技术特征：
技术总结
本发明公开了一种铝合金表面的DLC防护薄膜及其制备方法，所述薄膜是由过渡层和含H的DLC层组成，所述过渡层是沉积在7075铝合金上的SiC和Si‑DLC混合过渡层或是SiC、Si‑DLC双层过渡层，所述DLC层是直接生成的含H的DLC层；所述薄膜均使用CVD的方法进行制备，首先对7075铝合金进行预处理，然后利用空心阴极电子枪加上下聚焦线圈辅助作为TMS(四甲基硅烷)气体和/或乙炔的离化源，在基体上加负偏压进行沉积，最后利用氢气和作为碳源的乙炔气体沉积生成含H的DLC；本发明的铝合金表面DLC防护薄膜具有良好的摩擦学性能，表面光滑，膜基结合力高，硬度高，且工艺简单，成本低廉。
技术研发人员：宫声凯;高伟庆;彭徽;张恒
受保护的技术使用者：北京航空航天大学
技术研发日：2018.08.08
技术公布日：2018.12.25