具有结构化表面的磨料的制作方法

文档序号:11140716阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开一种具有在防止外来物的粘附和积聚方面是优异的结构化表面的磨料,以及磨料的制造方法。本公开的实施方案的磨料为一种具有磨料层的磨料,磨料层具有结构化表面,结构化表面具有布置在上面的多个三维元件,选自由氟化物处理和硅处理构成的组的表面处理在结构化表面的至少一部分上执行,并且氟化物处理选自由以下构成的组:等离子体处理、化学气相沉积、物理气相沉积和氟气处理。

技术研发人员:南秀树;渡濑稔彦;中村阳子;增田祥一;服部二郎;M·M·戴维
受保护的技术使用者:3M创新有限公司
文档号码:201580005532
技术研发日:2015.01.21
技术公布日:2017.02.15

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