技术特征：
技术总结
本发明公开了一种柔性OLED的蒸镀设备及其工艺，该设备包括真空蒸镀室、安装在真空蒸镀室顶端的旋转轴和固定在旋转轴上的基片；所述真空蒸镀室上放置有用于放置镀料的容器，所述容器位于基片的正下方，所述容器与加热装置相电连接，且该加热装置与电源电连接。本发明将镀料放置在利用加热装置产生热可控的容器中，通过启动电源加热容器使之产生热能；所述镀料加热形成镀料蒸汽，镀料蒸汽自由作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜；旋转轴适时旋转，使得基片得以均匀受镀，工件就可以保持均匀，不易形成不规则排列而导致缺陷，本技术的改进避免浪费材料，散射出去的有机分子导致腔体污染，进而避免薄膜会有空气分子杂质等。
技术研发人员：杨锦标
受保护的技术使用者：河源耀国电子科技有限公司
技术研发日：2017.08.01
技术公布日：2017.10.17