基于CAN总线的真空镀膜设备的蒸发源控制装置及其控制方法与流程

文档序号:11570839阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种基于CAN总线的真空镀膜蒸发源控制装置及其控制方法,该控制装置的主控制器包括微控制器、开关量调理模块、开关量输出驱动模块、模拟量输入调理模块、模拟量变换输出模块、CAN总线接口模块等。本装置在运行时能够对真空镀膜设备蒸发源进行全自动监督控制,保证蒸发功率的控制精度和稳定性,提高镀膜质量。所述的主控制器能够通过CAN总线实时获得管理计算机的控制命令和目标值,采集蒸发源主回路二次侧负载电流、电压和报警信息,根据预置的控制程序和算法进行分析计算,通过调节蒸发源主回路一次侧的电流电压,而对蒸发源负载功率进行调节。所述的主控制器在使用时还能够将蒸发源当前状态信息和电量信息上传给管理计算机。

技术研发人员:夏荣斌;孔令刚;王成兵;令晓明;黄海洋;胡建鹏;范多旺
受保护的技术使用者:常州大成绿色镀膜科技有限公司
技术研发日:2017.06.16
技术公布日:2017.08.11
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1