本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种柔性oled的蒸镀设备及其工艺。
背景技术：
近年来,随着科技进步,个人计算机、网络及信息传播的普遍化,显示器成为了人机互动不可或缺的重要角色,而不断进步的显示技术更是带动了显示器产业跨跃式的发展。平板显示器(flatpaneldisplay,简称fpd)是目前最重要的光电产品之一,其与日常生活的紧密相关性,使得光电企业多年来不断地努力研发新的平板显示器,以追求更完美的功能。主流的平板显示器从阴极射线管(cathoderaytube,简称crt)显示器发展到了液晶显示器(liquidcrystaldisplay,简称lcd),在新的平面显示器行列中,oled是业界公认的可能替代液晶显示器(lcd)的新一代显示器。
oled屏幕，在色域、对比度仍保持绝对优势。在色准、亮度等方面，完全有了与主流lcd一较高下的能力。加上从结构上来看，oled屏幕更利于做薄和做成柔性、曲面结构。
由于oled市场巨大的成长性,各大厂商纷纷进入oled的竞争格局,斥资建立生产线。目前,全球已有超过85家公司、近百个实验室致力于相关材料、制备工艺及生产设备的研究,并已制备出大量高效的有机发光器件。如果从产品的市场竞争力来看,全球最具有竞争力的区域为日、韩及中国台湾等地区,主要开发厂商有samsung、sony、hp、ibm、kodak、toshiba、sanyo、epson等。
oled的发光机理,目前普遍公认的是能带理论模型,认为oled发光属于注入式发光,即由阳极注入的空穴和阴极注入的电子,在发光层复合后产生激子,激子自身通过光辐射形式释放光子回到基态,或将能量传递给发光层分子,激发发光材料的电子从基态跃迁至激发态,然后以光辐射跃迁形式返回基态。
oled的发光其发光过程概括为以下五个阶段:
一，载流子的注入,电子和空穴分别从阴极和阳极注入夹在电极之间功能薄膜发光层中;
二，载流子的传输,载流子分别从电子传输层和空穴传输层向发光层迁移;
三，双分子复合,空穴和电子在发光层中相遇、复合;
四，激发子的能量传递给发光材料,使电子从基态跃迁到激发态;
五，激发态能量通过辐射失活,产生光子,释放能量回到基态。
而其中的这层发光材料是通过真空蒸镀的方式镀在ito玻璃基板上面，可见，薄膜质量影响着屏幕显示质量。而薄膜质量与oled的蒸镀工艺有很大的关系，由于现有的蒸镀工艺存在缺陷，不仅造成工件的均匀度不高；而且蒸镀不规则排列，导致造成浪费材料，散射出去的有机分子导致腔体污染，薄膜会有空气分子杂质等。
技术实现要素：
针对上述技术中存在的不足之处，本发明提供一种功能多样、使用方便及结构简单的柔性oled的蒸镀设备及其工艺。
为实现上述目的，本发明提供一种柔性oled的蒸镀设备，包括真空蒸镀室、安装在真空蒸镀室顶端的旋转轴和固定在旋转轴上的基片；所述真空蒸镀室上放置有用于放置镀料的容器，所述容器位于基片的正下方，所述容器与加热装置相电连接，且该加热装置与电源电连接；
将镀料放置在利用加热装置产生热可控的容器中，通过启动电源加热容器使之产生热能；所述镀料加热形成镀料蒸汽，镀料蒸汽自由作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜；旋转轴适时旋转，使得基片得以均匀受镀。
其中，所述加热装置包括两组热敏电阻组，每组热敏电阻组的一端均与容器连接，所述热敏电阻组的另一端均与电源相连接。
其中，每组热敏电阻组均由两个串联的热敏电阻组成。
其中，所述基片为工件，且工件的材质为pe基材。
为实现上述目的，本发明还提供一种柔性oled的蒸镀工艺，该工艺为：将镀料放置在利用加热装置产生热可控的容器中，通过启动电源加热容器使之产生热能；所述镀料加热形成镀料蒸汽，镀料蒸汽自由作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜；旋转轴适时旋转，使得基片得以均匀受镀。
本发明的有益效果是：与现有技术相比，本发明提供的柔性oled的蒸镀设备及其工艺，本发明将镀料放置在利用加热装置产生热可控的容器中，通过启动电源加热容器使之产生热能；所述镀料加热形成镀料蒸汽，镀料蒸汽自由作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜；旋转轴适时旋转，使得基片得以均匀受镀，工件就可以保持均匀，不易形成不规则排列而导致缺陷，本技术的改进避免浪费材料，散射出去的有机分子导致腔体污染，进而避免薄膜会有空气分子杂质等。
附图说明
图1为本发明的柔性oled的蒸镀设备的结构示意图。
主要元件符号说明如下：
10、真空蒸镀室11、旋转轴12、基片13、镀料14、镀料蒸汽15、容器16、加热装置17、电源161、热敏电阻。
具体实施方式
为了更清楚地表述本发明，下面结合附图对本发明作进一步地描述。
请参阅图1，本发明提供的柔性oled的蒸镀设备，包括真空蒸镀室10、安装在真空蒸镀室顶端的旋转轴11和固定在旋转轴上的基片12；所述真空蒸镀室上放置有用于放置镀料13的容器15，所述容器位于基片的正下方，所述容器与加热装置16相电连接，且该加热装置与电源17电连接；
将镀料放置在利用加热装置产生热可控的容器中，通过启动电源加热容器使之产生热能；所述镀料加热形成镀料蒸汽14，镀料蒸汽自由作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜；旋转轴适时旋转，使得基片得以均匀受镀。
在本实施例中，所述加热装置包括两组热敏电阻组，每组热敏电阻组的一端均与容器连接，所述热敏电阻组的另一端均与电源相连接。每组热敏电阻组均由两个串联的热敏电阻161组成。本案中通过热敏电阻实现了容器的热可控性。
在本实施例中，所述基片为工件，且工件的材质为pe基材。工艺更适用于生产柔性pmoled，因为pe基材可以更紧贴工件台，进行柔性pe基材的蒸镀，以生产柔性pmoled。
为实现上述目的，本发明还提供一种柔性oled的蒸镀工艺，该工艺为：将镀料放置在利用加热装置产生热可控的容器中，通过启动电源加热容器使之产生热能；所述镀料加热形成镀料蒸汽，镀料蒸汽自由作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜；旋转轴适时旋转，使得基片得以均匀受镀。
相较于现有技术的情况，本发明提供的柔性oled的蒸镀设备及其工艺，本发明将镀料放置在利用加热装置产生热可控的容器中，通过启动电源加热容器使之产生热能；所述镀料加热形成镀料蒸汽，镀料蒸汽自由作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜；旋转轴适时旋转，使得基片得以均匀受镀，工件就可以保持均匀，不易形成不规则排列而导致缺陷，本技术的改进避免浪费材料，散射出去的有机分子导致腔体污染，进而避免薄膜会有空气分子杂质等。
本oled蒸镀工艺的优点在于其通过旋转轴使得工件均匀受镀，并且减少成品个体差异，使得批次产品中，一致性高，从而提高产品的良率。还有，可以贴附pe柔性基，进行柔性oled生产。本技术简单高效结构优化，能优化蒸镀工艺均匀度；改善产品显示性能质量、提高良品率。本技术中使得旋转轴旋转的装置是现有技术，因此不进行详细描述。
以上公开的仅为本发明的几个具体实施例，但是本发明并非局限于此，任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本发明的保护范围。