1.光学监控系统多片式膜厚修正装置，包括膜厚修正板支架（1）、膜厚修正板（2）和基板（5），其特征在于：所述膜厚修正板（2）通过螺钉（3）和定位销钉（4）固定在膜厚修正板支架（1）上，所述膜厚修正板（2）的个数为8个，所述膜厚修正板（2）均匀分布在膜厚修正板支架（1）上，所述基板（5）的直径大于膜厚修正板支架（1）的直径。
2.根据权利要求1所述的光学监控系统多片式膜厚修正装置，其特征在于，所述基板（5）的中心到膜厚修正板支架（1）的中心之间的距离大于基板（5）和膜厚修正板支架（1）的半径和。
3.根据权利要求1所述的光学监控系统多片式膜厚修正装置，其特征在于，所述膜厚修正板（2）由金属或塑料材质制备而成。