技术总结
本发明提供一种反应腔室，包括基座和工件检测装置，其中，基座包括用于承载托盘的承载面，该托盘用于承载至少一个被加工工件。工件检测装置用于检测基座上是否放置有托盘，并发出有关是或者否的数字信号。本发明提供的反应腔室，其可以通过直接读取该数字信号就可以判断出基座上是否放置有托盘，从而即使软件系统突发故障或异常等情况，仍然可以准确并及时地判断反应腔室内是否有托盘，进而可以提高设备的可靠性。
技术研发人员：陈庆
受保护的技术使用者：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
文档号码：201510777620
技术研发日：2015.11.13
技术公布日：2017.05.24