抽气机构的制作方法

文档序号:11040323阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种抽气机构,其特征在于,包括:

抽气组件,包括通过管道依次连接的抽气阀、罗茨泵及机械泵;

控制装置,分别与所述抽气阀、罗茨泵及所述机械泵通信连接,用于控制所述抽气阀的开启或关闭,以及所述罗茨泵和所述机械泵的启动或停止;及

管道调节阀,安装于所述抽气阀与所述罗茨泵之间的所述管道上。

2.根据权利要求1所述的抽气机构,其特征在于,所述管道调节阀包括调节组件和连接于所述调节组件的转盘,所述转盘位于所述抽气阀与所述罗茨泵之间的所述管道内,所述调节组件位于所述管道外,用于带动所述转盘相对所述管道旋转以改变所述管道的通气面积。

3.根据权利要求2所述的抽气机构,其特征在于,所述管道的横截面为圆形,所述转盘为圆形且其直径与所述管道的内径相等。

4.根据权利要求2所述的抽气机构,其特征在于,所述调节组件包括与所述转盘连接的摆臂、与所述摆臂可旋转连接的连接件及与所述连接件连接的调节件,所述调节件可驱动所述连接件以使所述连接件带动所述摆臂相对所述管道旋转。

5.根据权利要求4所述的抽气机构,其特征在于,所述调节件远离所述连接件的一端设有把手,所述把手向远离所述连接件的方向延伸。

6.根据权利要求1所述的抽气机构,其特征在于,所述机械泵的抽气速度为740-760m3/h。

7.根据权利要求1所述的抽气机构,其特征在于,所述罗茨泵的抽气速度为2040-2060m3/h。

8.根据权利要求1所述的抽气机构,其特征在于,所述控制装置上设有操作面板,用于接收指令以控制所述抽气阀的开启或关闭,以及所述罗茨泵和所述机械泵的启动或停止。

9.根据权利要求8所述的抽气机构,其特征在于,所述操作面板上设有第一开关、第二开关及第三开关,所述第一开关用于控制所述抽气阀的开启或关闭,所述第二开关用于控制所述罗茨泵的启动或停止,所述第三开关用于控制所述机械泵的启动或停止。

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