技术总结
本实用新型涉及到膜修复技术领域，尤其涉及光学监控系统多片式膜厚修正装置。该光学监控系统多片式膜厚修正装置，包括膜厚修正板支架、膜厚修正板和基板。本实用新型所涉及的光学监控系统多片式膜厚修正装置应用于多光路光学监控系统，可同时对基板多个半径进行监控，且在镀膜过程中可根据膜厚均匀性变化，使用两片不同形状的膜厚修正板进行切换，大大提高了光学监控精度和膜厚的均匀性。此多片式膜厚修正装置的应用使光学监控精度提高一个数量级，镀膜良率提高2‑3倍此外，该光学监控系统多片式膜厚修正装置结构设计合理，使用安装方便、稳定，适合推广使用。
技术研发人员：王静辉;郑燕飞;邓琪
受保护的技术使用者：王静辉;郑燕飞;邓琪
文档号码：201720334791
技术研发日：2017.03.31
技术公布日：2017.12.05