全硅棒滚磨设备的制作方法

文档序号:14535501阅读:来源:国知局
技术总结
本申请公开的一种全硅棒滚磨设备,该全硅棒滚磨设备包括:机座,承载装置,线切割装置,夹紧滚动装置以及滚动研磨装置,其中,滚动研磨装置用于与夹紧滚动装置配合以对夹紧滚动装置夹紧的全硅棒的圆周面进行研磨。实现在同一台设备上完成对全硅棒的上料、滚磨等工序,加工效率高、耗时少,节约加工成本,且减少在搬运过程中对全硅棒造成损伤。

技术研发人员:卢建伟;潘雪明
受保护的技术使用者:上海日进机床有限公司
技术研发日:2017.11.02
技术公布日:2018.05.29

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