一种使用外红外加热的蚀刻装置的制作方法

文档序号:18140331发布日期:2019-07-10 11:01阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种使用外红外加热的蚀刻装置,包括箱体,所述箱体的前端面设置有观察窗,观察窗设置有两个,且观察窗之间关于箱体的垂直中心线相对称,所述箱体的一侧设置有入板托槽,且入板托槽与箱体之间通过螺钉固定连接,所述箱体的另一侧设置有出板托槽,且出板托槽与箱体之间通过螺钉固定连接,所述入板托槽的一侧设置有蚀刻液箱,所述蚀刻液箱的上方安装有水泵,所述蚀刻液箱上设置有蚀刻液箱壳,所述水泵进口管内壁的上方安装有外红外线灯,所述蚀刻液箱壳内壁的一侧安装有温控器保护罩。本实用新型加热速度快、受热均匀,节约百分之三十的电力消耗,节约了成本,缩短了加热时间。

技术研发人员:李彦;耿朝辉
受保护的技术使用者:赫得纳米科技(黄石)有限公司
技术研发日:2018.09.25
技术公布日:2019.07.09

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