴箱2中,实现药液的循环流动。由于本实用新型在第一挡板11靠近药液容置箱的底壁的部位开设流通口,缩短了药液循环等待时间。以上对本实用新型所提供的一种制绒药液循环系统进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以对本实用新型进行若干改进和修饰,这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。
权利要求1.一种制绒药液循环系统,包括药液容置箱(I)和第一挡板(11),所述第一挡板(11)设置于所述药液容置箱(I)的底部,所述药液容置箱(I)具有第一容置腔(Ia)和第二容置腔(Ib),所述第一容置腔(Ia)和所述第二容置腔(Ib)分别位于所述第一挡板(11)的两侦牝所述药液容置箱(I)的顶部开设有药液进口和药液出口,所述药液进口与所述第一容置腔(Ia)相连通,所述药液出口与所述第二容置腔(Ib)相连通,其特征在于, 所述第一挡板(11)上开设有药液流通口(11a),所述药液流通口(Ila)靠近所述药液容置箱⑴的底壁。
2.根据权利要求I所述制绒药液循环系统,其特征在于,所述第一挡板(11)上设置有第一滤网(111),所述第一滤网(111)覆盖住全部的所述药液流通口(11a)。
3.根据权利要求2所述制绒药液循环系统,其特征在于,所述第一滤网(111)为过滤孔 孔径较小的滤网。
4.根据权利要求I所述制绒药液循环系统,其特征在于,还包括药液抽取泵(12),所述药液抽取泵(12)设置于所述第二容置腔(Ib)中,所述药液抽取泵(12)的进液管与所述药液容置箱(I)的底壁具有用于药液流通的间隙,所述药液抽取泵(12)的出液管与所述药液出口相连通。
5.根据权利要求4所述制绒药液循环系统,其特征在于,还包括第一流通管和第二流通管,所述第一流通管与所述药液进口相连通,所述第二流通管与所述药液出口相连通。
6.根据权利要求5所述制绒药液循环系统,其特征在于,还包括反应浴箱(2),所述反应浴箱(2)的底壁开设有进药口和出药口(2a),所述进药口与所述第二流通管相连通,所述出药口(2a)与所述第一流通管相连通。
7.根据权利要求6所述制绒药液循环系统,其特征在于,所述反应浴箱(2)的底壁上设置有第二挡板(21),所述进药口和所述出药口(2a)分设于所述第二挡板(21)的两侧,所述第二挡板(21)与所述反应浴箱(2)的顶板具有用于药液流通的间隙。
8.根据权利要求6或7所述制绒药液循环系统,其特征在于,所述反应浴箱(2)的底壁上设置有第二滤网(22),所述第二滤网(22)覆盖住全部的所述出药口(2a)。
9.根据权利要求I至7任一项所述制绒药液循环系统,其特征在于,所述药液容置箱(I)包括药液容置箱(I)主体和药液容置箱(I)顶板,所述药液容置箱(I)顶板与所述药液容置箱(I)主体可拆卸连接,所述药液容置箱(I)顶板包括第一顶板和第二顶板,所述第一顶板开设有所述药液进口,所述第二顶板开设有药液出口。
专利摘要本实用新型公开了一种制绒药液循环系统,用于实现制绒药液的循环流动,包括药液容置箱和第一挡板,药液容置箱用于盛装硅片制绒的反应药液。第一挡板设置于药液容置箱的底部,用于将药液容置箱的内部腔结构分设成为两个腔室,这两个腔室分别为第一容置腔和第二容置腔。第一挡板上开设有药液流通口,药液流通口靠近药液容置箱的底壁,由于药液流通口开设位置较低,减少了药液于第一容置腔中的积累时间,从而缩短了制绒药液循环系统开机时药液从第一容置腔流向第二容置腔的时间。本实用新型通过其结构设计有效避免了制绒药液循环系统由于循环等待时间较长而错误报警的情况发生,并且由于缩短了循环等待时间提高了制绒设备满负荷生产时的有效产能。
文档编号C30B33/10GK202401164SQ20112055595
公开日2012年8月29日 申请日期2011年12月27日 优先权日2011年12月27日
发明者郭贵东 申请人:浚鑫科技股份有限公司
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