用于确定临近催化化学气相沉积中催化剂的热形变的装置的制作方法

文档序号:15181789发布日期:2018-08-14 20:13阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于确定临近催化化学气相沉积中催化剂的热变形的装置,所述装置包括:

设置在竖直方向上的彼此相对的上加热器和下加热器;

电连接至所述上加热器和下加热器的用于控制它们在所述竖直方向上升降的电机;

设置在所述下加热器表面上的样品台,其用于安放在所述临近催化化学气相沉积期间生长二维材料的基底;

设置在所述样品台和所述上加热器之间的水平导轨;

设置在所述水平导轨上并且具有一个或多个用于安放催化剂的穿孔的载板,所述载板和所述样品台之间为用于临近催化化学气相沉积的反应区;

设置在所述样品台与所述载板之间的用于测量基底与催化剂之间的距离的光栅尺;

设置在所述样品台与所述载板之间的用于检测所述载板上的催化剂是否与所述样品台上的基底发生接触的短路检测装置;和

电连接至所述短路检测装置和所述电机的控制装置,

其中所述上加热器和所述下加热器用于对所述反应区提供适合所述二维材料生长的温度。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述载板的穿孔为用于安放圆帽形催化剂的圆形孔。

3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述装置还包括设置在所述竖直方向上的用于限定所述上加热器在升降过程中的位置的光电二极管。

4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述装置还包括用于控制所述水平导轨在水平方向上运动的传动装置。

5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述短路检测装置是万用表或电流表;所述控制装置是计算机。

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