一种直流电弧等离子体蒸发法制备纳米金属粉的装置的制作方法

文档序号:11816249阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种直流电弧等离子体蒸发法制备纳米金属粉的装置,包括制粉室(1)和收粉室(2),其特征在于:所述制粉室(1)和收粉室(2)通过送粉管(3)连通,所述收粉室(2)内设有过滤网(4),所述过滤网(4)内设有滤布(5),且过滤网(4)位于送粉管(3)出口的上方;所述制粉室(1)通过循环气路(6)与收粉室(2)连通,且循环气路(6)上安装有鼓风机(7),所述制粉室(1)内设置有水冷铜模(8)、连接于水冷铜模(8)顶端的坩埚(9)、设置于坩埚(9)上方的钨钼电极(11),所述水冷铜模(8)上安装有压力表(12)。

2.根据权利要求1所述的一种直流电弧等离子体蒸发法制备纳米金属粉的装置,其特征在于:所述钨钼电极(11)通过旋拧螺栓(10)固定于制粉室(1)上。

3.根据权利要求1所述的一种直流电弧等离子体蒸发法制备纳米金属粉的装置,其特征在于:所述钨钼电极(11)、坩埚(9)和水冷铜模(8)的数量均为至少两个。

4.根据权利要求1所述的一种直流电弧等离子体蒸发法制备纳米金属粉的装置,其特征在于:所述制粉室(1)、收粉室(2)和循环气路(6)的外壁均包裹有密封层。

5.根据权利要求1所述的一种直流电弧等离子体蒸发法制备纳米金属粉的装置,其特征在于:所述鼓风机(7)为大风量气体换热循环风机。

6.根据权利要求1所述的一种直流电弧等离子体蒸发法制备纳米金属粉的装置,其特征在于:所述制粉室(1)和收粉室(2)的外壁上设置有水冷降温隔腔(13)。

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