预抽阀通真空室口内嵌套金属管的制作方法

文档序号:12636286阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种预抽阀通真空室口内嵌套金属管,包括金属管体,所述金属管体的一端设置有环形的外延部,其另一端设置有向金属管体轴心延伸的封闭部,该封闭部的中心设置有通孔;所述通孔的直径为L,10mm≤L≤15mm。本实用新型的内嵌套金属管设置于预抽管道通往真空室入口处,可使预抽时产生空气旋流由大变小,不至于让真空室气体产生漩涡,使真空室在相对比较平静的状态下慢慢抽到一定真空度,使光学镜片表面保持清洁状态,保证了镜片的外观质量。

技术研发人员:付小燕;林喜锋;聂旭光
受保护的技术使用者:上海域申光电科技有限公司
文档号码:201621234649
技术研发日:2016.11.17
技术公布日:2017.06.13

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