一种研磨抛光垫的修整器的制作方法

文档序号:15244995发布日期:2018-08-24 18:49阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种研磨抛光垫的修整器,包括至少一个修整轮,所述修整轮由驱动装置驱动旋转,通过所述修整轮的修整面对待修整的研磨抛光垫进行修整,其特征在于,所述修整轮的修整面上设置有相间分布的多个金刚石修整区域和多个毛刷区域。

2.如权利要求1所述修整器,其特征在于,所述驱动装置包括内齿轮和外齿轮,所述至少一个修整轮为间隔分布在所述内齿轮和所述外齿轮之间的环形区域的多个游星轮,所述环形区域与待修整的研磨抛光垫的环形研磨面相对应,所述多个游星轮由所述内齿轮和所述外齿轮共同驱动。

3.如权利要求2所述修整器,其特征在于,包括至少三个所述游星轮。

4.如权利要求1至3任一项所述修整器,其特征在于,所述金刚石修整区域和所述毛刷区域在所述修整面上的环形区域内相间分布。

5.如权利要求4所述修整器,其特征在于,所述修整面包括均匀交替分布的两个所述金刚石修整区域和两个所述毛刷区域。

6.如权利要求1至3任一项所述修整器,其特征在于,所述金刚石修整区域包括若干个固定有金刚石颗粒的金刚石丸片,所述毛刷区域包括若干个毛刷,所述金刚石丸片和所述毛刷以可拆卸的方式固定在所述修整面上。

7.如权利要求6所述修整器,其特征在于,所述金刚石丸片的直径为10-20mm、高度为5-15mm、每个丸片之间的距离为10-15mm。

8.如权利要求6所述修整器,其特征在于,所述毛刷包括刷体和刷丝,所述刷体的直径为5-20mm、高度为1-15mm,每个刷体之间的距离为10-15mm,所述刷丝的长度为1-15mm,所述刷丝的直径为0.3-0.5mm。

9.如权利要求1至3任一项所述修整器,其特征在于,所述修整轮的上表面和下表面均具有所述修整面。

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