1.一种在塑料薄膜上制作多层光学膜的方法,其特征在于,包括如下步骤:
将磁控溅射镀膜机的腔体抽至真空,通入氩气,将透明塑料薄膜卷放于磁控溅射镀膜机的转动辊上,通过控制转动辊进行转动,在透明塑料薄膜表面进行磁控溅射沉积镀膜,其中靶材包括靶材A和靶材B,形成ABAB或BABA交替叠加结构的多层光学膜,靶材A为高折射率靶材,靶材B为低折射率靶材。
2.根据权利要求1所述的在塑料薄膜上制作多层光学膜的方法,其特征在于,靶材A为二氧化硅、氟化镁或氟化钙中的一种,靶材B为二氧化钛、五氧化三钛、二氧化锆、氧化铈或氧化锌中的一种;
优选地,靶材A为二氧化硅,靶材B为二氧化钛或五氧化三钛中的一种;更优选地,靶材B为二氧化钛。
3.根据权利要求1所述的在塑料薄膜上制作多层光学膜的方法,其特征在于,腔体的真空度≤4.5×10-7Torr,通入氩气后的真空度4.5×10-3~6.5×10-3Torr;
优选地,腔体的真空度≤3.5×10-7Torr,通入氩气后的真空度为5.5×10-3Torr。
4.根据权利要求1-3任一项所述的在塑料薄膜上制作多层光学膜的方法,其特征在于,磁控溅射镀膜机设有1号靶机、2号靶机、3号靶机;1号靶机和3号靶机上设为靶材A,2号靶机上设为靶材B,或者,1号靶机和3号靶机上设为靶材B,2号靶机上设为靶材A。
5.根据权利要求1-3任一项所述的在塑料薄膜上制作多层光学膜的方法,其特征在于,转动辊正向转动时,同时开启1号靶机、2号靶机和3号靶机;转动辊反向转动时,同时开启1号靶机和2号靶机,关闭3号靶机。
6.根据权利要求1-3所述的在塑料薄膜上制作多层光学膜的方法,其特征在于,磁控溅射镀膜机靶电流为2.5-8.1A。
7.根据权利要求1-3所述的在塑料薄膜上制作多层光学膜的方法,其特征在于,透明塑料薄膜为聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对萘二甲酸乙二醇酯、聚氯乙烯或聚丙烯中的一种。
8.一种多层光学薄膜,其特征在于,在透明塑料薄膜上进行磁控溅射沉积镀膜,以在其表面形成ABAB或BABA交替叠加结构的多层光学膜,其中A为高折射率靶材,B为低折射率靶材。
9.根据权利要求8所述的多层光学薄膜,其特征在于,A为二氧化硅、氟化镁或氟化钙中的一种,B为二氧化钛、五氧化三钛、二氧化锆、氧化铈或氧化锌中的一种;
优选地,A为二氧化硅,B为二氧化钛或五氧化三钛中的一种;更优选B为二氧化钛。
10.根据权利要求8或9所述的在塑料薄膜上制作多层光学膜的方法制得的多层光学薄膜,其特征在于,透明塑料薄膜为聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对萘二甲酸乙二醇酯、聚氯乙烯或聚丙烯中的一种。