1.带感应片的真空镀膜室,包括真空泵、导气管、反应室、蒸发源、镀膜支架、感应片,其特征在于真空泵通过导气管与反应室连通,反应室中央位置设置有蒸发源,镀膜支架设置在蒸发源上方,镀膜支架顶部位置设置有感应片,镀膜支架顶部朝上方突起,蒸发源位于镀膜支架顶部突起的正下方。
2.根据权利要求1所述带感应片的真空镀膜室,其特征在于所述镀膜支架为三脚支架。
3.根据权利要求1所述带感应片的真空镀膜室,其特征在于所述镀膜支架顶部呈圆形。
4.根据权利要求1所述带感应片的真空镀膜室,其特征在于所述感应片设置在镀膜支架的顶部中央位置。