一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置的制作方法

文档序号:13442442阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置,其特征在于,该装置包括:底座、主齿轮、发条组件、旋钮、副齿轮、刀具、刀具座,具体结构如下:

主齿轮、副齿轮在底座的内部相啮合,主齿轮上方依次为发条组件、旋钮,发条组件上下分别与旋钮、主齿轮轴连接;副齿轮上方依次为刀具座、刀具,刀具座上下分别与刀具、副齿轮连接。

2.按照权利要求1所述的自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置,其特征在于,在底座的上部设置压盖,发条组件、轴承在压盖的内部,刀具座通过轴承与压盖配合。

3.按照权利要求1所述的自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置,其特征在于,在刀具的两侧和上方分布热丝。

4.按照权利要求1所述的自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置,其特征在于,在压盖的上方通过隔热屏支座固定隔热屏,旋钮和刀具座分别穿过隔热屏。

5.按照权利要求1所述的自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置,其特征在于,副齿轮为两组以上相互啮合,每组副齿轮上通过刀具座设置刀具。

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