1.一种高含铜蚀刻液再生循环系统,其特征在于:它包括蚀刻线(1),溶解再生缸(3)、过滤器(10),所述的蚀刻线(1)与溶解再生缸(3)通过管道连接,且在该管道上设置有废液提升泵(2),所述的溶解再生缸(3)与过滤器(10)通过管道连接,且在该管道上设置有蚀刻液提升泵(11),所述的过滤器(10)与蚀刻线(1)连通。
2.根据权利要求1所述的一种高含铜蚀刻液再生循环系统,其特征在于:所述的溶解再生缸(3)通过管道还连通有母液罐(4),所述的母液罐(4)通过管道与酸性蚀刻液循环再生系统(6)连通,且在该管道上设置有母液提升泵(5),所述的酸性蚀刻液循环再生系统(6)与提铜装置(12)连接。
3.根据权利要求2所述的一种高含铜蚀刻液再生循环系统,其特征在于:所述的酸性蚀刻液循环再生系统(6)通过管道连接有再生液储存罐(8),且在该管道上设置有循环再生液提升泵(7),所述的再生液储存罐(8)通过管道与溶解再生缸(3)连通,且在该管道上设置有再生液提升泵(9)。
4.根据权利要求2所述的一种高含铜蚀刻液再生循环系统,其特征在于:所述的酸性蚀刻液循环再生系统(6)通过耐强氧化性管道与溶解再生缸(3)连接。