技术总结
本实用新型提供了一种真空镀膜用加工装置，包括主转轴、主转盘、次转盘和托盘，主转轴下端固定连接主转盘，主转盘下端固定连接次转盘，次转盘中间设有伸缩杆，次转盘下端外围设有夹持件，伸缩杆下端固定连接另一个次转盘，该次转盘上端设有夹持件，下端固定连接托盘，在上下端的夹持件之间固定夹持基片，该转盘下端设有次转轴，次转轴下端穿过托盘，末端固定连接从动轮，托盘上端面中间固定连接一个电机，电机下端传动输出端穿过托盘，末端固定连接主动轮，主动轮和从动轮之间通过皮带传动连接，本实用新型可以稳定的夹持住基片，增加基片在镀膜过程中的稳定性，防止基片下端与真空室壁产生摩擦，造成不良品。
技术研发人员：史延锋;赵洋;史延库;杨金海
受保护的技术使用者：南京浦阳环保科技有限公司
技术研发日：2018.06.15
技术公布日：2019.01.22