技术总结
本实用新型公开了一种内平面研磨机，包括安装座、以及设置在所述安装座上的安装板，在所述安装板上设有驱动电机，所述驱动电机的输出端通过减速机与研磨主轴的一端连接，在所述研磨主轴的另一端设有用于研磨内平面的研磨盘，且所述研磨主轴和研磨盘可在驱动电机的带动下做自转运动；在所述安装座的中心开设有研磨主轴偏心量调节槽，安装座通过皮带或齿轮传动的方式被驱动旋转，形成研磨主轴整体部件的公转。本实用新型可在研磨时同时实现研磨主轴的自转和公转，研磨轨迹的重叠性大幅降低，从而能有效维持研磨盘的平面度，进而保证工件的平面度。
技术研发人员：王永成
受保护的技术使用者：上海致领半导体科技发展有限公司
技术研发日：2018.10.26
技术公布日：2019.08.16