一种用于光学镜片的真空镀膜机的制作方法

本实用新型涉及镀膜机领域，具体而言，涉及一种用于光学镜片的真空镀膜机。

背景技术：

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

目前，现有的用于光学镜片的真空镀膜机，当真空镀膜机内的靶材用完时，需要人工把坩埚从真空镀膜机内取下，再把靶材重新注入到新的坩埚内后，再次插回到真空镀膜机内，大大的提高了人工的劳动量。

技术实现要素：

为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种用于光学镜片的真空镀膜机，旨在改善当真空镀膜机内的靶材用完时，需要人工把坩埚从真空镀膜机内取下，再把靶材重新注入到新的坩埚内后，再次插回到真空镀膜机内的问题。

本实用新型是这样实现的：

本实用新型提供一种用于光学镜片的真空镀膜机，包括基础组件和填料组件。

所述基础组件包括真空镀膜机本体、坩埚、第一密封门和第二密封门，所述坩埚插设在所述真空镀膜机本体内，所述第一密封门和所述第二密封门均通过铰页固定在所述真空镀膜机本体上。

所述填料组件包括第一电机、第一横板、第一气缸、第一滑杆、第二横板、空心箱、第二电机、双螺纹杆、第二滑杆、连接块、夹臂、第二气缸、料斗、第三电机、第三横板、挡板和进料管，所述第一电机固定在所述真空镀膜机本体的上表面，所述第一横板固定在所述第一电机的输出轴端部，所述第一气缸和所述第一滑杆均固定在所述第一横板的下表面。

所述第二横板固定在所述第一气缸的活塞杆下端，所述第一滑杆滑动贯穿所述第二横板，所述空心箱固定在所述第二横板的下表面，所述双螺纹杆的一端转动设置在所述空心箱的内壁上，所述第二电机固定在所述空心箱的外壁上，所述第二电机的输出轴与所述双螺纹杆的另一端固定在一起，所述第二滑杆固定在所述空心箱的内壁上，所述连接块螺纹套设在所述双螺纹杆上。

所述连接块同样滑动套设在所述第二滑杆上，所述夹臂固定在所述连接块的侧表面，所述第二气缸固定在所述真空镀膜机本体的内壁上，所述进料管的侧表面固定在所述第二气缸的活塞杆端部，所述料斗固定在所述真空镀膜机本体上，所述第三横板固定在所述料斗的外壁上，所述第三电机固定在所述第三横板的上表面，所述挡板固定在所述第三电机的输出轴端部，所述挡板和所述料斗贴合在一起。

在本实用新型的一种实施例中，所述基础组件还包括底座，所述底座固定在所述真空镀膜机本体的下表面。

在本实用新型的一种实施例中，所述第一密封门包括第一密封门本体和手持部，所述第一密封门本体通过铰页固定在所述真空镀膜机本体上，所述手持部固定在所述第一密封门本体的外壁上。

在本实用新型的一种实施例中，所述第一电机包括第一电机本体和防护外壳，所述第一电机本体和所述防护外壳均固定在所述真空镀膜机本体的上表面，所述第一电机本体设在所述防护外壳内。

在本实用新型的一种实施例中，所述填料组件还包括限位块，所述限位块固定在所述第一滑杆的外壁上。

在本实用新型的一种实施例中，所述填料组件还包括转动件，所述转动件固定在所述空心箱的内壁上，所述双螺纹杆的一端固定在所述转动件内。

在本实用新型的一种实施例中，所述第三横板包括第三横板本体和斜杆，所述第三横板本体固定在所述料斗的外壁上，所述斜杆固定在所述第三横板本体的上表面和所述料斗的外壁之间。

在本实用新型的一种实施例中，所述填料组件还包括观察窗，所述观察窗设在所述料斗上。

在本实用新型的一种实施例中，所述空心箱至少设置六个，所述空心箱轴向等距的设在所述第二横板的下表面。

在本实用新型的一种实施例中，所述填料组件还包括上盖，所述上盖通过铰页固定在所述料斗上。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过上述设计得到的一种用于光学镜片的真空镀膜机，使用时，当坩埚内的靶材用完后，第一电机输出轴的转动带动第二横板转动，使空着的夹臂移动到坩埚的上方，第一气缸活塞杆的伸缩控制夹臂的向下或向上移动，第二电机输出轴的转动带动双螺纹杆转动，连接块在双螺纹杆和第二滑杆的共同作用下实现相向或相反移动，在第一电机、第一气缸和第二电机的共同作用下，夹臂把空的坩埚抓起，再把新的坩埚重新安装到真空镀膜机本体上，启动第二气缸和第三电机，第二气缸活塞杆的伸缩实现进料管的横向移动，使进料管的下端移动到坩埚的正上方，进料管的上端移动到料斗的正下方，第三电机输出轴的转动带动挡板转动，使挡板从料斗的下端移开，即使靶材从料斗内跑出再通过进料管进入到坩埚内，控制第三电机输出轴的反转，使挡板再次把料斗的下端堵住，即把靶材堵在料斗内了，该真空镀膜机只需一段时间对坩埚进行清洗更换即可，且不需要人工进行靶材的填加，大大的降低了人工的劳动量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施方式提供的一种用于光学镜片的真空镀膜机的结构示意图；

图2为本实用新型实施方式提供的一种用于光学镜片的真空镀膜机的剖面结构示意图；

图3为本实用新型实施方式提供的基础组件的剖面结构示意图；

图4为本实用新型实施方式提供的填料组件的剖面结构示意图；

图5为本实用新型实施方式提供的图4中a区域的放大图。

图中：100-基础组件；110-真空镀膜机本体；120-底座；130-坩埚；140-第一密封门；141-第一密封门本体；142-手持部；150-第二密封门；200-填料组件；210-第一电机；211-第一电机本体；212-防护外壳；220-第一横板；230-第一气缸；240-第一滑杆；250-限位块；260-第二横板；270-空心箱；280-转动件；290-第二电机；291-双螺纹杆；292-第二滑杆；293-连接块；294-夹臂；295-第二气缸；296-料斗；297-上盖；298-第三电机；299-第三横板；2991-第三横板本体；2992-斜杆；2993-挡板；2994-进料管；2995-观察窗。

具体实施方式

为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

实施例

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种用于光学镜片的真空镀膜机，包括基础组件100和填料组件200。填料组件200固定在基础组件100上，大大的降低了人工的劳动量。

请参阅图1-图3，基础组件100包括真空镀膜机本体110、坩埚130、第一密封门140和第二密封门150，坩埚130插设在真空镀膜机本体110内，第一密封门140和第二密封门150均通过铰页固定在真空镀膜机本体110上，第一密封门140包括第一密封门本体141和手持部142，第一密封门本体141通过铰页固定在真空镀膜机本体110上，手持部142通过螺栓固定在第一密封门本体141的外壁上，手持部142便于对第一密封门本体141进行开启或关闭，本实施例中的手持部142为门把手，基础组件100还包括底座120，底座120通过螺栓固定在真空镀膜机本体110的下表面，底座120使真空镀膜机本体110的下表面离开地面，有效的防止地面上的污渍腐蚀真空镀膜机本体110的下表面。

请参阅图2、图4和图5，填料组件200包括第一电机210、第一横板220、第一气缸230、第一滑杆240、第二横板260、空心箱270、第二电机290、双螺纹杆291、第二滑杆292、连接块293、夹臂294、第二气缸295、料斗296、第三电机298、第三横板299、挡板2993和进料管2994，第一电机210通过螺栓固定在真空镀膜机本体110的上表面，第一电机210包括第一电机本体211和防护外壳212，第一电机本体211和防护外壳212均通过螺栓固定在真空镀膜机本体110的上表面，第一电机本体211设在防护外壳212内，防护外壳212保护第一电机本体211不被灰尘侵蚀，第一横板220通过螺栓固定在第一电机210的输出轴端部，第一气缸230和第一滑杆240均通过螺栓固定在第一横板220的下表面。

第二横板260通过螺栓固定在第一气缸230的活塞杆下端，第一滑杆240滑动贯穿第二横板260，填料组件200还包括限位块250，限位块250焊接在第一滑杆240的外壁上，限位块250有效的防止第一滑杆240从第二横板260上滑出，空心箱270通过螺栓固定在第二横板260的下表面，空心箱270至少设置六个，空心箱270轴向等距的设在第二横板260的下表面，多个空心箱270可以同时对多个坩埚130进行夹持固定，双螺纹杆291的一端转动设置在空心箱270的内壁上，填料组件200还包括转动件280，转动件280通过螺栓固定在空心箱270的内壁上，双螺纹杆291的一端键连接在转动件280内，转动件280使双螺纹杆291更加平稳的转动，本实施例中的转动件280为轴承，第二电机290通过螺栓固定在空心箱270的外壁上，第二电机290的输出轴与双螺纹杆291的另一端通过联轴器固定在一起，第二滑杆292焊接在空心箱270的内壁上，连接块293螺纹套设在双螺纹杆291上。

连接块293同样滑动套设在第二滑杆292上，夹臂294通过螺栓固定在连接块293的侧表面，第二气缸295通过螺栓固定在真空镀膜机本体110的内壁上，进料管2994的侧表面通过螺栓固定在第二气缸295的活塞杆端部，料斗296通过螺栓固定在真空镀膜机本体110上，填料组件200还包括观察窗2995，观察窗2995设在料斗296上，观察窗2995便于对料斗296内的靶材量进行实时的观察，便于及时向料斗296内添加靶材，填料组件200还包括上盖297，上盖297通过铰页固定在料斗296上，上盖297防止杂物掉落到料斗296内，第三横板299通过螺栓固定在料斗296的外壁上，第三横板299包括第三横板本体2991和斜杆2992，第三横板本体2991通过螺栓固定在料斗296的外壁上，斜杆2992通过螺栓固定在第三横板本体2991的上表面和料斗296的外壁之间，斜杆2992使第三横板本体2991的承重能力更强，第三电机298通过螺栓固定在第三横板299的上表面，挡板2993通过螺栓固定在第三电机298的输出轴端部，挡板2993和料斗296贴合在一起。

具体的，该用于光学镜片的真空镀膜机的工作原理：使用时，当坩埚内的靶材用完后，启动第一电机210、第一气缸230、第二电机290、第二气缸295和第三电机298，第一电机210输出轴的转动带动第二横板260转动，使空着的夹臂294移动到坩埚130的上方，第一气缸230活塞杆的伸缩控制夹臂294的向下或向上移动，第二电机290输出轴的转动带动双螺纹杆291转动，连接块293在双螺纹杆291和第二滑杆292的共同作用下实现相向或相反移动，在第一电机210、第一气缸230和第二电机290的共同作用下，夹臂294把空的坩埚130抓起，再把新的坩埚130重新安装到真空镀膜机本体110上，启动第二气缸295和第三电机298，第二气缸295活塞杆的伸缩实现进料管2994的横向移动，使进料管2994的下端移动到坩埚130的正上方，进料管2994的上端移动到料斗296的正下方，第三电机298输出轴的转动带动挡板2993转动，使挡板2993从料斗296的下端移开，即使靶材从料斗296内跑出再通过进料管2994进入到坩埚130内，控制第三电机298输出轴的反转，使挡板2993再次把料斗296的下端堵住，即把靶材堵在料斗296内了，该真空镀膜机只需一段时间对坩埚130进行清洗更换即可，且不需要人工进行靶材的填加，大大的降低了人工的劳动量。

需要说明的是，真空镀膜机本体110、第一电机210、第一气缸230、第二电机290、第二气缸295和第三电机298具体的型号规格需根据该装置的实际规格等进行选型确定，具体选型计算方法采用本领域现有技术，故不再详细赘述。

真空镀膜机本体110、第一电机210、第一气缸230、第二电机290、第二气缸295和第三电机298的供电及其原理对本领域技术人员来说是清楚的，在此不予详细说明。

以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。