抛光机的制作方法

技术特征：

技术总结
一种抛光机，包含晶圆载体、抛光头、移动机构、及旋转机构。晶圆载体具有支撑面。支撑面经配置以在其上载运晶圆。在晶圆载体上设置抛光头。抛光头具有抛光面。抛光头的抛光面小于晶圆载体的支撑面。移动机构经配置以相对于晶圆载体移动抛光头。旋转机构经配置以相对于晶圆载体旋转抛光头。

技术研发人员：蔡腾群;李胜男;卢永诚;骆家駉;郑双铭;杨育佳
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日：2016.11.11
技术公布日：2017.07.07