带感应片的真空镀膜室的制作方法

文档序号:11041429阅读:来源:国知局

技术特征:

1.带感应片的真空镀膜室,包括真空泵、导气管、反应室、蒸发源、镀膜支架、感应片,其特征在于真空泵通过导气管与反应室连通,反应室中央位置设置有蒸发源,镀膜支架设置在蒸发源上方,镀膜支架顶部位置设置有感应片,镀膜支架顶部朝上方突起,蒸发源位于镀膜支架顶部突起的正下方。

2.根据权利要求1所述带感应片的真空镀膜室,其特征在于所述镀膜支架为三脚支架。

3.根据权利要求1所述带感应片的真空镀膜室,其特征在于所述镀膜支架顶部呈圆形。

4.根据权利要求1所述带感应片的真空镀膜室,其特征在于所述感应片设置在镀膜支架的顶部中央位置。

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