一种抛光机床用弹性组合元件加压装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及超精密抛光机床制造【技术领域】，具体涉及一种抛光机床用弹性组合元件加压装置。其包括弹簧套、弹簧座、拉伸弹簧、压缩弹簧、滑套、弹簧板、十字轴，所述的弹簧套与抛光机床的工件轴连接，弹簧套内设置弹簧座，所述的滑套一端设置于弹簧套和弹簧板之间，另一端与十字轴相连，所述的拉伸弹簧通过弹簧座安装于滑套与弹簧套之间，所述的压缩弹簧通过弹簧座安装于滑套与弹簧板之间。本实用新型通过弹簧的浮动连接，矩形花键与矩形花键套的导向作用，实现抛光压力的大范围精确控制；通过十字轴的自由转动，实现抛光压力方向的自适应调整，拉伸弹簧与压缩弹簧的数量可以根据工件的重量自由选取，其结构简单，可靠性有保证。
【专利说明】一种抛光机床用弹性组合元件加压装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及超精密抛光机床制造【技术领域】，具体涉及一种抛光机床用弹性组合元件加压装置。
【背景技术】
[0002]抛光是指利用机械、化学或电化学的作用，使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法。是利用柔性抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对工件表面进行的修饰加工。
[0003]传统抛光方法分为化学抛光和机械抛光两种,化学机械抛光集机械抛光与化学抛光的优点，利用抛光液与工件进行化学反应，软化工件表面，再通过微粒的机械式摩擦去除工件表面反应物，得以进行高效及高表面质量和高面型精度的抛光。化学机械抛光的基本工艺参数调配主要是变化抛光盘转速、夹持器转速和抛光压力、抛光液流量等。抛光压力的控制对于抛光质量影响较大，目前国内外抛光设备厂家采用的抛光加压技术有:气压平衡模式，气动漂浮式，气筒式及伸缩管式加压。这类系统通过气动压力的精确调整来实现抛光压力的调整，控制系统非常复杂，同时难于实现大范围的精确调压，增加了成本。弹性元件组合加压，可以对单一加压区域进行精确压力调整，实现压力从零开始的很大范围的精确压力控制，克服了其他加压系统调整范围小、系统复杂等缺点。
实用新型内容
[0004]针对现有技术上存在的不足，本实用新型提供一种结构简单、可靠性高、抛光压力调节范围大、抛光压力方向可调整、精度高的抛光机床用弹性组合元件加压装置。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现:
[0006]一种抛光机床用弹性组合元件加压装置，其包括弹簧套、弹簧座、拉伸弹簧、压缩弹簧、滑套、弹簧板、十字轴，所述的弹簧套与抛光机床的工件轴连接，弹簧套内设置弹簧座，所述的滑套一端设置于弹簧套和弹簧板之间，另一端与十字轴相连，所述的拉伸弹簧通过弹簧座安装于滑套与弹簧套之间，所述的压缩弹簧通过弹簧座安装于滑套与弹簧板之间。
[0007]上述的一种抛光机床用弹性组合元件加压装置，其所述的弹簧套内设置矩形花键，矩形花键一端通过与之配合的矩形花键套与弹簧套相连，另一端与滑套连接。
[0008]上述的一种抛光机床用弹性组合元件加压装置，其所述的矩形花键的另一端通过胀紧套与滑套连接。
[0009]上述的一种抛光机床用弹性组合元件加压装置，其所述的拉伸弹簧和压缩弹簧均匀分布在滑套两侧。
[0010]上述的一种抛光机床用弹性组合元件加压装置，其所述的十字轴预留安装孔。
[0011]上述的一种抛光机床用弹性组合元件加压装置，其所述的十字轴由两个相互垂直的水平轴组成，且两个水平轴为可转动轴。
[0012]上述的一种抛光机床用弹性组合元件加压装置，其所述的拉伸弹簧的数量为压缩弹簧数量的两倍。
[0013]有益效果:
[0014]本实用新型安装于抛光机床工件轴与工件之间，拉伸弹簧与压缩弹簧分别与滑套连接，通过弹簧的浮动连接，并通过矩形花键与矩形花键套的导向作用，在弹簧套和弹簧板之间上下浮动，以实现抛光压力的控制；十字轴安装于滑套下方，通过十字轴的自由转动，实现抛光压力方向的自适应调整。通过以上两个结构的组合，既可以实现抛光压力的大范围精确控制，又可以实现抛光压力方向的自适应调整。拉伸弹簧与压缩弹簧的数量可以根据工件的重量自由选取，其结构简单，可靠性有保证。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]下面结合附图和【具体实施方式】来详细说明本实用新型；
[0016]图1为本实用新型的结构示意图。
[0017]图2为本实用新型的矩形花键和矩形花键套的配合示意图。
[0018]图3为本实用新型的拉伸弹簧和压缩弹簧的安装示意图。
[0019]图4为本实用新型的十字轴结构示意图。
【具体实施方式】
[0020]为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合【具体实施方式】，进一步阐述本实用新型。
[0021]参照图1和图2，本实用新型包括弹簧套1、弹簧座2、拉伸弹簧5、压缩弹簧6、滑套8、弹簧板7、十字轴10，所述的弹簧套I与抛光机床的工件轴连接，弹簧套I内设置弹簧座2和矩形花键3，矩形花键3 —端通过与之配合的矩形花键套4与弹簧套I相连，另一端通过胀紧套9与滑套8连接，矩形花键套4与弹簧套I通过螺栓固定，矩形花键3与矩形花键套4的配合保证滑套的浮动；所述的滑套8 一端设置于弹簧套I和弹簧板7之间，另一端与十字轴10相连，所述的拉伸弹簧5通过弹簧座2安装于滑套8与弹簧套I之间的圆形凹槽中，所述的压缩弹簧6通过弹簧座2安装于滑套8与弹簧板7之间的圆形凹槽中。
[0022]参照图3，所述的拉伸弹簧和压缩弹簧均匀分布在滑套两侧，拉伸弹簧的数量为压缩弹簧数量的两倍。本实用新型中拉伸弹簧5为8根，压缩弹簧6为4根，压缩弹簧设置于两拉伸弹簧之间的对应位置，以实现拉伸和压缩的平衡。
[0023]参照图4，其所述的十字轴由两个相互垂直的水平轴组成，且两个水平轴为可转动轴，其可以实现两个方向的轻微摆动，以达到自适应调整的目的，十字轴安装于滑套8的下方，十字轴下方预留安装孔11。
[0024]本实用新型安装于抛光机床工件轴与工件之间，拉伸弹簧与压缩弹簧分别与滑套连接，通过弹簧的浮动连接，并通过矩形花键与矩形花键套的导向作用，在弹簧套和弹簧板之间上下浮动，以实现抛光压力的控制；十字轴安装于滑套下方，通过十字轴的自由转动，实现抛光压力方向的自适应调整。通过以上两个结构的组合，既可以实现抛光压力的大范围精确控制，又可以实现抛光压力方向的自适应调整。拉伸弹簧与压缩弹簧的数量可以根据工件的重量自由选取，其结构简单，可靠性有保证。
[0025]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【权利要求】
1.一种抛光机床用弹性组合元件加压装置，其特征在于，包括弹簧套、弹簧座、拉伸弹簧、压缩弹簧、滑套、弹簧板、十字轴，所述的弹簧套与抛光机床的工件轴连接，弹簧套内设置弹簧座，所述的滑套一端设置于弹簧套和弹簧板之间，另一端与十字轴相连，所述的拉伸弹簧通过弹簧座安装于滑套与弹簧套之间，所述的压缩弹簧通过弹簧座安装于滑套与弹簧板之间。
2.根据权利要求1所述的一种抛光机床用弹性组合元件加压装置，其特征在于，所述的弹簧套内设置矩形花键，矩形花键一端通过与之配合的矩形花键套与弹簧套相连，另一端与滑套连接。
3.根据权利要求2所述的一种抛光机床用弹性组合元件加压装置，其特征在于，所述的矩形花键的另一端通过胀紧套与滑套连接。
4.根据权利要求1、2或3所述的一种抛光机床用弹性组合元件加压装置，其特征在于，所述的拉伸弹簧和压缩弹簧均匀分布在滑套两侧。
5.根据权利要求1、2或3所述的一种抛光机床用弹性组合元件加压装置，其特征在于，所述的十字轴预留安装孔。
6.根据权利要求1、2或3所述的一种抛光机床用弹性组合元件加压装置，其特征在于，所述的十字轴由两个相互垂直的水平轴组成，且两个水平轴为可转动轴。
7.根据权利要求1、2或3所述的一种抛光机床用弹性组合元件加压装置，其特征在于，所述的拉伸弹簧的数量为压缩弹簧数量的两倍。
【文档编号】B24B37/34GK203831228SQ201420256628
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2014年5月20日 优先权日:2014年5月20日
【发明者】赵惠英, 范智源, 张楚鹏, 杨和清, 于贺春, 李彬, 席建普, 任东旭, 陈伟 申请人:北京微纳精密机械有限公司, 西安交通大学