一种使用外红外加热的蚀刻装置的制作方法

文档序号:18140331发布日期:2019-07-10 11:01阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种使用外红外加热的蚀刻装置,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)的前端面设置有观察窗(2),观察窗(2)设置有两个,且观察窗(2)之间关于箱体(1)的垂直中心线相对称,所述箱体(1)的一侧设置有入板托槽(3),且入板托槽(3)与箱体(1)之间通过螺钉固定连接,所述箱体(1)的另一侧设置有出板托槽(4),且出板托槽(4)与箱体(1)之间通过螺钉固定连接,所述入板托槽(3)和出板托槽(4)的下方均安装有托槽支撑脚(5),所述入板托槽(3)的一侧设置有蚀刻液箱(6),所述蚀刻液箱(6)的上方安装有水泵(7),所述蚀刻液箱(6)上设置有蚀刻液箱壳(8),所述蚀刻液箱壳(8)的上端设置有蚀刻液箱进口管(9),所述蚀刻液箱进口管(9)的一侧设置有水泵进口管(10),所述水泵进口管(10)的下方设置有吸液软管(11),且吸液软管(11)与水泵进口管(10)之间密封连接,所述蚀刻液箱壳(8)内壁的上方安装有外红外线灯(12),且外红外线灯(12)与蚀刻液箱壳(8)之间通过螺钉固定连接,所述蚀刻液箱壳(8)内壁的一侧安装有温控器保护罩(14)。

2.根据权利要求1所述的一种使用外红外加热的蚀刻装置,其特征在于:所述水泵进口管(10)的一端贯穿蚀刻液箱壳(8),且水泵进口管(10)的一端延伸至蚀刻液箱壳(8)的外部。

3.根据权利要求1所述的一种使用外红外加热的蚀刻装置,其特征在于:所述温控器保护罩(14)的内部安装有温控器(13),且温控器(13)的一端贯穿并延伸至蚀刻液箱壳(8)的外部,所述温控器(13)与外红外线灯(12)电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种使用外红外加热的蚀刻装置,其特征在于:所述蚀刻液箱壳(8)的底部安装有蚀刻液箱支撑脚(15),蚀刻液箱支撑脚(15)设置有六个,且蚀刻液箱支撑脚(15)之间关于蚀刻液箱壳(8)的垂直中心线相对称。

5.根据权利要求1所述的一种使用外红外加热的蚀刻装置,其特征在于:所述蚀刻液箱壳(8)的下端设置有蚀刻液箱出口管(16),且蚀刻液箱出口管(16)与蚀刻液箱壳(8)之间密封连接。

6.根据权利要求1所述的一种使用外红外加热的蚀刻装置,其特征在于:所述外红外线灯(12)包括灯罩(17)、远红外石英电加热管(18)和玻璃保护层(19),所述远红外石英电加热管(18)位于灯罩(17)的内部,所述远红外石英电加热管(18)设置有九个,且远红外石英电加热管(18)之间依次分布,所述玻璃保护层(19)位于灯罩(17)的前端面。

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