一种四工位转靶的制作方法

本实用新型涉及真空磁控溅射技术，尤其是涉及一种四工位转靶。

背景技术：

溅射镀膜的原理是稀薄气体在异常辉光放电产生的等离子体在电场的作用下，对阴极靶材表面进行轰击，把靶材表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来，被溅射出来的粒子带有一定的动能，沿一定的方向射向基体表面，在基体表面形成镀层。

公告号为CN102473578A的发明专利提供了一种溅射系统、可转动筒状靶材组件、衬管、靶材元件和冷却罩，靶材筒转动设置在冷却罩内，冷却罩上设有供靶材表面的分子、原子以及电子等溅射出来的开口，在靶材筒上，可以安装不同材料的镀膜靶材，对产品进行分层镀膜，提高了设备适应性。

但是在实际使用时，现有技术中的冷却罩均是固定的，冷却罩上的开口的位置也是固定的，当镀膜产品体积发生变化的时候，靶材表面溅射出来的分子、原子以及电子无法十分准确的飞向镀膜产品，对镀膜质量存在一定的影响。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种四工位转靶，冷却罩的开口位置可以调节进而保证不同体积的镀膜产品的镀膜质量。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：一种四工位转靶，包括与镀膜机固定的固定板，所述固定板上转动连接有靶轴，所述靶轴端部固定有靶材筒，所述靶材筒外罩设有冷却罩，所述冷却罩上设有与靶材筒外周面配合的开口，所述冷却罩转动设置在靶轴上，所述固定板上设有驱动冷却罩转动的驱动装置。

通过采用上述技术方案，在工作时，通过驱动装置驱动冷却罩转动，即可实现冷却罩上开口位置的调节，在镀膜之前，可以将开口调整到对准工件的位置，这样可以保证靶材上的分子、原子以及电子飞出之后，可以准确的朝向工件飞去，提高了镀膜效率以及镀膜质量。

本实用新型进一步设置为：所述靶轴外周面上设有支撑冷却罩的凸环，所述凸环顶面上设有呈环形设置的沉槽，所述冷却罩底部设有套设在靶轴外的套筒，所述套筒底面上嵌设有若干滚动设置在沉槽内的滚珠。

通过采用上述技术方案，安装完毕之后，凸环不仅可以实现冷却罩的支撑，也可以实现冷却罩与靶轴的转动连接，方便对冷却罩位置进行调节，滚珠可以减小套筒与凸环的摩擦力，降低套筒与凸环的磨损。

本实用新型进一步设置为：所述驱动装置包括固定在冷却罩底部且与靶轴同轴设置的第一从动齿轮，所述固定板上平行于靶轴设有操作杆，所述操作杆一端与固定板转动连接，另一端设有与第一从动齿轮啮合的第一主动齿轮。

通过采用上述技术方案，在操作的时候，转动操作杆，操作杆带动第一主动齿轮转动，第一主动齿轮与第一从动齿轮啮合，即可驱动冷却罩转动，实现开口位置的调节。

本实用新型进一步设置为：所述固定板上设有与操作杆套接的导套，所述导套以及操作杆沿操作杆与靶轴中心线方向滑移设置在固定板上，所述固定板上设有驱动导套滑移以及固定的驱动件。

通过采用上述技术方案，通过变换导套的位置，可以实现操作杆与冷却罩之间的传动连接或者分离，当冷却罩的开口调节到位之后，驱动件可以驱动导套朝向远离靶轴的方向滑动并固定，这样第一主动齿轮与第一从动齿轮之间的连接即被解除，这样即使转动操作杆，冷却罩也不会转动，可以避免因为误操作，导致冷却罩上的开口位置发生变化，保证了镀膜质量。

本实用新型进一步设置为：所述固定板上设有供导套滑移的腰形槽，所述驱动件包括设置在腰形槽内的弹性件以及相对弹性件设置的驱动螺栓。

通过采用上述技术方案，通过驱动螺栓与弹簧配合，正反转动驱动螺栓，即可实现导套在固定板上的滑动，靠近或者远离靶轴，实现导套的驱动以及固定。

本实用新型进一步设置为：所述冷却罩底部与靶轴同轴设有挡环，所述挡环位于第一主动齿轮外侧，所述导套远离固定板一端设有当第一主动齿轮与第二主动齿轮脱离啮合时与挡环抵接的抵接环。

通过采用上述技术方案，当第一主动齿轮与第二主动齿轮脱离啮合时，抵接环与挡环内壁抵接，旋紧驱动螺栓，驱动导套朝向挡环滑动，导套上的抵接环抵紧在挡环的内壁上，由于导套仅能滑动，无法转动，因此抵接环抵紧之后，通过抵接环与挡环之间的摩擦力，即可实现挡环的固定，进一步避免冷却罩出现滑动，保证了镀膜过程的可靠性。

本实用新型进一步设置为：所述靶轴底部固定有第二从动齿轮，所述固定板上转动连接有转柄，所述转柄端部设有与第二从动齿轮啮合的第二主动齿轮。

通过采用上述技术方案，在操作时，转动转柄，通过第二主动齿轮与第二从动齿轮的驱动，即可驱动靶轴转动。

本实用新型进一步设置为：所述套筒的外周面上固定有与凸环外周面贴合的限位环，所述限位环的内径与凸环外径相等。

通过采用上述技术方案，限位环可以将凸环包覆起来，不仅可以对套筒的转动起到限位作用，也可以避免杂质进入套筒与凸环之前，对滚珠起到保护作用。

综上所述，本实用新型的有益技术效果为：

1.冷却罩的开口位置可调，提高了生产过程中的适应性，对不同体积的产品，均可以实现有针对性的镀膜；

2.结构简单，操作方便，操作杆位置可调，提高了使用过程中的安全性。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型的冷却罩爆照示意图。

图3是本实用新型的转柄以及操作杆安装示意图。

图4是本实用新型的装配剖视图。

图5是图4中A部放大图。

图中，1、固定板；11、腰形槽；2、靶轴；21、第二从动齿轮；22、凸环；221、沉槽；3、冷却罩； 31、开口；32、套筒；321、滚珠；322、限位环；33、挡环；4、转柄；41、第二主动齿轮；5、靶材筒；6、第一从动齿轮；7、操作杆；71、第一主动齿轮；8、导套；81、弹簧；82、驱动螺栓；83、抵接环。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

参照图1，为本实用新型公开的一种四工位转靶，包括与镀膜机固定的固定板1，固定板1对整个转靶起到支撑以及固定效果，固定板1水平放置，在固定板1上转动连接有靶轴2，靶轴2垂直固定板1设置，在靶轴2远离固定板1的一端固定有靶材筒5，靶材筒5与靶轴2同轴设置，靶材筒5外固定有靶材，在靶材筒5外罩设有冷却罩3，冷却罩3与靶材筒5配合，冷却罩3上设有与靶材筒5外周面配合的开口31，开口31供靶材表面溅射出来的分子、原子以及电子飞出。

参照图1，为了方便驱动靶轴2转动，在靶轴2底部固定有第二从动齿轮21，在固定板1上转动连接有转柄4，转柄4平行于靶轴2，转柄4端部设有与第二从动齿轮21啮合的第二主动齿轮41，转动转柄4，即可驱动靶轴2转动。

参照图1以及图2，为了方便调整靶材表面溅射出来的分子、原子以及电子的飞出位置，冷却罩3转动设置在靶轴2上，在固定板1上设有驱动冷却罩 3转动的驱动装置，在工作时，通过驱动装置，驱动冷却罩3转动，即可实现冷却罩3上开口31位置的调节，在镀膜之前，可以将开口31调整到对准工件的位置，这样可以保证靶材上的分子、原子以及电子飞出之后，可以准确的朝向工件飞去，提高了镀膜效率以及镀膜质量。

参照图2以及图3，在靶轴2外周面上设有支撑冷却罩3的凸环22，凸环22设置在冷却罩3下方，在冷却罩3下方向下延伸有套筒32，套筒32套设在靶轴2外，在凸环22的顶面上设有呈环形设置的沉槽221，沉槽221的截面为半圆形，在套筒32的底面上嵌设有若干滚珠321，滚珠321圆周阵列设置在套筒32的底面上，滚珠321滚动设置在沉槽221内，安装完毕之后，凸环22不仅可以实现冷却罩3的支撑，也可以实现冷却罩3与靶轴2的转动连接，方便对冷却罩3位置进行调节，滚珠321可以减小套筒32与凸环22的摩擦力，降低套筒32与凸环22的磨损。

参照图2，在套筒32的外周面上固定有与凸环22外周面贴合的限位环322，限位环322的内径与凸环22外径相等，限位环322可以将凸环22包覆起来，不仅可以对套筒32的转动起到限位作用，也可以避免杂质进入套筒32与凸环22之前，对滚珠321起到保护作用。

参照图2以及图3，驱动装置包括固定在冷却罩3底部且与冷却罩3同轴设置的第一从动齿轮6，为了减小整体结构占用空间，第一从动齿轮6固定在套筒32外，在固定板1上转动连接有操作杆7，操作杆7平行于靶轴2，操作杆7一端延伸至冷却罩3下方，另一端穿过固定板1之后伸出固定板1，在操作的时候，转动操作杆7，操作杆7带动第一主动齿轮71转动，第一主动齿轮71与第一从动齿轮6啮合，即可驱动冷却罩3转动，实现开口31位置的调节。

参照图2以及图3，在固定板1上设有导套8，导套8套设在操作杆7外，操作杆7贯穿导套8并且与导套8转动连接，在固定板1上沿操作杆7与靶轴2的中心线方向设有腰形槽11，导套8底部滑移设置在腰形槽11内，滑动导套8，可以实现第一主动齿轮71与第一从动齿轮6的啮合以及分离。为了方便驱动导套8滑动，在固定板1上设有驱动导套8滑移以及固定的驱动件，通过变换导套8的位置，可以实现操作杆7与冷却罩3之间的传动连接或者分离，当冷却罩3的开口31调节到位之后，驱动件可以驱动导套8朝向远离靶轴2的方向滑动并固定，这样第一主动齿轮71与第一从动齿轮6之间的连接即被解除，这样即使转动操作杆7，冷却罩3也不会转动，可以避免因为误操作，导致冷却罩3上的开口31位置发生变化，保证了镀膜质量。

参照图4以及图5，驱动件包括设置在腰形槽11内的弹性件以及相对弹性件设置的驱动螺栓82，为了方便安装以及操作，在固定板1上垂直操作板设有凸台，驱动螺栓82平行于腰形槽11长度方向设置并且与凸台螺纹连接，本实施例中，驱动螺栓82设置在导套8与靶轴2之间，弹性件为弹簧81，弹簧81设置在导套8外侧，通过驱动螺栓82与弹簧81配合，正反转动驱动螺栓82，即可实现导套8在固定板1上的滑动，靠近或者远离靶轴2。

参照图4以及图5，为了能够进一步提高冷却罩3的固定效果，在冷却罩3底部设有挡环33，挡环33与冷却罩3同轴设置，挡环33设置在第一主动齿轮71外侧，即第一主动齿轮71与第一从动齿轮6均位于挡环33内，导套8远离固定板1一端向外凸出设有抵接环83，抵接环83由橡胶制成，当第一主动齿轮71与第二主动齿轮41脱离啮合时，抵接环83与挡环33内壁抵接，这样旋紧驱动螺栓82，驱动导套8朝向挡环33滑动，导套8上的抵接环83抵紧在挡环33的内壁上，由于导套8仅能滑动，无法转动，因此抵接环83抵紧之后，通过抵接环83与挡环33之间的摩擦力，即可实现挡环33的固定，进一步避免冷却罩3出现滑动，保证了镀膜过程的可靠性。

工作过程概述：当想要调节冷却罩3的开口31位置的时候，转动驱动螺栓82，弹簧81将导套8顶向靶轴2，操作杆7端部的第一主动齿轮71与冷却罩3底部的第一从动齿轮6啮合，转动操作杆7，即可驱动冷却罩3转动，进而实现开口31位置的调节；调节完毕之后，转动驱动螺栓82，驱动导套8远离靶轴2，将导套8上的抵接环83与挡环33抵接，通过抵接环83与挡环33之间的摩擦力，导套8可以将冷却罩3相对靶轴2固定。

本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例，并非依此限制本实用新型的保护范围，故：凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。