旋转银靶材的晶粒辊压细化装置的制作方法

本发明涉及银靶材的晶粒细化领域，尤其涉及一种旋转银靶材的晶粒辊压细化装置。

背景技术：

随着国家节能减排政策的执行力度加大以及人们对低碳环保意识的加强，以低辐射玻璃为代表的节能玻璃在门窗、玻璃幕墙中的应用越来越广泛。

其中，在低辐射玻璃家族中，由于双银低辐射玻璃具有节能性能优异的优点，故使得双银低辐射玻璃得到大量应用，从而为玻璃厂家的发展提供优越的发展平台。

众所周知，在双银低辐射玻璃的制造过程中，会涉及到玻璃的溅射等工艺，所采用的靶材主要有平面银靶材及旋转银靶材。由于平面靶存在溅射效率低，使用周期仅为35天而导致换靶频繁及生产成本高等缺点，而旋转银靶材具有利用率高、使用时间长、溅射过程中产生较少的电弧等优点，故使得旋转银靶材越来越受到人们的关注。

由于磁控溅射镀膜线是生产节能环保玻璃的主要设备，旋转银靶材作为玻璃镀膜的新材料正在投入市场试用，但是，旋转银靶材在使用过程中的均匀性较差，在调试好后的使用过程中，旋转银靶材的均匀性常常发生变化，由于均匀性的变化导致镀膜玻璃的银膜层的厚度变化，从而导致镀膜玻璃颜色产生色差。

因此，有必要提供一种旋转银靶材的晶粒辊压细化装置来克服上述的缺陷。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种旋转银靶材的晶粒辊压细化装置，提高旋转银靶材的均匀性和降低银靶材的晶粒大小。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种旋转银靶材的晶粒辊压细化装置，适用对旋转银靶材中的晶粒进行辊压细化，所述旋转银靶材安装于机床的主轴上，所述旋转银靶材的晶粒辊压细化装置组装于所述机床的托板上，所述托板沿所述旋转银靶材的轴向呈往复滑移的布置。其中，本发明的旋转银靶材的晶粒辊压细化装置包括第一安装架、第二安装架、座架、驱动器及相互配合辊压的第一辊压轮组和第二辊压轮组。所述第一辊压轮组安装于所述第一安装架并与该第一安装架位于所述旋转银靶材径向的一侧处，所述第二辊压轮组安装于所述第二安装架并与该第二安装架位于所述旋转银靶材径向的另一侧处，所述驱动器安装在所述座架上，所述驱动器与所述第一安装架及第二安装架中至少一者连接；当所述驱动器驱使所述第一安装架和第二安装架相对运动而使所述第一辊压轮组和第二辊压轮组一起抱紧所述旋转银靶材时，则被所述主轴带动旋转的旋转银靶材被所述第一辊压轮组和第二辊压轮组一起辊压细化，且所述托板带动所述第一辊压轮组和第二辊压轮组沿所述旋转银靶材的轴向辊压细化该旋转银靶材的各处。

较佳地，所述座架与所述第二安装架同侧布置，所述驱动器驱使所述第二安装架朝靠近或远离所述第一安装架处移动。

较佳地，所述第一辊压轮组包含沿所述旋转银靶材的径向呈一上一下布置的上辊压轮及下辊压轮，所述旋转银靶材的轴心位于所述第一辊压轮组的上辊压轮及下辊压轮间。

较佳地，所述第二辊压轮组包含沿所述旋转银靶材的径向呈一上一下布置的上辊压轮及下辊压轮，所述旋转银靶材的轴心位于所述第二辊压轮组的上辊压轮及下辊压轮间。

较佳地，所述第一辊压轮组的上辊压轮与所述第二辊压轮组的上辊压轮相正对，所述第一辊压轮组的下辊压轮与所述第二辊压轮组的下辊压轮相正对。

较佳地，所述座架具有面对所述旋转银靶材的容置活动槽，所述第二安装架呈匹配地置于所述容置活动槽内，所述驱动器的输出端伸至所述容置活动槽再与所述第二安装架连接。

较佳地，所述容置活动槽的上槽壁及下槽壁均凸伸出导轨部，所述第二安装架的上下端部对应地开设有导槽，所述导轨部嵌于所述导槽内。

较佳地，所述驱动器为一气缸或一直线电机。

较佳地，所述机床为一车床。

与现有技术相比，由于本发明中的旋转银靶材安装于机床的主轴上，而旋转银靶材的晶粒辊压细化装置组装于机床的托板上，托板沿旋转银靶材的轴向呈往复滑移的布置，且晶粒辊压细化装置包括第一安装架、第二安装架、座架、驱动器及相互配合辊压的第一辊压轮组和第二辊压轮组，故当驱动器驱使第一安装架和第二安装架相对运动而使第一辊压轮组和第二辊压轮组一起抱紧旋转银靶材时，则被主轴带动旋转的旋转银靶材被第一辊压轮组和第二辊压轮组一起辊压细化，且托板带动第一辊压轮组和第二辊压轮组沿旋转银靶材的轴向辊压细化该旋转银靶材的各处，使得旋转银靶材通过不断地被本发明的晶粒辊压细化装置所挤压，有效地提高旋转银靶材的致密性，消除旋转银靶材中的气泡，使得旋转银靶材的晶粒变小，从而提高了旋转银靶材的均匀性，使旋转银靶材正常应用在镀膜生产中相比平面银靶材更能够延长镀膜换靶的周期，提高镀膜线的利用效率。另，由于本发明的晶粒辊压细化装置包括第一安装架、第二安装架、第一辊压轮组、第二辊压轮组、座架及驱动器，故使得本发明的旋转银靶材的晶粒辊压细化装置的结构简单及成本更低。

附图说明

图1是本发明的旋转银靶材的晶粒辊压细化装置的立体结构示意图。

图2是图1所示的晶粒辊压细化装置沿旋转银靶材的轴向投影的平面结构示意图。

图3是图1所示的晶粒辊压细化装置在隐藏旋转银靶材及夹具后的立体结构示意图。

图4是图3中箭头A所指部分的平面结构示意图。

具体实施方式

现在参考附图描述本发明的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。

请参阅图1，本发明的旋转银靶材的晶粒辊压细化装置200适用对旋转银靶材200中的晶粒进行辊压细化，以提高旋转银靶材200的品质，确保后续溅射玻璃的质量。

其中，旋转银靶材200安装于机床的主轴上，较优是安装于车床的主轴(图中未示)上，适应性更强，但不以此为限；具体地，如图1及图2所示，旋转银靶材200是被主轴的夹具10所夹紧固定，夹具10包含沿旋转银靶材200的周向布置的多个夹块11，所有的夹块11呈等圆心角的布置，以使得旋转银靶材200更可靠地被夹块11所夹紧；举例而言，在本实施例中，位于旋转银靶材200的前端处的夹具10的夹块11及位于旋转银靶材200的后端处的夹具10的夹块11各为三个，相邻两夹块11所占的圆心角为120度，但不以此为限。

如图1至图4所示，本发明的旋转银靶材的晶粒辊压细化装置20组装于机床的托板(图中未示)上，托板沿旋转银靶材200的轴向呈往复滑移的布置，使得操作人员通过驱使托板做往复滑移就能带动本发明的旋转银靶材的晶粒辊压细化装置20做协调的往复滑移，以满足旋转银靶材200的辊压细化的工艺需要。举例而言，在本实施例中，操作人员是通过手柄去带动托板做往复的滑移，当然，根据实际需要可将托板的往复滑移设计为自动的，但不以此为限。

又如图1至图4所示，本发明的旋转银靶材的晶粒辊压细化装置20包括第一安装架21、第二安装架22、座架23、驱动器24及相互配合辊压的第一辊压轮组25和第二辊压轮组26。第一辊压轮组25安装于第一安装架21并与该第一安装架21位于旋转银靶材200径向的一侧处，第二辊压轮组26安装于第二安装架22并与该第二安装架22位于旋转银靶材200径向的另一侧处，从而使得旋转银靶材200沿其径向位于第一辊压轮组25及第二辊压轮组26之间，为第一辊压轮组25及第二辊压轮组26抱紧旋转银靶材200做准备。具体地，如图1及图3所示，在本实施例中，第一辊压轮组25包含沿旋转银靶材200的径向呈一上一下布置的上辊压轮251及下辊压轮252，旋转银靶材200的轴心210位于第一辊压轮组25的上辊压轮251及下辊压轮252间；同时，第二辊压轮组26包含沿旋转银靶材200的径向呈一上一下布置的上辊压轮261及下辊压轮262，旋转银靶材200的轴心210位于第二辊压轮组26的上辊压轮261及下辊压轮262间；这样设置的目的是使得旋转银靶材200更可靠地被在做相对闭合运动的第一辊压轮组25和第二辊压轮组26所辊压细化，进一步地提高旋转银靶材200的均匀性；举例而言，在本实施例中，第一辊压轮组25的上辊压轮251与第二辊压轮组26的上辊压轮261相正对，第一辊压轮组25的下辊压轮252与第二辊压轮组26的下辊压轮262相正对，使得第一辊压轮组25对旋转银靶材200的辊压施力处与第二辊压轮组26对旋转银靶材200的辊压施力处一致性更好，有效地消除旋转银靶材200的气泡，降低旋转银靶材200的晶粒大小，使得旋转银靶材200的均匀性更好，但不以此为限。

如图1至图4所示，驱动器24安装在座架23上；较优的是，在本实施例中，驱动器24为一气缸以简化其结构，还使得驱动器24的作动更直接，以及根据实际需要去调节气缸的压力，当然，在其它实施例中，驱动器24可为直线电机，故不以此为限。具体地，在本实施例中，驱动器24与第二安装架22连接，驱动器24驱使第一安装架21和第二安装架22相对运动而使第一辊压轮组25和第二辊压轮组26一起包紧旋转银靶材200。当然，在其它实施例中，驱动器24还可以与第一安装架21连接，或者，同时与第一安装架21及第二安装架22连接，一起达到使第一安装架21及第二安装架22做相对运动的的目的，故不以此为限。举例而言，如图1所示，在本实施例中，座架23与第二安装架22同侧布置，使得驱动器24驱使第二安装架22朝靠近或远离第一安装架21处移动，以满足第一辊压轮组25与第二辊压轮组26配合抱紧旋转银靶材200的目的，但不以此为限。为使得第二安装架22于座架23处的滑移更平稳可靠，进而确保第二辊压轮组26与第一辊压轮组25间工作的可靠性，故座架23具有面对旋转银靶材200的容置活动槽27，第二安装架22呈匹配地置于容置活动槽27内，驱动器24的输出端伸至容置活动槽27再与第二安装架22连接；较优的是，在本实施例中，容置活动槽27的上槽壁及下槽壁均凸伸出导轨部271，第二安装架22的上下端部对应地开设有导槽221，导轨部271嵌于导槽221内，使得第二安装架22在导轨部271与导槽221的配合下相对座架23做更平稳的滑移，从而确保第二辊压轮组26相对第一辊压轮组25运动的可靠性。

当驱动器24驱使第一安装架21和第二安装架22相对运动而使第一辊压轮组25和第二辊压轮组26一起抱紧旋转银靶材200时，则被主轴带动旋转的旋转银靶材200被第一辊压轮组25和第二辊压轮26一起辊压细化，且托板带动第一辊压轮组25和第二辊压轮组26沿旋转银靶材200的轴向辊压细化该旋转银靶材200的各处，使得旋转银靶材200通过被本发明的晶粒辊压细化装置20不断挤压，使得旋转银靶材200可以提高致密性，消除旋转银靶材200的气泡，使得旋转银靶材200的晶粒变小，从而提高旋转银靶材200的均匀性，使得镀膜线的效率得到提高。

与现有技术相比，由于本发明中的旋转银靶材200安装于机床的主轴上，而旋转银靶材的晶粒辊压细化装置20组装于机床的托板上，托板沿旋转银靶材200的轴向呈往复滑移的布置，且晶粒辊压细化装置20包括第一安装架21、第二安装架22、座架23、驱动器24及相互配合辊压的第一辊压轮组25和第二辊压轮组26，故当驱动器24驱使第一安装架21和第二安装架22相对运动而使第一辊压轮组25和第二辊压轮组26一起抱紧旋转银靶材200时，则被主轴带动旋转的旋转银靶材200被第一辊压轮组25和第二辊压轮组26一起辊压细化，且托板带动第一辊压轮组25和第二辊压轮组26沿旋转银靶材200的轴向辊压细化该旋转银靶材200的各处，使得旋转银靶材200通过不断地被本发明的晶粒辊压细化装置20所挤压，有效地提高旋转银靶材200的致密性，消除旋转银靶材200中的气泡，使得旋转银靶材200的晶粒变小，从而提高了旋转银靶材200的均匀性，使旋转银靶材200正常应用在镀膜生产中相比平面银靶材更能够延长镀膜换靶的周期，提高镀膜线的利用效率。另，由于本发明的晶粒辊压细化装置20包括第一安装架21、第二安装架22、第一辊压轮组25、第二辊压轮组26、座架23及驱动器24，故使得本发明的旋转银靶材的晶粒辊压细化装置20的结构简单及成本更低。

上所揭露的仅为本发明的优选实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。