金属溅镀机的制作方法

本发明涉及镀膜领域，尤其涉及一种金属溅镀机。

背景技术：

在金属溅镀机中，基板放置在托盘上进行金属溅镀，不同规格的基板对应不同标准的托盘，因此在金属溅镀机工作过程中，往往需要进行托盘的更换。现有托盘更换方式为人工，效率低。

即现有金属溅镀机存在缺陷，需要改进。

技术实现要素：

本发明提供一种金属溅镀机，以缓解现有金属溅镀机无法实现托盘存储仓与溅镀机台之间托盘的全自动化传送及交换的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种金属溅镀机，包括：

溅镀机台，用于在基板上溅镀金属；

托盘，放置在所述溅镀机台上，用于承载所述基板；

托盘存储仓，用于存储托盘；

运输台车，用于运输托盘；

封闭门，用于封闭所述溅镀机台；

控制装置，用于控制所述封闭门的开关，以及所述运输台车工作。

在本发明的金属溅镀机中，所述控制装置包括控制器，所述控制器用于在接收到更换指令时，控制所述运输台车更换托盘。

在本发明的金属溅镀机中，所述控制器还用于根据所述更换指令携带的托盘标识，控制所述运输台车更换托盘。

在本发明的金属溅镀机中，所述控制装置包括控制器，所述控制器用于根据待溅镀基板参数，控制所述运输台车更换托盘。

在本发明的金属溅镀机中，所述控制器用于根据待溅镀基板参数，控制所述托盘存储仓将对应托盘提供给所述运输台车。

在本发明的金属溅镀机中，所述控制器用于根据待溅镀基板参数，控制所述运输台车选择所述托盘存储仓中对应托盘。

在本发明的金属溅镀机中，所述控制装置包括传感器和控制器，所述控制器用于根据所述传感器检测的所述运输台车与所述封闭门之间的距离变化，控制所述封闭门的开关。

在本发明的金属溅镀机中，所述控制装置包括传感器和控制器，所述传感器用于检测所述运输台车与所述封闭门之间的距离，所述控制器用于根据所述距离是否小于预设值，控制所述封闭门的开关。

在本发明的金属溅镀机中，所述传感器设置在所述运输台车上。

在本发明的金属溅镀机中，所述控制装置与所述运输台车无线连接。

本发明的有益效果为：本发明提供一种金属溅镀机，包括：溅镀机台，用于在基板上溅镀金属；托盘，放置在所述溅镀机台上，用于承载所述基板；托盘存储仓，用于存储托盘；运输台车，用于运输托盘；封闭门，用于封闭所述溅镀机台；控制装置，用于控制所述封闭门的开关，以及所述运输台车工作；通过设置控制装置实现托盘以及封闭门的全自动化更换，减少了手动更换托盘和开关封闭门所需时间，提升设备综合效率，从而提升生产产能，同时也减少人员手动操作带来的安全隐患，减少人员进入带来的杂质，提升产品良率。

附图说明

为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的金属溅镀机的结构示意图；

图2为本发明的金属溅镀机的工作流程示意图；

图3为为本发明的金属溅镀机的托盘编号选择界面示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明的具体实施方案，对本发明实施方案和/或实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显而易见的，下面所描述的实施方案和/或实施例仅仅是本发明一部分实施方案和/或实施例，而不是全部的实施方案和/或实施例。基于本发明中的实施方案和/或实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前下所获得的所有其他实施方案和/或实施例，都属于本发明保护范围。

本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[左]、[右]、[前]、[后]、[内]、[外]、[侧]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明和理解本发明，而非用以限制本发明。术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或是暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

本发明提供一种金属溅镀机，以缓解现有金属溅镀机无法实现托盘存储仓与溅镀机台之间托盘的全自动化传送及交换的技术问题。

如图1所示，为本发明实施例提供的金属溅镀机的结构示意图。所述金属溅镀机包括溅镀机台10、运输台车20、托盘存储仓30、以及设置在所述溅镀机台10和所述托盘存储仓30之间的封闭门40。

所述溅镀机台10上放置有基板101，所述基板101在所述所述溅镀机台10上完成溅镀工序。在进行所述溅镀工序时，需要有对应的一个托盘承载所述基板101进行溅镀。

所述托盘存储仓30用于存储托盘，以及回收更换下来的托盘。根据生产需求的不同，所述溅镀机台10上进行溅镀的基板型号也各有不同，每种型号的基板需要对应型号的托盘来承载，然后再在所述溅镀机台10上完成溅镀，因此所述托盘存储仓30中存储有各种与所述溅镀机台10上基板相对应的托盘。当所述基板101开始准备溅镀时，所述托盘存储仓30提供相应型号的托盘301，所述托盘301承载着所述基板101进行溅镀工序。

当溅镀工序完成后，所述基板101进入下一工序，所述托盘301需回收至所述托盘存储仓30中。

所述运输台车20用于运输托盘，由于所述托盘存储仓30与所述溅镀机台10属于不同的工作区域，即所述托盘存储仓30与所述溅镀机台10之间有一定的间距，因此当所述溅镀机台10上的所述基板101准备溅镀时，需要从所述托盘存储仓30中取出与所述基板101相对应的特定型号的所述托盘301，传送给所述溅镀机台10。

当所述溅镀机台10上的所述基板101完成溅镀后，需要将承载该基板的所述托盘301更换掉，此时，所述运输台车20从所述溅镀机台10上取下所述托盘301，再传送给所述托盘存储仓30，所述基板101进入下一工序，所述运输台车20复位。

之后，所述溅镀机台10需进行下一块基板的溅镀工作，即另一待溅镀基板进入所述溅镀机台10，准备溅镀工序，此时所述运输台车20需从所述托盘存储仓30中取出与所述待溅镀基板对应的托盘，再传送给所述溅镀机台10。所述金属溅镀机每完成一次溅镀工序，所述运输台车20重复一次更换托盘的操作。

所述运输台车20还包括取料构件(图未示出)，用于将托盘从所述溅镀机台10上放上或取下，以及将托盘从所述托盘存储仓30里放进或取出。

在所述托盘存储仓30与所述溅镀机台10之间，也即所述所述运输台车20的运输路径之间，设置有运输导轨50，所述运输台车20通过所述运输导轨50在所述托盘存储仓30与所述溅镀机台10之间来回运输托盘，所述运输导轨50可以使所述运输台车20的运输路线更加精准。

在所述溅镀机台10和所述托盘存储仓30之间设置有封闭门40，用于封闭所述溅镀机台10。由于溅镀工序需要一个密闭的环境，因此需要所述封闭门40来使溅镀工作区域与其他区域分隔开。当所述金属溅镀机需要更换托盘时，所述封闭门40开启，所述运输台车20载着托盘经过；当所述金属溅镀机没有更换托盘需求时，所述封闭门40处于关闭状态，所述运输台车20也处于复位状态。

所述金属溅镀机还包括控制装置(图未示出)，用于控制所述封闭门40的开关，以及所述运输台车20工作。所述运输台车20的取料构件也可以由所述控制装置来控制自动取放托盘。由于现有的金属溅镀机中封闭门的开关及托盘的更换方式为人工，效率低，因此本发明设置控制装置，实现托盘以及封闭门的全自动化更换。

在一种实施例中，所述控制装置包括控制器，所述控制器用于在接收到更换指令时，控制所述运输台车20更换托盘。当所述基板101完成溅镀工序时，所述金属溅镀机向所述控制系统的所述控制器发出更换指令，所述控制器在接收到更换指令后，控制所述运输台车20移动至所述溅镀机台10，将承载所述基板101的所述托盘301换下，再控制所述运输台车20移动至所述托盘存储仓30，将所述托盘301放置到所述托盘存储仓30中。

当所述溅镀机台10上不再进行下一基板的溅镀任务时，所述控制器控制所述运输台车20复位，完成更换托盘任务。

当所述溅镀机台10上继续进行下一基板的溅镀任务时，所述控制器控制所述托盘存储仓30中取出新的托盘传送给所述溅镀机台10，最后再控制所述运输台车20复位，完成更换托盘任务。

在一种实施例中，所述控制器还用于根据所述更换指令携带的托盘标识，控制所述运输台车20更换托盘。当所述基板101完成溅镀工序时，所述金属溅镀机向所述控制器发出更换指令，所述控制器在接收到更换指令时，也同时接受到所述更换指令携带的托盘标识，即所述更换指令已经指明需更换的托盘编号，此时所述控制器直接控制所述运输台车20更换好指明编号的托盘，再控制所述运输台车20复位，完成更换托盘任务。

在一种实施例中，所述控制器用于根据待溅镀基板参数，控制所述运输台车20更换托盘。当待溅镀基板即将进行溅镀工序时，所述金属溅镀机向所述控制器发出待溅镀基板参数，所述控制器根据待溅镀基板参数决定承载所述待溅镀基板的托盘参数，进而确定所需更换的托盘编号，然后控制所述运输台车20更换好相对应的托盘，完成更换托盘任务。

在一种实施例中，所述控制器用于根据待溅镀基板参数，控制所述托盘存储仓30将对应托盘提供给所述运输台车20。当待溅镀基板即将进行溅镀工序时，所述金属溅镀机向所述控制器发出待溅镀基板参数，所述控制器根据待溅镀基板参数决定承载所述待溅镀基板的托盘参数，进而确定所需更换的托盘编号，此时所述控制器控制所述托盘存储仓30提前将所需更换的托盘挑选出，当所述运输台车20移动至所述托盘存储仓30时，直接将所需更换的托盘放至所述运输台车20上，再控制所述运输台车20移动至所述溅镀机台10，将所需更换的托盘放至所述溅镀机台10上，承载所述待溅镀基板。

在一种实施例中，所述控制器用于根据待溅镀基板参数，控制所述运输台车20选择所述托盘存储仓30中对应托盘。当待溅镀基板即将进行溅镀工序时，所述金属溅镀机向所述控制器发出待溅镀基板参数，所述控制器根据待溅镀基板参数决定承载所述待溅镀基板的托盘参数，进而确定所需更换的托盘编号，此时所述控制器控制所述运输台车20直接在所述托盘存储仓30中挑选出所需更换的托盘，再控制所述运输台车20移动至所述溅镀机台10，将所需更换的托盘放至所述溅镀机台10上，承载所述待溅镀基板。

在一种实施例中，所述控制装置包括传感器和控制器，所述控制器用于根据所述传感器检测的所述运输台车20与所述封闭门40之间的距离变化，控制所述封闭门40的开关。

所述封闭门40为自动门，可在所述控制器的控制下自动开启和关闭。所述控制装置还包括微处理器，所述封闭门40与所述传感器相连接，所述传感器用于感应所述运输台车20与所述封闭门40之间的距离变化，并将感应值发送到所述微处理器，所述微处理器根据所述感应值的增大或减小，向所述控制器发出开启或关闭所述封闭门40的指令。

具体地，当所述传感器感应到所述运输台车20与所述封闭门40之间的距离在逐渐减小时，将感应值发送到所述微处理器，所述微处理器向所述控制器发出开启所述封闭门40的指令，所述控制器控制所述封闭门40打开，使得所述运输台车20可以从所述封闭门40通过；当所述传感器感应到所述运输台车20与所述封闭门40之间的距离在逐渐增大时，将感应值发送到所述微处理器，所述微处理器向所述控制器发出关闭所述封闭门40的指令，所述控制器控制所述封闭门40关闭。

在一种实施例中，所述传感器用于检测所述运输台车20与所述封闭门40之间的距离，所述控制器用于根据所述距离是否小于预设值，控制所述封闭门40的开关。

所述封闭门40为自动门，可在所述控制器的控制下自动开启和关闭。所述控制装置还包括微处理器，所述封闭门40与所述传感器相连接，所述传感器用于检测所述运输台车20与所述封闭门40之间的距离，并将所述感应值发送到所述微处理器，所述微处理器将该感应值与预设值相比较，根据对比结果向控制器发出开启或关闭所述封闭门40的指令。

具体地，当所述传感器感应到所述运输台车20与所述封闭门40之间的距离时，将所述感应值发送到所述微处理器，所述微处理器将所述感应值与预设值相比较，若所述感应值小于所述预设值，所述微处理器向所述控制器发出开启所述封闭门40的指令，所述控制器控制所述封闭门40打开，使得所述运输台车20可以从所述封闭门40通过；当所述感应值大于所述预设值时，所述微处理器向所述控制器发出关闭所述封闭门40的指令，所述控制器控制所述封闭门40关闭。

在一种实施例中，所述传感器设置在所述运输台车20上。所述传感器可以是声波传感器、光学传感器等。所述传感器可以设置在一处，也可以设置在多处。

例如，如图1所示，所述运输台车20有一顶面201，所述顶面201上设置传感器(图未示出)，所述运输台车20在所述运输导轨50上的任意位置，所述传感器都可以检测所述运输台车20与所述封闭门40之间的距离。

再例如，所述运输台车20有靠近所述溅镀机台10的第一侧面202和远离所述溅镀机台10的第二侧面203，所述第一侧面202上设置有第一传感器(图未示出)，所述第二侧面203上设置有第二传感器(图未示出)。当所述运输台车20处于所述溅镀机台10和所述封闭门之间时，由所述第一传感器检测所述运输台车20与所述封闭门40之间的距离；当所述运输台车20处于所述托盘存储仓30和所述封闭门40之间时，由所述第二传感器检测所述运输台车20与所述封闭门40之间的距离。

在一种实施例中，所述控制装置与所述运输台车无线连接。

如图2所示，为本发明的金属溅镀机的工作流程示意图，包括下列步骤：

步骤s1：工程有换托盘需求；

步骤s2：物料调配系统操作界面点击托盘更换；

步骤s3：选择需更换的托盘后点击执行；

步骤s4：金属溅镀机给运输台车发送需求信号；

步骤s5：封闭门感应到信号自动打开；

步骤s6：运输台车取出溅镀机台上需更换的托盘放至托盘存储仓；

步骤s7：运输台车在托盘存储仓取出新的托盘放到溅镀机台；

步骤s8：更换托盘动作完成后，封闭门感应到信号自动关闭；

步骤s9：复机。

下面结合图1、图2、图3详细说明本实施例的金属溅镀机的具体工作流程。

在步骤s1中，工程有换托盘需求，即所述溅镀机台10上的所述基板101已完成溅镀工序，即将进入下一工序，需要将承载所述基板101的所述托盘301更换。

在步骤s2中，物料调配系统操作界面点击托盘更换。所述金属溅镀机包括物料调配系统操作界面，在所述物料调配系统操作界面上设置有“托盘更换”的按钮，当工程有换托盘需求时，点击“托盘更换”按钮，进入到托盘编号选择界面。

在步骤s3中，选择需更换的托盘后点击执行。如图3所示，为本发明的金属溅镀机的托盘编号选择界面示意图。在所述托盘编号选择界面，可以设置所述运输台车20的运输方向，例如可以设置从所述溅镀机台10运输至所述托盘存储仓30，此时还需设置待更换的托盘编号、以及待更换的托盘回收至所述托盘存储仓30内的位置；也可以设置所述运输台车20的运输方向为从所述托盘存储仓30运输至所述溅镀机台10，此时还需设置待更换托盘在所述托盘存储仓30内的位置。

所述运输台车20的运输方向设置完成后，再设置好托盘相关参数，然后点击“执行”按钮，确定更换任务。

在步骤s4中，金属溅镀机给运输台车发送需求信号。当所述更换任务确定后，所述运输台车20接收到任务指令，开始按设置好的路径移动。

在步骤s5中，封闭门感应到信号自动打开。当所述运输台车20接收到任务指令时，所述控制装置的所述传感器检测到所述运输台车20和所述封闭门之间的距离或距离变化，所述封闭门40在所述控制装置的所述控制器的控制下开启，使得所述运输台车20可以通过。

在步骤s6中，运输台车取出溅镀机台上需更换的托盘放至托盘存储仓。所述运输台车20根据所述步骤s3中设置的参数，准确将对应编号的托盘从所述溅镀机台10上取下，然后传送至所述托盘存储仓30，放至所述步骤s3中设置好的位置。

在步骤s7中，运输台车在托盘存储仓取出新的托盘放到溅镀机台。所述运输台车20根据所述步骤s3中设置的参数，准确将对应托盘存储仓位置处的托盘从所述托盘存储仓30中取出，然后传送至所述溅镀机台10。

在步骤s8中，更换托盘动作完成后，封闭门感应到信号自动关闭。当更换托盘动作完成后，所述运输台车20回到起始位置，所述传感器感应到所述运输台车20与所述封闭门40之间的距离或距离变化，所述封闭门40在所述控制器的控制下自动关闭。

在步骤s9中，复机。当整个更换托盘的任务完成后，之前设置的参数恢复原始状态，等待下一次任务指令。

根据上述实施例可知：

本发明实施例提供一种金属溅镀机，包括：溅镀机台，用于在基板上溅镀金属；托盘，放置在所述溅镀机台上，用于承载所述基板；托盘存储仓，用于存储托盘；运输台车，用于运输托盘；封闭门，用于封闭所述溅镀机台；控制装置，用于控制所述封闭门的开关，以及所述运输台车工作；通过设置控制装置实现托盘以及封闭门的全自动化更换，减少了手动更换托盘和开关封闭门所需时间，提升设备综合效率，从而提升生产产能，同时也减少人员手动操作带来的安全隐患，减少人员进入带来的杂质，提升产品良率。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。