技术总结
非制冷焦平面探测器低温激活薄膜吸气剂及其制备方法，涉及非制冷焦平面探测器，尤其是一种低温激活、高吸气性能的非制冷焦平面探测器低温激活薄膜吸气剂及其制备方法。本发明的吸气剂包括调节层和气体吸收层，调节层沉积在非制冷焦平面探测器窗口上，气体吸收层沉积在调节层上，调节层为Ti、Zr、AL、Cr、Cu、Fe、Pt或Ru中的任意一种金属，吸收层为Zr与Co两种材料，以及Y、La、Ce中的至少一种材料形成的多元合金；调节层与窗口之间形成一致密的过度层，过度层厚度为20~50nm，调节层厚度为1~2μm，吸收层厚度为2~5μm。本发明采用了多孔结构的薄膜吸气剂，过渡层较为致密，并与红外窗口金属功函数较为匹配，增强了薄膜吸气剂在衬底上的附着力。
技术研发人员：袁俊;赵鹏;黎秉哲;何雯瑾;信思树;苏玉辉;龚晓霞;普朝光;莫镜辉
受保护的技术使用者：云南北方昆物光电科技发展有限公司
文档号码：201610916723
技术研发日：2016.10.21
技术公布日：2017.02.15